采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器

采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器Ｓ．Ｍａｒｃｏ，等１．引言高性能的硅压阻式压力传感器已广泛应用于工业环境中，然而在生物医学方面，若利用硅压阻式压力传感器进行介入性测量以直接监视被测物，则将在大小尺寸、准确度和灵敏度方面受到严格...     

MPX型低压数字式压力计的研制

压阻式传感器是近年来发展应用很广的一种压力传感器，本文介绍了美国摩托罗拉公司（ＭｏｔｏｒｏｌａＣｏ．）生产的ＭＰＸ横向扩散型硅压力传感器的主要特性。利用它作为转换元件研制成测量范围为２００ＫＰａ的数字式压力计，这种仪器体积小，准确度高，显示直观明确，具有实用价值。     

微谐振型光纤传感器研究

本文研究了一种由光束激励并检测的微谐振型光纤传感器，说明了利用单昌硅制作 微型硅谐振器的制作 方法。在实验的基础上分析了谐振器在光激励下的振动机理，给出了测量压力参数的原理。     

微压压力传感器的结构改进

硅压力传感器具有小型和高灵敏等的优点，近年来小型高灵敏度的压力传感器的量程已低到１ｋＰａ。在这一发展过程中硅弹性体结构的改进起了很大的作用，本文介绍了作者首先提出了适用于微压压力传感器的梁膜（岛）结构以及以后几年来出现的相近的结构，用这些结构都已制成量程为１ｋＰａ的压力传感器 。     

MEMS压力传感器技术最新进展

笔者在刚刚于西班牙巴塞罗那结束的国际固态传感器大会Transducers 2013上担任了压力传感器Session的主席,对现场七个口头报告有了最直接的接触,据此可以体会到MEMS压力传感器技术对全球最新进展,于下面顺序介绍。台湾的Asia Pacific Microsystems公司与台湾清华大学合作研发了汽车TPMS传感器(论文题目:NOVEL TPMS SENSING CHIP WITH PRESSURE SENSOR EMBEDDED IN ACCELEROMETER)。如图1所示,为了减小芯片尺寸,将压力传感器部分制作在压阻加速度传感器的质量块中。采用CavitySOI工艺并结合硅/玻璃键合,该复合集成传感器显示了如表1所示的性能指标。     

可对多参数测量的硅传感器系统的研制

本文介绍了一种新型的可对多个目标测量的硅压力传感器系统的研制,它是把多个硅压力传感器组合成一个完整的传感器系统,用于对多个不同的对象同时完成独力测量,文章具体描述了对压力、测量、干度实施测量的原理、过程以及传感器系统的结构制作。     

可对多参数测量的硅传感器系统的研制

本文介绍了一种新型的可对多个目标测量的硅压力传感器系统的研制,它是把多个硅压力传感器组合成一个完整的传感器系统,用于对多个不同的对象同时完成独力测量。文章具体描述了对压力、流量、干度实施测量的原理、过程以及传感器系统的结构制作。     

新型复合硅微传感器的设计

为了解决弹药武器系统的高温、高压、强冲击振动和紧凑设计条件的测试问题，提出了一种以半导体压阻效应、极间电容变化以及PN结温度效应为基本原理的加速度、压力与温度多参数硅微复合传感器．介绍了复合传感器的工作原理、系统构成以及有限元分析仿真模型．给出了传感器的微结构照片及其性能参数．     

悬桥式微流量传感器

本文报导了悬桥式微流量传感器的制作以及特性测试，这种传感器采用硅微机械加工技术在硅片上制作微悬桥，微悬桥由二氧化硅、ＬＰＣＶＤ多晶硅、ＬＰＣＶＤ氮化硅三明治结构材料组成。该传感器可测量０．０１～１００ＳＣＣＭ的气体流量，其响应时间小于１０ｍｓ，芯片尺寸为７×６ｍｍ２。     

一种压力传感器零位温漂的补偿方法

介绍了一种解决微型动态压阻式压力传感器温补问题的方法,导出了计算公式,其特点是补偿元件少,方法更简便易行。     

基于MAX1452的硅压阻压力传感器数字补偿设计与拟合分析

随着现代科学与技术的高速发展,高精度传感器的应用日趋成熟。MAX1452作为一种高度集成的模拟传感器信号处理器,具有16引脚SSOP封装、全模拟信号通道、低功耗、温度范围宽等特点,可用于硅压阻压力传感器的数字补偿。硅压阻压力传感器输出的信号经过MAX1452校准补偿版输出模拟信号,再经过A/D转换器输出数字信号,在这个过程中,MAX1452全模拟信号通道没有引入量化噪声,利用16位DAC实现数字化校正,16位DAC对信号的偏移量和跨度进行校准,实现硅压阻压力传感器的数字补偿。     

