SnO_2超微粒薄膜的制备及气敏性研究

通过研制的磁控溅射系统,采用射频磁控溅射法,对 S_nO_2超微粒半导体气敏膜的制备进行了研究,同时对制备的薄膜的气敏性进行了测量分析。扫描电镜分析表明:当溅射气压 P_(Ar)=1.20～2.67Pa 时,就能制得超微粒半导体气敏膜。对 C_2H_5OH 的气敏性研究表明,制备的超微粒膜比普通连续膜的灵敏度有显著提高.     

半导体气体传感器新近发展动态

本文简要介绍了国内外半导体气体传感器的生产情况,评述了半导体气体传感器目前发展动向。认为超微粒技术、L-B 膜技术对促进气敏技术很有意义。本文还强调气敏基础研究的重要性,提出从表面和催化伪度出发研究气敏材料是有意义的,并讨论了催化和气敏的关系。     

超微粒子气敏膜及其应用

文章综合了国内外近年来有关超微粒子气敏膜元件的大量资料,论述了 SnO_2超微粒子气敏膜的基本制造方法:射频溅射法(RFS)、真空蒸发法(VE)、等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),同时讨论了制备时的工艺参数对超微粒子膜的结构、电特性和敏感特性的影响。文章还示出了近年来国内外研究得比较多的集成化超微粒子气体传感器的基本构造及应用,最后提出了超微粒子气敏膜的研究发展方向。     

氧化铁系气敏材料及其应用概况

本文结合我们的研究结果,综述了氧化铁系气敏材料及其应用的发展概况。着重讨论了氧化铁系气敏半导体材料的性质,制备方法、微结构与气敏性能之间的关系,氧化铁气敏元件结构与气体检测机制,提高氧化铁系气敏元件特性的途径及其应用开发前景。     

ZnO纳米线气敏元件对单一气体浓度的判定研究

以不同金属掺杂的ZnO纳米线为气敏材料,在350℃下对不同浓度的H2气体进行了气敏性能测试.结果表明,掺杂Ag的ZnO纳米线在H2浓度为2.52×10(-3)时具有较高的气体灵敏度28.549.同时,利用Origin软件对测得的气敏性能曲线进行线性拟合,对未知的H2浓度进行了有效判定.还对金属掺杂提高ZnO纳米线气敏性...     

Ni修饰层对SnO2薄膜气敏性能影响

采用磁控溅射技术在SnO2薄膜表面修饰金属Ni，研究Ni修饰量对SnO2薄膜气敏性能影响。对Ni-SnO2薄膜进行表面成分分析，发现Ni的表面含量和化学价态对Ni-SnO2薄膜气敏性能影响至关重要。Ni的表面修饰量在3．4％-8．8％之间将有效提高SnO2薄膜对低浓度氢气的敏感性能。180℃工作温度下，表面含Ni3．4％的SnO2薄膜对1000ppm的氢气灵敏度最高为59．6，同时响应时间和恢复时间降低至15s和125s。Ni修饰量增加到23．4％，薄膜的气敏性能恶化，这是因为修饰层过厚，阻碍气体与SnO2材料接触。同时，XPS证实NiO是增加SnO2薄膜气敏性能的主要物质，增敏机理解释为Ni氧化后形成的NiO在SnO2薄膜上形成p-n结，促进元件的电导变化，从而提高了薄膜的气敏性能。     

基于SnO2薄膜气体传感器的设计与制作（英文）

设计了一种带硅岛结构的基于SnO2薄膜材料的共面式气体传感器.利用有限元工具对传感器进行了稳态热分析,分析结果表明这种传感器在33.84 mW的功耗下最高温度达到400℃,气敏薄膜上温度分布均匀.详细阐述了传感器的制作过程,过程中总共使用4块掩模版用于光刻工艺.采用溶胶-凝胶法制备了SnO2纳米薄膜作为传感器的气敏元件.对传感器进行了气敏测试,实验结果表明该传感器拥有良好的气敏性能,在300℃下对50×10-6到2 000×10-6氢气的灵敏度逐渐递增,反应时间可控制在10 s以内.     

