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本文提出两种形式的多极静电偏转器偏转象差的简单计算方法。通过合理选择多极静偏器的调节参数,获得了在16个象差系数中只有9项积分运算的偏转象差系数公式。它们没有光轴电场强度分布的二阶导数,因而计算精度高。 相似文献
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本文推导了两种类型的多极静电偏转器在无穷长情况下场分布的普遍解;提供了多极静电偏转器在光轴附近获得均匀偏转场的方法;计算了六种实用的多极静偏器,给出了有关公式和数据,分析了两种多极静偏器之间的联系和区别。 相似文献
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多极静电偏转器偏转场分布之解 总被引:1,自引:0,他引:1
文章推导了两种多极静电偏转器偏转场分布的统一、简单之解;采用有限差分法,计算了多极静偏器多种不同几何尺寸的富里埃函数系数和光轴电场强度分布等场参量,提出多极静电偏转器和平行板静电偏转器光轴电场强度分布的近似公式;讨论了多极静电偏转器偏转场分布的各种特点。 相似文献
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本文阐述了边界元方法在静电场计算中的基本原理,强调当电极形状较复杂时(例如多极系统),采用孔斯(Coons)方法的优点。同时,文中也给出了程序设计的基本思想及四极透镜和八极偏转器的计算实例。计算表明,该程序计算静电多极系统即使在微机上也有足够精度,完全可满足一般设计要求。 相似文献
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前言电子束管是电子管各分支中至今仍在发展的一个分支。国际信息显示方面的有关专家认为,在可见的将来,电子束管仍然是主要的技术领域。示波管是电子束管的一种,虽然近年来它的发展速度不象电子束管的其它某些品种(如光栅扫描显示管等)的发展速度那样快,但它“继续显示出创新和发展”。就普通示波管而 相似文献
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一、前言最近,磁聚焦、静电偏转(MS)型摄像管因其具有分辨率高且一致性好、图像畸变小等特点而被越来越多地用于业务和广播电视摄像机。另外,SS型摄像管的实用化正在进行中,可期待出现业务和生活用的小型、轻量、省电的视频摄像机。静电偏转摄像管的特征是在管内形成锯齿状图案电极。我们以前曾用拉普拉斯方程的分离变量法求解曲线箭形图案的三维偏转电场,对MS型摄像管的聚焦、偏 相似文献
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本文介绍了将一些迴转型静电偏转场问题归结成圆筒模型,给出了用一维方法计算三维静电偏转场的方法,并解决了计算中比较棘手的奇点处理问题。实例计算表明,这种方法简便、精确,具有较大的概括性和实用性。 相似文献
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一、引言 近年来,随着高亮度离子源的出现,微米、亚微米聚焦离子束装置迅速发展起来。其应用范围也不断扩大,包括:扫描离子显微镜、二次离子质谱仪、集成电路的掩模版的修理、无掩模注入以及离子束曝光等等。本文就这类装置,特别是用于离子束曝光等要求在较大扫描范围内得到足够小束斑的系统进行探讨。 相似文献
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以静电极板为电子束曝光机偏转负载,用双通道扫描原理进行扫描,并使用计算机辅助设计研究电子束曝光机聚焦偏转系统的结构。由SDS-3电子束曝光机试验结果表明,复合静电偏转可以达到磁偏转相似的像差水平。 相似文献
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文章给出电阻盒式静电偏转器场分布和象差的简单计算公式。这种静偏器的场分布与选取合适“调节参数”的多极静偏器的场分布具有相同分布模式。经简化后,十六个象差系数公式只有九项积分运算,且没有光轴电场强度分布的二阶导数。给出光轴电场强度分布的近似公式,从而偏转场分布可以用解析表达式确定,象差系数的计算也更为方便、简单。 相似文献
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电子全息术中静电双棱镜偏转特性的简化计算 总被引:1,自引:0,他引:1
本文采用经典电磁理论中的Laplace和Lorontz方程,推导出电子束在静电双棱镜中的偏转角解析表达式,并对某些实验结果作了解释. 相似文献
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1.前言磁聚焦、电偏转的摄像管(MS摄像管),由于清晰度高并一致性好、亮度不均匀性小、失真小以及可以轻便小型化而引人注目。它的研究和开发正活跃起来。这些特长是由于采用均匀电磁场的MS型管的电子束无偏转像差以及偏转引起的着耙误差。 MS型摄像管的特征在于管内采用的螺旋状曲箭形花纹线圈。设计MS型摄像管 相似文献
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