SWAGELOK半导体服务公司推出全新原子层沉积(ALD)工艺用阀

<正>Swagelok半导体服务公司(SSSC)向半导体业界推出一款全新的阀产品。目前在Swagelok公司的独立销售网络和服务中心均有销售的Swagetok ALD系列阀是应用于原子层沉积(ALD)工艺的超高纯度气动阀。ALD技术是半导体产业的一项新兴沉积技术。     

环球仪器在SEMICON CHINA2005展出其得意产品——GSMXS平台

在刚刚结束的SEMICON展览期间，环球仪器展出在线晶圆增强功能GSM平台，以满足先进半导体装配的需要。这项在线晶圆增强功能对处理单-300mm规格晶圆尤其有效，同时还保留了晶圆送料器处理多种规格晶圆工艺的离线晶片扩容能力。