微波硫灯的技术进展

本文介绍了微波硫灯的发展历史和最新动向。微波硫灯可分为电源系统、波导系统、灯泡、总体结构设计四部分。本文还介绍了在硫灯制作过程中一些需要的注意事项及制作方法。     

微波硫灯发展动向和制作方法

概括了微波硫灯发展历史和最新动向。该灯分电源系统、波导系统、灯泡、总体结构设计四部分，介绍了作者制作的硫灯，归纳了硫灯制作过程中一些需要注意的事项，和制作方法。     

微波硫灯的技术进展和发展动态

微波硫灯是一种高效节能的无极电光源，其具有类似太阳光的连续光谱的优点是其他灯所不能比拟的。首先介绍了微波硫灯的发光机理和性能特点，然后对微波硫灯在研制过程中的波导系统、灯泡和填充物以及电源系统等关键技术进行了系统分析和总结，并提出了今后的发展方向。最后概述了微波硫灯的国内外发展动态，同时指出了微波硫灯具有广阔的应用前景。     

微波硫灯的工作机理

对微波琉灯的工作机理进行了探讨,设计了微波硫灯的原理装置,并对其工作特性进行了初步的研究。     

微波硫灯系统及其进展

本文从微波硫灯的结构、工作激励与特性、微波硫灯系统组成以及其产品开发与发展动态等方面对微波硫灯系统做了综合的介绍。     

基于锁相环的微波等离子体灯扫频源研究

微波等离子体灯是利用微波能激发等离子体发光的新型光源。微波等离子灯射频模块的工作频率是在420～470MHz范围内可调,其输出功率平坦度越小越好。基于锁相环频率合成原理,使用ADI公司的集成芯片ADF4350设计了满足要求的频率源。最终通过设计PCB、制板、电装并调试制作了满足要求的频率源的。最终测试结果表明,输出平均功率为5dBm,功率平坦度小于0．2dB,杂散抑制在50dBc以上。     

有限元法应用于微波和光波器件的问题和发展

本文就有限元法应用于微波和光波器件的原理、问题和最新进展作了综合评述。文中讨论了适用于不同问题的变分公式的意义；着重讨论了避免和消除虚模的方法和处理开放边界的技术；还对代表该领域发展趋势的三个方面，即边棱元法。非线性结构及有限元程序的前后处理问题进行了评论和展望。     

微波硫灯

无极硫灯是一种新型电光源，它具有高发光效率、长寿命、类似于太阳光谱的连续光谱、无汞、小的辐射体积和容易维护等优点。本文简要介绍了微波硫灯的工作原理、设计参数、设计技术和发展前景。     

微波硫灯局部热平衡理论研究

目前国内对于微波硫灯的仿真研究集中于对工程结构的验证及优化,采用的方式是：在冷状态下,对整灯结构的电磁模型进行仿真或转化为等效电磁模型进行仿真。本文则是将关注点放在了发光机理中很重要的能量平衡部分,在热状态下采用自洽的局部热平衡理论,详细阐述了其用于仿真的迭代过程,并推导了其中各参量的计算公式。     

线形同轴耦合微波等离子体系统仿真研究

微波等离子体增强化学气相沉积(MW-PECVD)法产生的等离子体密度高,成膜质量好,是制备高效太阳能电池背面钝化膜的重要方法.基于自主研制的平板式PECVD设备,对其核心部分——线形同轴微波等离子体系统进行了仿真分析,获得了该系统等离子体源的空间分布规律,为设备设计的进一步优化提供技术指导.     

