半导体硅材料研磨液研究进展

随着IC制造技术的飞速发展,为了增加IC芯片产量和降低单元制造成本,硅片逐渐趋于大直径化,然而为了满足IC封装的要求,芯片的厚度却在不断的减小。因此,对硅片加工的表面质量提出了更高的要求。文章详细说明了硅片研磨机理及工艺条件;重点阐述了在半导体硅片的研磨过程中研磨液的组成及各个组分的作用;并介绍了国内外研磨液的发展现状,指出了其优缺点;最后强调了研磨液开发的重要性。     

研磨液在氧化镓晶体研磨中的作用

氧化镓晶体易解理,严重阻碍了研磨过程中晶体表面质量的提升。根据摩擦学原理建立边界润滑磨损模型,探索了不同研磨液在研磨过程中的作用机理。针对晶体的解理特性,依据理论模型依次采用水、油作为研磨液对氧化镓进行加工实验研究。结果表明:首先水磨,晶体表面由粗研磨产生的解理现象得到有效抑制,表面粗糙度Ra由粗研磨后的325 nm降至70 nm;然后油磨,晶体表面的微解理缺陷逐步消失,表面粗糙度Ra由水磨后的70 nm降至24 nm。该研究为易解理晶体的精研磨提供有益参考。     

研磨液对440c不锈钢磁力研磨效果的影响

分别以46#机械油和煤油对440c不锈钢表面进行磁力研磨。通过正交试验对研磨加工的工艺参数进行优化,从表面粗糙度、基体质量损耗、三维表面形貌等方面对比研究了上述2种研磨液对不锈钢表面光整效果的影响。结果表明,以机械油为研磨液时的光整效果更好,磁力研磨的最佳工艺条件为:主轴转速2 500 r/min,加工间隙1.8 mm,进给速率60 mm/min,磨料填充量2.0 g。在最佳工艺条件下研磨后,工件的表面粗糙度由0.381μm降至0.032μm,大量毛刺和划痕得以去除,镜面效果良好。     

水基增稠剂的研制

介绍水基增稠剂的合成工艺，并讨论单体，乳化剂，引发剂，交联剂和温度对产品性能的影响。     

水基防锈剂的研制

为了克服目前水基防锈剂存在的防锈周期短,以及含亚硝酸盐、重铬酸盐等有害物质的缺点,以环氧乙烷衍生物TC-941、多聚膦酸酯LS-150、三乙醇胺、甲基硅酸钠、三元酸[即(2,4,6-三(6-氨基己酸基)-1,3,5-三嗪]等原料研制了一种环保型水基防锈剂。采用正交试验优化了原料用量,通过氯化钠盐水浸泡、硫酸铜点滴腐蚀试验、极化曲线测量、附着力测试和扫描电镜观察等方法对该水基防锈剂的性能进行了评价,并与市售403防锈剂和F20-1防锈油进行比较。结果表明,优化的防锈剂工艺配方为:6 g/L的甲基硅酸钠浓缩液,15 g/L的LS-150,40 g/L的三元酸·三乙醇胺盐,10 g/L的TC-941。当成膜时间为6 min时,所研制的防锈剂对20钢的防锈性能优于市场同类产品。     

燃气轮机水基清洗剂的研制

经过大量试验研究,立足国产原材料研制出的燃气轮机基清洗剂的性能指标达到美国军用标准ＭＩＬ－Ｃ－８５７０４Ｂ的要求,具有清洗效率高、无腐蚀等特点,是燃气轮机压气机清洗的良好清洗剂。     

环保水基防锈液的研制

以含有特殊功能官能团的水溶性高分子聚合物为主体,再加入其它助剂或纳米粒子制备了一种用于金属表面处理的除锈防锈液,研究了其防锈性能.研制出的水基防锈剂具有自干成膜,成膜坚韧、致密等特点,且符合环保要求.     

环保型水基防锈剂的研制

以肌醇六磷酸酯、丙烯酰胺、谷氨酸为主体原料,研制了一种环保型水基防锈剂,通过正交试验确定其最佳配比,并对其防锈时间进行了测试,结果表明该防锈剂具有优良的防锈性能.为提高防锈剂的成膜质量,在其中添加了高分子成膜剂,其中的马丙共聚物不但使防锈膜更加均匀,而且进一步延长了防锈时间,使中性盐雾实验时间接近50 min.     

