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本文介绍了目前国内已制成的衍射光栅刻划机的概况,同时也介绍了它们所刻光栅的质量。国内刻机有机械型、光电型及间歇刻划、连续刻划方式。在正常刻划的刻机共有15台。所刻光栅最大面积到150×180mm2,刻线密度从50到2400线/mm。 相似文献
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衍射光栅刻划机的闭环控制系统 总被引:2,自引:1,他引:1
以S3C2440A为控制核心,设计了衍射光栅刻划机的高精度运动控制系统,实现了现场显示、实时控制等功能。用S3C2440A微控制器控制伺服电机和步进电机完成光栅刻划的分度运动和刻划运动,通过SiGNUMTM RELM直线光栅尺反馈和PD加前馈控制算法补偿由于惯性等原因造成的分度误差,并用MATLAB对使用PD加前馈控制算法的分度运动进行仿真。采用RON225增量式角度编码器反馈以补偿执行刻划运动的步进电机因失步造成的误差,通过分析和处理实验数据获得分度运动最佳速度和伺服电机在此分度运动速度下停止时的过冲距离。最后,对可能产生控制误差的原因进行了初步分析,并提出了需要进一步改进和完善之处。 相似文献
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本文介绍了北京第二光学仪器厂一台能刻宽100毫米的衍射光栅刻划机的减振基础的具体结构及其实用效果。该基础用拉力弹簧为弹性元件,其自振频率在垂直方向为1.5赫兹,在水平方向为0.77赫兹,阻尼衰减系数分别为0.18和0.09,该基础距厂内主干道仅约15米,机器可正常刻制30线/mm至1200线/mm的光 相似文献
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由于大型衍射光栅刻划机刻划系统的双拉杆结构不能使其满足精度指标要求,本文设计了一套单拉杆结构。讨论了石英导轨分度方向弯曲误差产生的原因及其减小该误差的方法,分析和比较了两种拉杆结构的鞍型滑块的受力情况。基于材料力学弯曲变形理论,建立了石英导轨分度方向弯曲误差模型。在该模型的基础上仿真了双、单拉杆结构下刻划系统的石英导轨在分度方向上的弯曲变形误差。最后,使用双频激光干涉仪对石英导轨上的两个特征测量点进行了测量。测量结果显示:改进后的拉杆结构使得石英导轨在两特征测量点处的位移误差由50.36nm降低到小于10nm,满足大型衍射光栅刻划机刻划系统在分度方向上5~10nm的精度指标要求。 相似文献
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针对衍射光栅刻划机开环控制的定位精度不能满足指标要求的问题,在刻划机已有的状态和结构下,设计了微定位系统的控制器。首先,介绍了衍射光栅刻划机,分析了微定位系统及其定位精度指标。然后,运用系统辨识的方法,设计了微定位系统的扫频实验,建立其数学模型。接着,提出了在已有数学模型的基础上,运用实际测量数据和MATLAB/Simulink软件仿真试凑来设计控制器的方法,并设计了满足精度指标要求的控制器。最后,将设计的控制器应用于微定位系统并进行模拟刻划实验,实验结果可知:所设计的微定位系统控制器定位精度基本满足指标要求,其中峰-峰值小于40 nm,RSM值总体略大于2.8 nm。 相似文献
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衍射光栅机械刻划成槽的预控试验 总被引:1,自引:0,他引:1
由于目前机械刻划衍射光栅加工仍依赖操作者经验,故存在成槽质量差、无法预控等问题.本文结合铝薄膜蒸镀工艺现状,采用X射线衍射法(XRD)、扫描电子显微镜法(SEM)及纳米压痕实验揭示不同薄膜样本的微观结构与力学属性,提出了制作衍射光栅的“薄膜分类试刻法”.研究结果表明,光栅刻划过程可近似等效为楔体下压过程,对“低弹性模量类”薄膜,可采用滑移线场进行解析求解并一次试刻成槽;对“弹塑性类”薄膜,可采用有限元模拟实验进行成槽预控.该方法可预先对薄膜甄别分类,用不同的计算方法确定不同种类薄膜的工装参数,进而刻划出近乎完美的槽形;同时减少了试验刻划耗时与浪费,提高了成槽质量与刻划效率;为刻划更加精密的光栅奠定了基础. 相似文献
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本文提出了对光栅分度误差进行实时测量的方法,阐述了此方法的原理和实现过程。对测得数据,根据stroke理论分析了分度误差对光栅谱线产生的影响,实践证明,用此方法得到的谱的线轮廓与用光谱法测得的谱线基本一致。 相似文献
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美国基特峰国家天文台(Kitt Peak National ObserVatory)的衍射光栅刻划机是一台干涉控制连续刻划光栅刻划机,它是美国麻省理工学院(M. I. T)哈里逊教授(G. R. Harrison)的第三台机器,于1973年转到天文台. 相似文献
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《仪器仪表学报》2015,(2)
针对衍射光栅刻划机开环控制的定位精度不能满足指标要求的问题,在刻划机已有的状态和结构下,设计了微定位系统的控制器。首先,介绍了衍射光栅刻划机,分析了微定位系统及其定位精度指标。然后,运用系统辨识的方法,设计了微定位系统的扫频实验,建立其数学模型。接着,提出了在已有数学模型的基础上,运用实际测量数据和MATLAB/Simulink软件仿真试凑来设计控制器的方法,并设计了满足精度指标要求的控制器。最后,将设计的控制器应用于微定位系统并进行模拟刻划实验,实验结果可知:所设计的微定位系统控制器定位精度基本满足指标要求,其中峰-峰值小于40 nm,RSM值总体略大于2.8 nm。 相似文献
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《仪表技术与传感器》1972,(6)
利用照像法生产径向光栅的一种刻划机已按照Butch叙述的原理创造出来了。这种刻划机利用从一对已有的径向光栅获得的莫尔条纹信号来控制制造有相同刻度的,但精度被提高了的光栅。反复使用这种方法已生产出刻线误差小于0.2秒的第二代光栅。 相似文献
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多年来,我们已经研制出一批高精度丝杠,已分别安装在长春光机所和北京、上海、天津等地光学工厂的光栅刻划机上,这些光栅刻划机都刻制出了质量优秀的光栅。这些经仔细修研的高精度分距丝杠,其精度实测结果为:周期误差小于0.02微米;累积误差在200毫米内小于0.16微米;螺纹与两端轴颈的不同心度小于0.1微米;丝杠两端轴颈的不同心度小于0.15微米。制造这些高精度丝杠时,在分距丝杠的设计、丝杠材料的选择、丝杠的热处理、丝杠的机械加工、丝杠的研磨和丝杠的检验等 相似文献
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研究了光栅机械刻划过程中弹性刀架和金刚石刻刀系统的摩擦型颤振机理。建立了光栅机械刻划摩擦型颤振动力学模型,并对颤振系统进行了稳定性分析,提出了系统的稳定性条件和"稳定性阈"。从能量角度对颤振进行了分析,获得了相同的稳定性条件。在刻划工艺试验装置上单一改变刻划速度进行了光栅刻划试验,通过对刻划力的测量和分析,验证了竖直方向刻划力相对于刻划速度具有下降特性,即满足了摩擦型颤振的前提条件。最后,通过对2、6、10和13mm/s 4组不同刻划速度下所刻光栅槽形轮廓的检测,验证了该系统在超过临界刻划速度(在6~10mm/s)的情况下会有颤振发生。验证实验证明了该摩擦型颤振动力学模型的有效性和稳定性阈的存在性,为深入量化分析并抑制颤振的发生奠定了理论基础。 相似文献