用于等离子体波研究的微波相干散射系统

本文介绍了一种新颖的角分辨微波相干散射系统。该系统使用了介质分束片,可以方便地进行散射角扫描。利用该系统测量等离子声波的色散关系和系统的波数分辨率,实验证明,该系统适用于研究波长较长的等离子体静电波和不稳定性。     

微波等离子体激发用大功率微波模式转换器

设计了大功率微波模式转换器,并采用两种工艺加工,分别利用低功率冷测和大功率热测实验对比了其性能。结果表明,导电氧化的加工件性能要明显优于老化件,其低功率冷测传输效率可达99.9%,返回损耗降低至-29.12 dB,大功率热测实验表明,采用导电氧化工艺的模式转换器镀膜质量要整体优于老化件的镀膜质量。     

对传统网络会话系统的改进新思路

分析了网络会话系统的工作原理和传统网络会话系统的特点，结合传统网络会话系统的不足，探讨了从功能上实现对传统网络会话系统的改进，从而实现结合Internet技术和TCP／IP通信协议，且基于Web的网络会话系统的会话方式。     

微波化学反应器内等离子体空间温度的测量研究

针对矩形波导微波化学反应器,在低气压,低功率,纯甲烷微波放电情况下,用朗缪尔探针测量了石英反应管内等离子体的分布,用热偶计测量了微波等离子体在空间的温度分布。在谐振腔中心位置,等离子体的空间温度可以达到829℃;而在等离子体边缘区域,空间温度仅为78℃。     

微波等离子体刻蚀技术研究

以Corial 200M型干法刻蚀机的三种刻蚀模式为基础,分析了微波等离子体刻蚀技术的优缺点．并讨论了下电极结构对干法刻蚀形貌、一致性和重复性的影响。利用微波等离子体刻蚀技术与反应离子刻蚀技术相结合,实现了SiO2各向同性刻蚀,成功应用于质量控制和失效分析等环节。     

Plasmatron with Microwave Excitation of Nonequilibrium Plasma

Testing results of a microwave plasma generator (plasmatron) intended for excitation of a strongly nonequilibrium plasma arepresented. Nonequilibrium properties of the plasma are described in detail.The plasma flame is formed at an open end of a coaxial line under atmospheric pressure. Argon is used as plasma forming gas, and a 10 GHz CW magnetron with 10 W output power is used for plasma excitation.The efficiency of absorption of microwave power in the plasma is higher than90% with specific absorbing capacity of 0,4.4 kW/cm³     

利用微波诊断等离子体的方法

等离子体是物质的四个基本形态之一,近年来被广泛应用于能源、材料以及国防等方面.介绍了利用微波诊断等离子体的几种常用方法,即微波干涉法、微波反射法、微波辐射法、微波散射法、微波吸收法以及微波透射法.文中详细介绍了微波干涉法、微波反射法、微波辐射法以及微波散射法的原理、特点和国内外研究现状.     

采用微波等离子体平整金刚石薄膜的实验研究

金刚石薄膜的表面平整是金刚石薄膜应用于光学、电学等领域的关键。采用氧气作气源，研究了微波等离子体工艺参数如微波功率、基台位置、氧气流量对平整金刚石薄膜效果的影响。处理后的样品用SEM、AFM观察表面形貌、测试了表面粗糙度。实验表明微波等离子体工艺参数对金刚石薄膜的表面平整效果有显著影响，并且这些参数是相互关联的。在适宜的条件下，金刚石薄膜的表面粗糙度明显降低，约为处理前的一半。该法可对金刚石薄膜进行原位处理，方便有效。     

微波等离子体CVD装置中的微波模式转换器的模式研究

为提高微波等离子体化学气相沉积（ＭＰ－ＣＶＤ）金刚石膜的面积和沉积速率，我们成功研制了５ｋＷ水冷不锈钢反应腔式ＭＰ－ＣＶＤ装置。本文主要给出微波模式转换器中微波模式分布的理论假设、实验测定和推导。结论：矩形彼导中的ＴＥ１０模式或转变为同轴线中的ＴＥＭ模式，再由ＴＥＭ模式转变为圆柱形波导中的ＴＭ０１模式。本文最后给出ＴＥＭ模式，ＴＭ０１模式的初相位。