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采用直流磁控溅射方法在长有300 nm厚的Si3N4薄膜的Si(100)晶圆上制备了氧化钒薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)和探针法分析了不同功率对薄膜结晶结构、成分、表面形貌和电学性能的影响。结果表明:不同功率沉积的氧化钒薄膜均为非晶结构,薄膜主要成分为VO2和V2O5;随着功率的提高,薄膜的平均粗糙度降低,V2O5的含量升高,进而导致电阻温度系数绝对值也随之增大。 相似文献
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采用高温固相反应制备φ60mmYBa2Cu3O7-x-(YBCO)靶材;通过直流磁控溅射后退火制备具有不同过滤层(SiO2/Si,ZrO2/SiO2/Si)的薄膜,对于Si为衬底的YBa2Cu3O7-x薄膜,当x>0.5时,薄膜的导电性由超导态转向半导体状态,进行了X射每衍射(XRD)分析,电阻温度系数(TRC)和Hall系数测试,并进行Raman散射的微观分析实验,认为半导体薄膜可用作室温工作的红外测辐射热计(Bolometer)灵敏元。 相似文献
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以NbCl5作为前驱物,用微波催化的溶胶-凝胶法制备了Nb2O5薄膜,并在不同温度下进行热处理。经透过率测试及用X射线衍射分析仪和原子力显微镜对薄膜的相结构和表面形貌进行测试分析,测试结果表明:制得的薄膜主晶相为假六方Nb2O5晶相(TT-Nb2O5晶相)。薄膜厚度具有良好的透光率、良好的空架结构。 相似文献
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氧化钒由于其独特的光电性能在红外探测器、光电调节器、智能窗、光存储及传感器等应用领域备受关注。对制备氧化钒薄膜采用的专利技术进行了梳理,对日后氧化钒薄膜的制备及性能优化具有很好的指导意义。 相似文献
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气相催化氧化法烟酸的绿色合成研究 总被引:3,自引:0,他引:3
以3-甲基吡啶为原料,用V2O5/TiO2系催化剂,采用气相氧化法一步合成烟酸。水与3-甲基吡啶分开进料,通入催化剂床层后混合进行反应。实验考察了V2O5/TiO2用量、助剂、反应温度、进水量及空速等因素对催化剂活性的影响。当V2O5负载量为25%,反应温度320~340℃,3-甲基吡啶空速0.15~O8h^-1,空气、水、3-甲基吡啶的进料摩尔比为110:100:1时,烟酸的产率达到90%以上。 相似文献
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石煤灰渣酸浸提钒工艺中钒的浸出动力学 总被引:4,自引:0,他引:4
采用液-固多相反应的缩芯模型研究了石煤灰渣中V2O5的浸出动力学,考察了酸浸温度、硫酸浓度对V2O5浸出反应速率的影响. 结果表明,在实验温度范围内,V2O5的浸出过程为固膜扩散控制,浸出反应的表观活化能为29.96 kJ/mol. 当硫酸浓度小于6 mol/L时,浸出属化学反应控制过程;当硫酸浓度大于6 mol/L时,浸出过程为固膜扩散控制,其表观反应级数为1.199. 提高酸浸温度可提高V2O5的浸出率;在硫酸浓度小于6 mol/L时提高硫酸浓度,可提高V2O5的浸出率;而高于该值提高硫酸浓度对V2O5浸出率的提高无明显作用. 相似文献
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在水溶液全循环尿素工艺中,蒸汽压力波动不仅影响系统的生产能力,而且会影响产品质量。采用水抽真空系统,不仅确保了产品质量,而且降低了尿素消耗。 相似文献
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以RNJM03- 4200 型三效降膜式蒸发设备为例,针对近些年来降膜式蒸发设备真空装置出现的问题,就如何合理配置真空装置予以描述。长期应用表明效果良好,其理论计算与实际应用是吻合的。 相似文献
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介绍了湿法磷酸真空浓缩过程中氟的逸出情况以及深度脱氟试验情况,并得到相应的数学关联式,可供设计,开发时参考。 相似文献
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