超高压正弦压力发生器

正弦压力标定方法是最理想的动态校准方法，是检验压力传感器稳定性，可靠性的最佳手段。本文介绍的是一种新型的超高压正弦压力发生器装置。该装置产生１０ＭＰａ－１０００ＭＰａ的正弦 ，其频率范围可覆盖目前枪，炮膛压测量的使用范围，重复性好，精度高，操作使用方便。     

热激励硅谐振式微结构压力传感器若干关键参数设计

针对一种以方形硅膜片为一次敏感元件、硅梁为二次谐振敏感元件的热激励硅微结构压力传感器的实际结构,分析了其工作机理和产生热特性的机制.给出了考虑热特性情况时的传感器的被测压力与输出频率的特性方程;给出了传感器稳定可靠工作的条件;给出了梁谐振子的几何结构参数和激励、拾振电阻几何参数选择与位置设置的原则.     

一种齐平封装的MEMS高频响压力传感器

设计了一种耐高温、高频响压力传感器芯片,解决了军事爆破工程实际中需要在高温环境中不失真地测量一些变化频率高、压力波形上升快陡的动态压力.基于硅隔离SOI(绝缘体上的硅)技术和MEMS(微型机械电子系统)技术,利用ANSYS对它们进行了量程和固有频率的模拟,并分析计算了加速度灵敏度.对它们进行了齐平结构的封装.避免了管腔效应的影响,得到了一种耐高温、高频响的压力传感器.对其中1 MPa量程的压力传感器进行了动态标定,通过激波管的试验,得到1 MPa压力传感器的响应频率为147 kHz,满足工程实际中的应用.     

瞬态超高压压阻式传感器技术研究

针对现有压力传感器不能满足高压、高温、高冲击等恶劣环境下高膛压测试的现状,提供了一种瞬态超高压压阻式传感器。该传感器利用惠斯通半桥式工作原理,选用具有良好压阻效应的硅锗锰铜丝作为敏感元件材料,通过改进制作工艺和装配方式,使该传感器能够承受瞬态高压、高温,实现对0~800 MPa动态压力测试。对比分析表明:在高、低、常温状态下,该传感器非线性误差均不大于0.5%,具有灵敏度高、体积小、安装灵活方便的特点,可广泛应用于高膛压火炮及高压密闭爆发器试验装置的压力测试与研究。     

耐高温小型压差传感器的研制

小型耐高温压差传感器主要用于高温状态下测量发动机活塞两腔压力差。采用SOS(硅-蓝宝石)材料制作硅压阻式压力敏感芯片,两只压力敏感元件,分别测量高压端和低压端的压力输出,再利用精密的信号处理电路,将微弱的电信号进行放大处理,实现标准的模拟信号输出。     

一种硅芯片/玻璃环静电键合的简易装置

随着微机电系统(MEMS)技术的发展,促进了半导体硅压阻式压力传感器低成本和集成化,使其得到了广泛应用;在压阻式压力传感器无应力封装工艺中,硅芯片/PYREX7740玻璃环静电键合起着重要的作用.本文论述了静电键合基本原理,以此研制了适合于大批量生产的静电键合简易装置,实践表明此装置易操作,施加键合静电电压降为160V,键合时间缩短为约2分钟,键合界面具有较大的封接强度和耐高温冲击性,满足了压力传感器制作的无应力封装的需要,具有实用性.     

微加速度传感器的新进展

本文介绍了微加速度传感器的最新发展,单向微硅加速度传感器,三维集成微加速度传感器系统,微型集成惯性测量平台系统等。还介绍了最新的微加速度传感器和集成微加速度传感器的制造工艺技术。     

纳米添加材料压力传感器的实验研究

压力在生产、科研等过程中都是经常需要测量或者动态监测的物理量,常用的测量压力的装置有压力表,压力传感器等,传感器又分硅压式,陶瓷式,电压电容式等。近年来纳米材料由于其优良的物理、化学和力学性质已经成为各领域研究的重点。本文主要介绍一种新型碳纳米管添加材料压力传感器的工作原理。     

关于请作者提供身份证号码及其他个人基础信息的启事

一、工作原理 PTB220感应元件采用VISALA研制的硅电容绝对压力传感器BAROCAP，是通过硅微加工而成。PTB220的工作原理是基于一个先进的RC振荡电路和三个参考电容，并且电容压力传感器及电容温度传感器连续测量，微处理器自动进行压力线性补偿及温度补偿。当得到压力变化时．硅薄膜弯曲使传感器真空室高度发生变化，导致传感器电容值发生变化。通过测量转换，可以得到压力值。