新型光敏聚酰亚胺微型阀

微型阀是微流体测量系统的重要组成部分，本文提出了一种微型光敏聚酰亚胺被动阀，分析了该材料性能，叙述了微型阀的特点、结构设计和工艺流程，并讨论了加工过程中的一些关键技术。     

耐热光敏聚酰亚胺胶的研究

本文重点研究了耐热光敏聚酰亚胺胶的配制,探索到了最佳溶剂和添加剂(即增感剂和交联剂等)、研究了添加剂的用量与感光特性的关系.     

非光敏聚酰亚胺钝化工艺研究

本文介绍了非光敏聚酰亚胺用于双极型高压晶体管芯片制造阶段的表面钝化的工艺。该工艺的应用使晶体管生产成本有了大幅度的下降。     

聚酰亚胺振动膜微型电场传感器

设计并分析了一种新型的以硅为基底、聚酰亚胺为振动膜的微型电场传感器。此种传感器利用了聚酰亚胺耐热、耐腐蚀并具有良好机械性能的特点,采用MEMS技术制造,使其具备体积小、重量轻、功耗低、便于与其他器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低。本文阐述了此传感器的工作原理,并通过计算机模拟确定了增强信号的方法,同时描述了新型传感器的结构设计和加工工艺过程。     

微型泵的驱动技术

本文通过对近几年来各类微型泵研究的比较,从微型泵设计的关键技术－驱动方式的角度进行考虑,着重以压电致动泵,热气致动泵,电磁致动泵和记忆合金振膜泵等微型泵进行讨论。     

光敏聚酰亚胺在硫化镉紫外器件中的应用

介绍了光敏聚酰亚胺的特性及应用情况,将其引入到硫化镉紫外器件制作中,通过实验研究开发并掌握一种正性光敏聚酰亚胺的光刻工艺,亚胺化后将其作为硫化镉器件的表面钝化层,经过实验验证其粘附牢固度和光电性能满足使用要求。同时该光敏聚酰亚胺的应用能够简化近40%的制作工艺,提高了硫化镉紫外器件的生产效率和成品率。     

光敏聚酰亚胺(BTDA-TMMDA)的光控取向研究

利用不同波段的线偏振紫外波长照射PI(BTDA—TMMDA)膜,发现光化学反应度有较大的差别,短波长的紫外光和高光功率密度有利于增大反应度和提高取向度。在氯气和有氧条件下光照,发现有氧氛围更易于反应。     

正性光敏聚酰亚胺研究与应用进展（二）

正性光敏聚酰亚胺（p—PSPI）是一类重要的集成电路（IC）封装材料,广泛用于IC器件的应力缓冲、表面钝化以及层间绝缘。与传统的负性光敏聚酰亚胺（n-PSPI）相比,p-PSPI无论在光刻精度还是环境友好性方面均表现出了更为优良的品质。文章综述了国内外p-PSPI电子封装材料的最新研究与应用进展状况。系统阐述了p-PSPI的光化学机理。对目前商业化p-PSPI产品的特性、在微电子以及光电子领域的应用和未来发展趋势进行了介绍。最后对国内高性能p-PSPI电子材料的研发工作提出了建议。     

正性光敏聚酰亚胺研究与应用进展(一)

正性光敏聚酰亚胺（P—PSPI）是一类重要的集成电路（IC）封装材料,广泛用于IC器件的应力缓冲、表面钝化以及层间绝缘。与传统的负性光敏聚酰亚胺（n—PSPI）相比,P-PSPI无论在光刻精度还是环境友好性方面均表现出了更为优良的品质。文章综述了国内外P—PSPI电子封装材料的最新研究与应用进展状况。系统阐述了P—PSPI的光化学机理。对目前商业化P—PSPI产品的特性、在微电子以及光电子领域的应用和未来发展趋势进行了介绍。最后对国内高性能P—PSPI电子材料的研发工作提出了建议。     

微型光扫描器研究

设计了由正负微透镜阵列和压电陶瓷驱动器组成的微型光扫描器,它工作于中、短波红外光及可见光等波段,微透镜阵列规模为256×256元、单元直径为50μm,扫描视场角约为6.6°,扫描频率可达200Hz,体积小到几个立方厘米.实验测试表明微扫描器的设计参数与实验测量结果基本相符.     

基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研制

描述了一种采用MEMS技术加工的微型气相色谱柱，这种色谱柱采用深刻蚀技术加工出色谱通道，再与Pyrex7740玻璃进行键合密封。色谱柱全长6m，色谱通道截面为矩形（宽100μm，深100μm），针对苯和甲苯的混合气进行了分离试验，理论塔板数达到了4800，分离时间为185s。     

基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研制

描述了一种采用MEMS技术加工的微型气相色谱柱,这种色谱柱采用深刻蚀技术加工出色谱通道,再与Pyrex 7740玻璃进行键合密封.色谱柱全长6 m,色谱通道截面为矩形(宽100 μm,深100 μm),针对苯和甲苯的混合气进行了分离试验,理论塔板数达到了4800,分离时间为185 s.     

基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研制

描述了一种采用MEMS技术加工的微型气相色谱柱,这种色谱柱采用深刻蚀技术加工出色谱通道,再与Pyrex7740玻璃进行键合密封。色谱柱全长6m,色谱通道截面为矩形(宽100μm,深100μm),针对苯和甲苯的混合气进行了分离试验,理论塔板数达到了4800,分离时间为185s。     

基于量子效应的微型推进器设计

微/纳机电系统(MEMS/NEMS)技术的发展,大大促进了航空航天领域飞行器的微型化。依据量子理论,有效提取真空中的零点能,并以此作为驱动能源,可以解决微型飞行器由于必须携带燃料而增加重量等问题。从理论上阐述了真空零点能及Casimir力的产生机理,研究了真空中两平行平板和矩形腔等结构设计依据,提出并建立了以Casimir力作为驱动力的微型推进器设计模型。     

新型聚酰亚胺薄膜

介绍了两种低吸水性、低膨胀系数聚酰亚胺薄膜的主要性能及应用情况。     

玻璃微型结构产品

如果想把玻璃用在微系统工程中,必须将其制成公差很小的精确规定的结构。采用玻璃生产中通常的浇铸方法,是满足不了这些要求的,而且,难以按理想的尺寸进行机械加工,如钻孔、铣削或抛光。     

LPP聚酰亚胺取向膜的制备及其取向研究

合成具有光敏性的聚酰亚胺OPDA－BAPAF－Cin－CN,对其化学性质进行研究。用这种聚酰亚胺作为光致取向剂,能对液晶MLC－LC2000有良好的取向效果。研究了这种取向剂对液晶MLC－LC2000的取向方向及提高预倾角的作用,发现该取向剂有良好的热稳定性。     

微流体系统中微阀的研究现状

依据微流体系统中微阀的驱动机理,将微阀分为有源微阀和无源微阀两大类,然后对这两大类进行细分,将有源微阀分为压电、磁、静电驱动、热驱动、相变、双稳态、外部驱动等类型,将无源微阀分为悬臂梁式、薄膜式、毛细管、扭矩驱动等类型。分别讨论了各种微阀的工作原理和性能,介绍了各类微阀的实验研究进展,指出了这些微阀的特点,突出了微阀作为微流体系统的主要元件之一,起到径流调节、开/关转换、密封生物分子和微/纳粒子等作用。回顾了微阀的发展历程,分析了目前研究过程中存在的问题,提出了微阀今后的研究方向。