防脱片剂APES制备铜网支持膜的新方法

当前电镜制样普遍采用的支持膜为Formvar膜,但Formvar膜制备过程较为复杂,制作要求比较高。制作的支持膜较薄时,容易被电子束击破或样品发生漂移;较厚时降低了样品的分辨率;制膜时如果湿度过大,膜上会出现许多小“白点”而无法使用。在实际工作中,我们把免疫组化技术工作中的防脱片剂APES(3-amtio propyhri ethoxy silane)应用于铜网支持膜的制备,实验结果表明,样品捞在涂有APES的铜网上,镜下观察,样品无漂移,分辨率好。经过两     

一种制备大面积扩散Nb_3Sn超导薄膜透射电子显微(TEM)样品的新方法

用背面防护漂浮减薄法制备了扩散Nb_3Sn超导膜的大面积(毫米~2)TEM样品。JEM—200cx电子显微镜对样品的观察表明,这种新的TEM制样方法是成功的。它将有助于直接观察研究与实用Nb_3Sn超导材料相近的扩散薄膜的微结构,探讨磁通线钉扎机理。一、扩散Nb_3Sn薄膜TEM样品的制备扩散Nb_3Sn薄膜是在钼衬底上顺序分层蒸上Nb—Sn—Cu,然后经约800℃扩散形成A15结构的Nb_3Sn层。     

TEM分析用的半导体横截面样品的制备和分析的结果

本文介绍了透射式电子显微镜(TEM)用的横截面样品的制作技术。利用这一技术制出的样品,用TEM观察到了GaAs/AlGaAs超晶格结构中周期性的精细成分调制的新现象。在金属有机化合物汽相沉积(MOCVD)生长的GaAs/si材料中还观察到一些新形状的位错、微孪晶等。这一种制样技术也适用于其他半导体材料系统的研究。     

共缩聚法制备功能化P(St-MPS)/MCM-41核壳复合微球

以聚(苯乙烯-γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷)(P(St-MPS))微球为核模版,十六烷基三甲基溴化铵为壳模版,以P(St-MPS)微球、正硅酸乙酯与MPS的混合物为硅源,直接在无皂乳液中通过共缩聚方法合成表面链有碳-碳双键功能基的P(St-MPS)/MCM-41核壳复合微球;采用TEM,XRD和FT-IR对产物进行了表征.结果表明,表面功能化的P(St-MPS)/MCM-41核壳复合微球可以直接在无皂乳液中一步合成,所制备的核壳复合微球粒径约为260 nm,壳层约为10 nm.     

"楔形"TEM样品的机械研磨制备技术

介绍了一种用机械研磨法制备集成电路TEM楔形样品的技术,讨论了该制样技术所需注意的关键点,并给出了判断样品薄区是否满足TEM分析要求的两种方法。楔形样品减薄技术兼具制样速度快和样品质量好的优点。该技术既可用于制备非定点TEM样品,也可用于制备定点的TEM样品。给出了用该技术制备的定点失效的MOS器件TEM照片。熟练的技术人员可以用此方法在半小时内完成一个样品的制备。     

聚焦离子束制样条件对TEM样品形貌的影响

聚焦离子束(FIB)因其制样成功率和效率高，可定点精确制样等特点已经成为半导体失效分析领域重要的透射电子显微镜(TEM)制样方法。利用双束FIB系统针对TEM样品制备条件对样品形貌的影响进行了分析和研究。通过控制变量法等方法分析了FIB的电子束或离子束等制样条件可能对样品带来的损伤。通过实验发现，FIB的离子束能量对TEM样品热损伤影响较小，电子束的电压和电流是引起样品损伤的主要因素。实验证明，在电子束辅助沉积保护层时适当降低电子束的电压和电流，可有效改善样品的微观形貌。     

聚焦离子束技术制备与样品表面平行的TEM样品

制备目标材料的高质量TEM样品对TEM测试表征和结果分析具有决定性作用.聚焦离子束（FIB）技术由于其微观定位选区制样的优势在TEM样品制备上已有一定应用.本文介绍了FIB/SEM双束系统制备与样品表面平行的TEM样品的方法（“V-cut”）,并与传统的FIB制备TEM样品的方法（“U-cut”）进行比较,分析了该方法对实现某些特殊研究目的的独特性和适用性.     

基于MEMS的原位液体TEM芯片的设计与制作北大核心

传统透射电子显微镜（TEM）观察液态样品特征时,通常将其先速冻成固态,而原位TEM可以动态地观察液态样品的变化,避免了一些额外因素的影响。设计了一款基于微机电系统（MEMS）技术的非流动原位液体TEM芯片,用于对液态样品结构动态变化的实时观测。采用低压化学气相沉积（LPCVD）法制备50 nm厚的低应力氮化硅薄膜作为芯片的电子束透射窗的材料,并在窗口层上面制作金属网格来加固其承载能力,采用MEMS技术完成了芯片的制造。实验结果表明,TEM芯片在相应的TEM样品杆的辅助下,成功实现了对铜纳米粒子生长过程中形态变化的实时观测。     

一种特殊形态高尔基体内含物的立体观察和研究

本文运用明、暗场互换观察法和样品倾斜法对一种罕见的高尔基体内含物进行了立体结构观察和研究。结果表明,这种高尔基体内含物是由集中于扁囊及囊泡中部的高电子密度物质和其周围的微纤丝样结构组成。在扁囊中,微纤丝样结构以S形结构为中轴呈放射状分布,并与扁囊膜相连。在囊泡中,这些微纤丝样结构结成网状。明暗场互换观察法所得的浮雕象具立体感,能将细胞的膜性结构和纤维状结构显示得更加清晰,但它不能反应出细胞超微结构本身的三维图形,而运用样品倾斜法可以达到这一目的。     

FePt纳米粒子有序膜结构的SPM研究

采用化学合成方法制备了单分散的FePt磁性纳米粒子，通过对纳米粒子的操纵与排布制得了磁性纳米粒子单层膜和多层膜，并利用扫描探针显微技术(SPM)和X射线粉末衍射(XRD)考察了磁性纳米粒子膜中FePt纳米粒子的形貌、粒度分布和表面聚集状态。研究结果表明在磁性纳米粒子单层膜中，磁性纳米粒子分布均匀、排列紧密，且多层膜在膜累加方向是具有周期结构的有序组合体。