金刚石声表面波器件的研究与进展

高频无线通讯系统的迅速发展推动了对高频声表面波 (SAW)器件需求的不断增大。金刚石具有最高的声速和许多优于其他材料的特性 ,因此金刚石声表面波器件受到了越来越多的关注。本文介绍了金刚石声表面波器件的构成、制备方法 ,讨论了金刚石声表面波器件近年来国际上的研究进展 ,包括理论研究与实验进展的概况 ,并讨论了金刚石声表面波器件的未来发展趋势     

声表面波器件的研究进展

声表面波器件作为一种新型的电子器件,近年来引起了人们极大的关注,在科学研究领域有了较大的进展,在现代无线通讯领域的应用范围日趋广泛.本文简述了目前国际上出现的声表面波器件的制备方法、性能研究及其应用,展望了其今后的发展趋势.     

纳米多层电极增强声表面波滤波器功率耐受性的研究

移动通信技术的快速发展对声表面波滤波器性能提出了更高的要求,输入功率的提升和尺寸的减小使得器件上的功率密度急剧上升,亚微米级别的铝叉指电极在高功率下会发生声迁移从而导致器件失效,因此如何使器件在高功率下稳定地工作已经成为声表面波领域亟待解决的关键科学问题。针对铝电极抗声迁移能力差的难点,本文采用有限元方法计算了叉指应力分布并阐明了其工作中最薄弱的部位,基于此针对性地设计并制备了Al-0.9 wt.%Cu(Al-Cu)/Ti/Cu/Ti纳米多层复合电极,以期提升器件的功率耐受性。通过X射线衍射、原子力显微镜、透射电镜等手段表征薄膜织构和微观结构,揭示电极微结构状态对器件功率耐受性的影响。功率测试结果表明,基于Al-Cu/Ti/Cu/Ti多层复合电极的声表面波滤波器最大承受功率达到34.5 dBm(2.81 W),是Al-Cu/Ti电极滤波器的1.78倍。本文为5G时代高功率声表面波器件提供了一种成本低廉、制备简单的电极材料方案。     

金刚石声表面波器件的研究与进展

高频无线通讯系统的迅速发展推动了对高频声表面波(SAW)器件需求的不断增大。金刚石具有最高的声速和许多优于其他材料的特性，因此金刚石声表面波器件受到了越来越多的关注。本文介绍了金刚石声表面波器件的构成、制备方法，讨论了金刚石声表面波器件近年来国际上的研究进展，包括理论研究与实验进展的概况，并讨论了金刚石声表面波器件的未来发展趋势。     

声表面波器件的研究进展

声表面波器件作为一种新型的电子器件，近年来引起了人们极大的关注，在科学研究领域有了较大的进展，在现代无线通讯领域的应用范围日趋广泛。本简述了目前国际上出现的声表面波器件的制备方法、性能研究及其应用，展望了其今后的发展趋势。     

可调声表面波滤波器的研究进展

随着移动通信产业的迅猛发展,作为通信系统关键器件之一的声表面波滤波器(SAWF)迎来了新的研究热潮.可调SAWF(TSF)因其体积小巧、性能卓越,越来越受到重视.简述了SAWF的原理,介绍了几种主要TSF的结构、性能和特点,展望了其今后的发展趋势.     

LiNbO3声表面波特性及其应用

LiNbO3因其优异的压电性能和声表面波特性被广泛应用于声表面波器件中.着重介绍LiNbO3的压电性能、声表面性能及其薄膜制备技术,对通过不同制备工艺生长出的LiNbO3薄膜的质量和声表面波性能进行了比较,并简要介绍了LiNbO3在声表面波领域应用的新进展.     

纳米晶PZT薄膜叠层型体声波滤波器的研究

设计了一个以纳米晶PZT为压电薄膜的叠层型体声波滤波器（SCFBAF）,并在ANSYS11．0中用3D有限元方法对其幅频特性进行仿真与研究,实验结果表明,该SCFBAF工作在682．64MHz时带宽约为280kHz,1781．36MHz时约为320kHz,能满足高工作频率、窄带宽的需要。相比传统滤波器,该种SCFBAF具有可集成和低功耗等优点,将在下一代无线通信射频前端系统中发挥重要作用。     

多层周期性结构隔声特性的试验研究

根据固体物理学的周期性结构的能带理论,通过试验研究多层周期性结构的隔声特性.并利用频谱分析技术对多层周期性结构与非周期性多层结构进行分析,试验和分析表明:多层周期性结构呈现出声子禁带的隔声特性.     

介质/金属/介质多层透明导电薄膜研究进展

综述了介质/金属/介质(dielectric/metal/dielectric,D/M/D)多层透明导电膜材料的特点、制备方法、研究进展与应用现状,重点比较讨论了ITO/Ag/ITO、ZnS/Ag/ZnS的膜系结构、光电性能、化学稳定性、热稳定性等特点,以及与国内外的研究差距.ITO/Ag/ITO、ZnS/Ag/ZnS是目前光电性能最好,且无需引入过渡层的两种D/M/D膜系,但有关其热稳定性的评价和研究存在不同的观点.用资源丰富、价格便宜、无毒的掺铝氧化锌(ZAO)薄膜取代含有价格昂贵的贵金属铟的掺锡氧化铟(ITO)薄膜,ZAO/Ag/ZAO膜系结构的设计、薄膜制备、光电性能与IMI的对比研究是目前国内外D/M/D研究中的热点课题和D/M/D发展的主要方向.     

薄膜体声波谐振器的研究进展

薄膜体声波滤波器作为一种发展高频滤波器的全新解决方案,比声表面波滤波器(SAWF)、陶瓷介质滤波器具有更高的Q值,低的损耗和在高频时具备更高的功率承受能力.介绍了薄膜体声波谐振器的研究历史和研究概况,薄膜体声波谐振器的原理和3种典型结构,具体阐述了薄膜体声波谐振器的关键技术及其材料体系的要求.     

遗传算法在双层微穿孔结构优化设计中的应用

影响双层微穿孔结构的参数很多，其声阻抗及吸声系数的计算复杂。以双层微穿孔板的吸声学为优化目标，穿孔率、孔径及空腔深度为优化参数，研究基于遗传算法对双层微穿孔结构进行优化设计。通过计算程序，验证了该算法的可行性和有效性。写以前的算法比较表明，经优化过的双层微穿孔板的吸声效果有明显的提高。     

钛合金表面Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜制备及性能

采用多靶位真空阴极电弧沉积技术,在TC11钛合金表面制备24周期的Ti-TiN-Zr-ZrN软硬交替多元多层膜。用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、结合力划痕仪、球-盘摩擦磨损试验仪、砂粒冲刷试验仪和3D表面形貌仪,研究多层膜的表面及截面形貌、相结构、厚度、硬度、膜/基结合力、摩擦磨损性能和抗砂粒冲蚀性能。结果表明:所制备TiTiN-Zr-ZrN多层膜厚度约为5.8μm,维氏显微硬度为28.10GPa,膜基结合力为56N;TC11钛合金表面镀多层膜后耐磨性提高了一个数量级,体积磨损率由7.06×10~(-13) m~3·N~(-1)·m~(-1)降低到3.03×10~(-14) m~3·N~(-1)·m~(-1);多层膜软硬层交替的结构,受砂粒冲蚀时裂纹扩展至金属软层时应力的缓冲而出现偏转,对TC11钛合金有良好的抗砂粒冲蚀保护作用。