光纤测量表面粗糙度的研究

物体表面的反射散射光的强度反映了表面粗糙度的信息 ,即反射散射光的强度与表面的粗糙程度和探测光纤与反射表面之间的距离有关 .利用光纤将被测表面的反射散射光接收 ,测出了反射散射光强度与距离、粗糙度的关系 ,用最佳拟和曲线法计算出 Ra 与光强之间的关系     

表面粗糙度在线测量的途径

介绍了表面粗糙度在线测量的目的、意义和要求 ,分析和探讨了利用光学技术实现表面粗糙度在线测量的可能性和实用性 ,表明光学技术在表面粗糙度在线测量中具有极大的发展潜力和利用价值     

光纤探针式表面粗糙度测量仪实验研究

本文介绍了一种光纤探针式表面粗糙度测量仪,它集现有接触式和非接触式表面粗糙度测量仪优点 于一身,能满足表面粗糙度测量的高精度要求.本文阐述了此种测量仪的工作原理,说明了各部分的主要功能, 并给出了光纤探头部分的具体设计,最后分析了实验结果.     

粗糙度测量的光纤传感器特性分析

本文从理论上对光纤传感器测量表面粗糙度时的多种测量误差进行了分析,建立了一种对输出光通量的计算分析方法。在此基础上研制了一种性能较佳的准直型光纤传感器,为深孔测量和“在线测量”表面粗糙度提供了一种新型的光纤传感器。     

表面粗糙度的多参数高精度测量

传统表面粗糙度测量实验是通过显微镜观察被测表面的光带像，间接计算出微观不平度十点高度，作为评定表面粗糙度的单一参数。本文采用粗糙度形状测定仪和计算机辅助测量，该方法控制参数设置灵活多样，评定参数多，测量速度快，计算精确，自动显示、打印评定参数值和仿真曲线，曲线分辨率高，检测部位多，便于全面、准确、客观进行精度分析。     

光纤式表面粗糙度测量仪的研制

本文论述了光纤式表面粗糙度测量仪研制过程中关键问题的解决方法，对非线性特性的参数计算、零点漂移、信号噪声、不同加工表面特性差异的处理都给出了完美的解决方法。该仪器以光散射理论为测量原理，用光纤为传输媒介，并用单片机８０９８进行计算、数据处理和测量智能控制。     

光纤表面粗糙度测量仪线路及其智能化

本文研究了一种新型光纤表面粗糙度测量仪主要线路的设计、调整和仪器智能化等问题。改进后的线路使仪器的测量范围扩大,能测量R_α=6.3～0.005μm的表面粗糙度,示值稳定性可达0.075％。     

光散射法测量表面粗糙度的研究

本文对用光散射方法测量表面粗糙度的原理进行了探讨,研制了表面粗糙度的测量装置.利用该装置对用不同加工方法加工出来的表面粗糙度(R_a=0.02～10μm)进行测量.此外,由于采用了光调制技术,从而克服了照明光、背景光及电噪声对输出信号的影响,故该装置可用于精密切削过程中对加工表面粗糙度的在线监测.     

表面平整度测量的新方法研究

介绍了用反射干涉频谱法测量透明或半透明薄膜表面平整度的方法，薄膜厚度的测量范围约在0．2－20μm（小于20μm）之间。在对二氧化硅薄膜的测试中，该测试方法与椭圆偏振仪的测试结果相比较，其纵向测量误差小于2nm。通过光纤传感器的薄膜下的移动，对薄膜下各点的反射光谱进行分析，得到各点的厚度。通过步进电机的移动，连续测量膜上不同点的厚度，从而获得薄膜的表面形貌。该方法对薄膜无破坏作用，且无需测量干涉条纹，与其他的非接触式测试方法相比较，具有无横向测试范围限制、测试系统结构简单、测试精度高、测试结果可靠的特点，因此有较强的实用性。     

光学外差法检测超光滑表面粗糙度

随着加工技术的发展,超光滑表面粗糙度的测量变得越来越重要．讨论了一种利用光学外差法检测超光滑表面粗糙度测量系统,采用Ｚｅｅｍａｎ效应激光管得到差频光束,提出了新的优化测量光路．该光路仅使用一个半波片改变一路光束的偏振态,不仅克服了以前广泛使用的类似测量系统中光路具有可逆性的缺陷,保证了系统的稳定性,且同时使接收端光束的偏振态方向一致,使干涉信号可见度最大,提高了系统的信噪比和测量精度．采用两光束同心聚焦扫描方法可实现表面粗糙度的绝对测量．光路结构简单,实用性强．通过样品测量研究了本系统的测量稳定性和测量精度．结果表明,系统对表面粗糙度测量精度均方根值小于１ｎｍ．     

表面粗糙度测量技术综述

表面粗糙度对加工件的性能有着很大的影响。由于机械、电子及光学工业的飞速发展,对精密机械加工表面的质量及结构小型化的要求日益提高,使得表面粗糙度测量显现出越来越重要的地位。通过对表面粗糙度测量技术的发展历史与发展现状的追述,阐述了一种常见的表面粗糙度测量仪的工作原理和性能,并对其相关问题作了讨论。     

光纤Bragg光栅及其光学特性测量

光纤Bragg光栅的研究和应用已成为当前光通信国际热点技术课题.扼要介绍了光纤Bragg光栅的工作原理和主要光学特性,着重描述用实验室常用仪器测量其主要光学特性的方法.     

光纤传感器在延长油田的应用研究

石油测井是石油勘探开发的重要环节,延长油田所辖油区地层特殊,传统测井手段易出现漏层,测量项目数据精确度不够。详细分析了光纤传感器工作原理,推导其在石油测井项目解析表达式,由此采用光纤传感器设计光纤传感系统,实验结果表明系统测井数据准确,能够很好地满足油井井下测井的需要。     

低粗糙度金刚石薄膜的制备及其光学性能的表征

采用热丝化学气相沉积（HFCVD）方法,在反应气压、衬底温度一定的情况下,通过改变碳源浓度以制备低粗糙度金刚石薄膜.扫描电镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）测试结果表明,随着碳源浓度适当增加（从2％增加到3％）,金刚石薄膜表面晶粒尺寸减小到纳米量级,平均粗糙度从45 nm降低到21 nm,同时光学透过率下降.椭圆偏振光谱拟合结果显示,随着碳源浓度的增加,薄膜折射率n稍有偏离理想值.拉曼散射光谱显示随着碳源浓度的增加,薄膜中非金刚石相含量增加,一定程度上影响了薄膜的光学质量.结果表明,在表面粗糙度相差不大的情况下,薄膜的质量决定了其光学性质.