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本文主要介绍了反渗透TFC卷式复合膜,在使用过程中常遇到的结垢现象,讨论了一些结垢本质机理,并结合反渗透的情况对各种结垢可采取的一些措施、方法。 相似文献
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张士伟 《电子工业专用设备》2014,43(7):18-21
介绍了半导体圆片存在的各种污染杂质的类型和去除方法,并概要总结了半导体圆片的清洗技术,对半导体圆片的湿法和干法清洗特点和去除效果进行了比较分析。 相似文献
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H2SO4/H2O2/H2O、HNO3/HF和HF/H2O2/H2O为半导体芯片生产过程中三种去除硅片背面铜污染的化学清洗液。在单片湿法清洗机上采用这三种化学液对直径300 mm具有类似于实际生产中铜污染的硅片进行了清洗,结果发现H2SO4/H2O2/H2O在清洗过程中不对硅片表面的Si3N4膜产生损伤,但铜污染的去除效率较低;HNO3/HF和HF/H2O2/H2O对Si3N4膜产生微量刻蚀,从而去除扩散至硅片内部铜污染,从而显示出较佳的去除效果。通过比较HF/H2O2/H2O中HF体积分数与Si3N4膜刻蚀深度和清洗后铜原子浓度,HF的体积分数为1.5%时,可以使硅片表面铜原子浓度降至1010cm-2以下,并且Si3N4膜厚的损失小于1 nm。 相似文献
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关于集中式空调通风系统清洗若干问题的思考 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了中央空调通风系统的清洗在国内外的发展动态,结合我国的实际情况阐明了中央空调通风系统清洗的必要性、存在的若干问题以及解决的一些思路,并对我国风管清洗业今后的发展方向进行了展望。 相似文献
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密闭环境空调系统存在一系列特殊的IAQ问题.详细介绍了密闭空间空调系统二次污染的现状、对人员健康的影响、控制措施.提出解决空调系统二次污染问题的两种思路:终点控制和起点控制.终点控制措施和起点控制措施都有其优点及缺点,适用范围也不一样.潜艇、深水工作船、宇宙飞船等密闭空间空调系统要根治二次污染问题,必须起点控制和终点控制相结合,在工程实践中逐步摸索出适用的方法. 相似文献
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根据目前常见的几种室内地面清洁方式,通过对不同材质地面进行不同清洁方式的测试,分析清洁方式与清洁时间对室内空气品质的影响,从而提出改善和保持良好的室内空气品质的清洁措施。 相似文献
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介绍了静电净化器除尘、灭菌、去除总挥发性有机物(TVOC)的相关原理及某些实验测试结果,提出将静电净化器应用于空调系统可望在一定程度上改善室内空气品质。 相似文献
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分析新风机组冬季盘管冻裂的原因,介绍目前净化新风机组系统防冻措施,并分析各种防冻措施的特点。在各种新风机组防冻方案的基础上,设计出一套新的防冻系统,并应用在工程项目中,经过运行中试验检测,防冻效果良好,同时能够节约运行费用。 相似文献
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本文介绍了室内空气品质目前的研究状况以及影响室内空气品质的主要的污染物及其对人体的影响,并对深圳市某写字楼室内空气品质有关参数进行实地检测,应用适合我国国情的室内空气品质客观评价的方法与评价标准对该大楼进行客观评价,得出了该楼属Ⅱ级即未污染级的结构并为物业管理单位提出了提高其室内空气品质的建议。 相似文献
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通过对深圳市部分住宅室内空气污染物现场检测数据的分析,并应用适合我国国情的室内空气品质客观评价方法与评价标准,对所检测的民用住宅室内空气品质进行客观评价,得出了通风三个月与一个月的民用住宅室内空气品质分别处于未污染和中污染状,以及室内空气中甲醛、TVOC的污染情况得到一定程度的控制而粉尘的污染仍很严重的结论。 相似文献