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美国加里福尼亚州的ＴｉＮｉ合金公司新近开发成功在磨光的硅基片上沉积的ＮｉＴｉ合金 (Ｎｉｔｉｎｏｌ)形状记忆合金薄膜 ,并且成功地将这种形状记忆合金薄膜制成了致动器 ,应用在微电机械系统中 ,当对这种致动器通以 5 0～ 15 0ｍＡ的电流时 ,就会在每次循环产生 10Ｊ/ｃｍ3 的电力。据说这种形状记忆合金致动器的输出功率要比静电致动器或热气动致动器高 10倍左右。另外 ,形状记忆合金薄膜致动器重量很轻 ,能在高压下工作 ,并可自动复原。其用途包括微型阀门、泵、继电器、开关等 ,但其最重要的用途还是光导开关。据说该公司还正在试验… 相似文献
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日本东京大学精密工学研究所新近开发成功一种利用非晶合金薄膜材料借助于静电驱动的锥形螺旋弹簧微型致动器 ,系世界首创制品。该致动器利用锆基非晶金属薄膜在一定的温度范围保持液态过冷熔体的性质加工成锥形螺旋弹簧形状的可动电极 ,并与在硅基片上分割成 4部分的基片电极连接。在这两电极上加电压时 ,在两电极之间便会产生静电力 ,利用静电吸引力作用即可实现驱动。这种致动器的直径为 80 0 μｍ ,能分阶段进行大约 4 0 μｍ的垂直驱动 ,通过集成化尚可实现微小物品的搬运以及确定位置等项用途使用非晶合金薄膜的致动器@光明… 相似文献
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微型机械用Ｎｉ┐Ｔｉ形状记忆合金薄膜的新热处理法微型机械日益广泛地用于医学、生物学、半导体产业等许多科技和工业领域中，发挥了重要作用。Ｎｉ－Ｔｉ形状记忆合金薄膜用于制作微型致动器是一种不可缺少的材料。最近，日本金属材料技术研究所与筑波大学合作开发成功... 相似文献
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为了得到高质量的纳米薄膜，对直流磁控溅射法制备Ni-Ti薄膜工艺进行了研究。采用单晶硅和玻璃两种基体材料，并在不同的基体温度、晶化温度、溅射功率等条件下制备薄膜。之后对薄膜进行了XRD，SEM分析。分析结果表明：薄膜成分、厚度、表面形貌、致密度与溅射功率、基体温度、晶化温度、基体材料密切相关。并根据实验结果给出优化的纳米Ni-Ti薄膜制备工艺。 相似文献
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磁控溅射制备纳米Ni-Ti薄膜工艺研究 总被引：1，自引：0，他引：1
为了得到高质量的纳米薄膜,对直流磁控溅射法制备Ni-Ti薄膜工艺进行了研究.采用单晶硅和玻璃两种基体材料,并在不同的基体温度、晶化温度、溅射功率等条件下制备薄膜.之后对薄膜进行了XRD,SEM分析.分析结果表明:薄膜成分、厚度、表面形貌、致密度与溅射功率、基体温度、晶化温度、基体材料密切相关.并根据实验结果给出优化的纳米Ni-Ti薄膜制备工艺. 相似文献
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用热处理方法合成Nd-Fe-B系垂直磁各向异性薄膜永磁材料^[1] 永磁体的微小化正引起电机、致动器、微波集成电路、超高密度磁记录技术、微型电一机系统等领域的关注。按目前水平100μm为薄板化的极限，现已能制取高性能Nd2Fe14B(称为φ相)的薄膜永磁体，如用溅射法制得高矫顽力垂直磁化 相似文献
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利用溅射法制作的钛 镍形状记忆合金薄膜作为推动微型泵和微型阀门用的强力微型致动器而受到广泛关注。钛 镍合金薄膜能得到如同大块材料一样或者更好的性能。特别是含Ｔｉ过量的钛 镍合金薄膜 ,由于形成更加微细的显微组织而改善了力学性能和形状记忆特性。但目前几乎还没有有关合金成分对于钛 镍合金形状记忆特性影响的系统研究报道。因此 ,日本金属材料技术研究所系统地研究了成分和热处理对于Ｔｉ过剩钛 镍合金薄膜形状记忆特性的影响 ,及其与显微组织的关系。研究用的合金薄膜是在多元磁控管溅射装置上制备的 ,其溅射靶材使用Ｔｉ … 相似文献