纳米γ-Fe2O3的合成及气敏性能

在硝酸铁乙二醇甲醚溶液体系中加入硅酸乙酯,用溶胶--凝胶法制备γ-Fe2O3纳米晶粉体。硅酸乙酯的加入不但加速凝胶化过程,而且有效抑制氧化铁晶粒的生长,提高γ-Fe2O3向a-Fe2O3转变的相变温度。TG-DTA热分析结果表明这个相变温度为700℃左右。改变硅酸乙酯的加入量可制备出具有不同晶相的粉体;TEM观察表明粉体的粒径约为10nm,γ-Fe2O3纳米晶粉体的气敏特性具有迅速的响应-恢复性能,掺入少量Zn可改善气敏特性。     

溶胶-凝胶法纳米α-Fe2O3材料的合成、结构及气敏性能

在硝酸铁乙二醇甲醚溶液中,用溶胶-凝胶法制备了氧化铁纳米晶,通过加入高效缩合催化剂钛酸丁酯不但极大加速了凝胶化过程而且均匀的将钛掺入氧化铁晶格,形成钛酸铁.结合TEM,XRD和TG-DTA分析手段对产物粉体的粒度、晶相和热稳定性进行表征并测试了其气敏性能.结果表明单独钛掺杂即可显著提高元件对被测气体的灵敏度,若再掺入少量锑,就能进一步增加灵敏度.对掺杂后材料的气敏机理做了探讨并测试了其响应-恢复时间,证明该材料具有迅速的响应-恢复性能,因而具有良好的应用前景.     

In2O3纳米孔材料的制备及其甲醛气敏性能研究

以In(NO3)3·4.5H2O为主要原料,采用溶剂热法成功地制备出In2O3纳米孔材料.采用X射线粉末衍射、透射电子显微镜等对样品的物相和形貌进行了表征和分析,并系统研究了其气敏性能.结果表明,成功合成的六方相In2O3纳米孔材料,其孔径小于17nm,孔道形状复杂且相互连通,以该材料制成的气敏元件对甲醛有很好的气敏性能,对50×10-6甲醛的灵敏度高达23.6.     

新型标准气体配气装置研制

介绍了一种先进、实用的标准混合气配制装置,并对该装置的特点进行了详细描述。此外还对配气装置所必须配套的技术软件,以及培训的必要性进行了简要说明。     

简谈中国气体

回顾我国气体20多年所走的道路,通过分析同国外气体发展的差别,强调气体基础研究的重要意义,对我国特种气体由量的满足到质的飞跃充满信心.     

国外工业气体市场概况

综述了 2 0 0 0年和 2 0 0 1年全球工业气体市场 ,着重论述了北美、欧洲、日本和亚太地区的工业气体市场以及全球氦、氪、氙市场     

新气源气相起爆系统起爆网络实验研究

作者选择液化石油气加氧气为气相起爆系统新型气源,经原理探索后研制成第一轮相起爆器。在对新型混合气源在长管道中的传爆性能研究基础上,对气相起爆网络作了系统实验研究。     

温室气体监测用四氟化碳标准气体气相色谱分析方法及定值方法的研究

叙述了温室气体监测用四氟化碳(CF4)标准气体气相色谱的实验方法和条件,给出了气相色谱分析方法的精密度和实验结果。该方法重现性好,分析结果准确可靠。     

天然气气相色谱分析方法的研究

综述了采用气相色谱法分析天然气的实验方法和控制条件，研究了气相色谱方法的精密度，并给出了实验结果。     

直线压缩机用多孔质气体轴承的仿真与实验

采用气体轴承的主动耗气技术可以实现直线压缩机的无油润滑和非接触运行,以保证运行可靠性。为研究多孔质轴承的结构参数和压缩机设计参数对耗气量的影响,本文以R600a为制冷工质,建立了多孔质气体轴承模型,利用Fluent对耗气量进行了仿真模拟计算,基于该模型模拟分析了多孔质材料厚度、间隙气膜厚度、排气压力、压缩机频率和排量占比对气体轴承耗气量和耗气率的影响,并通过实验测试验证了该模型的准确性。结果表明：气体轴承耗气量的仿真结果和实验测量的误差在±15%以内。根据耗气率给出了最佳的设计参数组合,为直线压缩机用多孔质气体轴承优化设计提供了参考。     

导电聚合物基气敏材料研究进展

综述了本征型导电聚合物(ICPs)基气敏材料的制备方法及影响其气敏性能的各种因素。制备ICPs气敏材料的主要方有电化学聚合或沉积、化学氧化聚合和气相聚合,影响其气敏性能的重要因素有掺杂(特别是质子酸掺杂)、对ICPs进行复合或填充处理、ICPs气敏材料的制备工艺、被检测气体或蒸气的性质以及外界条件等。     

台湾地区气体市场初探

台湾发达的IT产业对于气体尤其是特种气体的需求十分旺盛,气体产业因此也很发达。综述了台湾气体市场概况。简要介绍了台湾气体市场的历史及现状,对于重要的气体公司也加以介绍。     

变压吸附技术的发展

介绍了变压吸附作为一种新型的气体分离技术的发展及其应用。同时与传统的气体分离方法相比较，指出了变压吸附技术具有能耗低，投资省，易操作等显著特点，极富有市场竞争力。最后介绍了变压吸附与其它几种气体分离纯化方法相结合在工业中的应用。