水基固体润滑剂的研制

一、前言固体润滑就是用固体物质进行润滑,属于磨擦学的一部分。在普遍研究各种固体物质磨擦规律和影响因素的基础上,从中找出磨擦系数较小的固体,以液体或胶体为辅,配成不同形式的润滑剂,用以涂布在磨擦面上,全部或局部地瞬间生成固体润滑膜,起着主要的润滑作用。固体润滑的应用正在迅速扩大,在生产上显示出解决问题的非凡能力,可以解决许多过     

环保型水基清洗剂的研制

研制了一种新型环保的水基清洗剂。并探讨了温度、时间和清洗剂活性物质量分数对脱脂率的影响。清洗剂的典型组分为:2.0%氨基聚醚混合物、0.3%～0.4%α-烃基磺酸钠、0.4%～0.5%壬基酚聚氧乙烯醚、1.2%～1.3%羧酸盐防锈剂。该清洗剂具有稳定、低泡、无毒、无害、去污率高的特点,在室温6min下清洗率达100%,对碳钢和铸铁具有良好的清洗和防锈能力。     

燃气轮机水基清洗剂的研制

经过大量试验验究,立足国产原材料研制出的燃气轮机水基清洗剂的性能指标达到美国军用标准 Ｍ Ｉ Ｌ－ Ｃ－ ８５７０４ Ｂ 的要求,具有清洗效率高、无腐蚀等特点,是燃气轮机压气机清洗的良好清洗剂．     

水基金属清洗剂的研制

文章配制的水基金属清洗剂是合成洗涤剂的一种,主要用于金属外表面的清洗。在配制过程中,根据其大概组成成分用正交设计法配出了几十种配方,严格按照美国标准MIL-C-87937B(1994)为要求,分别进行不溶物,乳化性,残留物,清洗效率,低温稳定性,高温稳定性等性能的检测。实验结果表明,部分配方不仅符合上述标准,而且还具有高效,防蚀,常温使用,无毒性等性能,具有较高的使用价值。     

水基厨房清洁剂的研制

文章通过表面活性剂复配技术研制出一种水基厨房清洁剂,并获得了该清洁剂配方中各组分含量与洗净力之间的变化规律。结果显示,所制备的厨房清洁剂去污快速,洗净力可达99.0%以上;且产品中不添加有机溶剂,碱度低,对不锈钢、铜、铝等常见金属无腐蚀,对厨具烤漆表面无损伤,具有广阔的市场前景。     

新型高心滚子轴承塑料保持架的研制

介绍新型调心滚子轴承塑料保持架的产品结构和模具结构，保持架材料的高低温性能试验，注射成型工艺试验，轴承的振动噪声测试及轴承的寿命可靠性试验等。     

聚乙烯醇分散水基磁流体的研制

将Fe^2＋和Fe^3＋均匀地分散在聚乙烯醇高分子溶液中,用化学共沉淀法进行原位反应,制得聚乙烯醇分散水基磁流体。用Gouy磁天平、透射电镜、X射衍射仪和纳米粒度与电位分析仪对磁流体和铁氧体进行测试与分析。研究发现,磁流体中的磁性粒子粒径为10nm以下,磁流体具有超顺磁性,聚乙烯醇（PVA）高分子线团包裹着Fe3O4磁性粒子,形成十分稳定的分散体系。     

无磷水基金属清洗剂的研制

研制了一种不含强碱和磷化物的水基金属清洗剂,其主要成分质量分数分别为8%～15%复合表面活性剂,5%～10%碱度提供物质,2%～5%助剂.该清洗剂的清洗时间为4～6 min,清洗效率高达99.5%,腐蚀率为零.     

高强水基环氧砂浆的研制

研制开发了一种高强水性环氧乳液砂浆,确定了水性环氧乳液砂浆的基本组成:水性环氧乳液掺量为5%,促进剂掺量1.25%(相水性环氧乳液的质量百分比),消泡剂掺量为0.3%(水性环氧乳液的质量百分比),并在此基础上加入适量的高效减水剂和保水增稠剂,最终得到了一种性能优良的水性环氧乳液砂浆.     

环保型水基金属清洗剂的研制

本文通过试验研制了一种新型的水基金属清洗剂.清洗剂主要由表面活性剂、助溶剂、防锈剂、润滑剂和水为基本原料组成的透明液体.这种清洗剂的特点是稳定、去污率高,防腐防锈性强,而且无毒、对人体无害.特别是实验温度在室温下即可达到清洗率在96%以上.     

高固含量水基白乳胶的研制

以乙酸乙烯及丙烯酸丁酯为混合单体制备高固含量水基白乳胶。采用种子乳液聚合法，制备高固含量、中等黏度、稳定性好的聚合物乳液。并探讨了单体配比、第二种子添加量、补加乳化剂量对乳液固含量的影响。