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沈建成 《机械制造与自动化》2004,33(4):49-51,56
应用环境扫描电镜和能谱分析仪的现代分析手段,对D 150mm补偿器使用泄漏失效原因进行了分析。结果表明,使用环境中存在S^2-、Cl^-元素和在拉应力状态下发生应力腐蚀开裂是产生泄漏失效的主要原因。 相似文献
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用补偿器测量非球面的研究 总被引:11,自引:5,他引:6
重点讨论用零补偿器测量光学非球面表面面形精度的方法,并通过补偿器的光学设计,具体分析了各参数要素对测量精度的影响,最后给出在非球面数控加工不同阶段中对直径500mm,ƒ/2的双曲面主镜的检测结果。 相似文献
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本文系统地阐述了套筒补偿器发展至今的各种结构及其特点,所用密封材料及其特性,摩擦力试验及其计算公式.文中还对目前使用中出现的一些问题进行了分析. 相似文献
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在现代化工生产中,无论是应用先进的设备还是严格的管理,生产中由于种种原因造成的泄漏都是不可避免的。针对出现的泄漏问题,以管道补偿器的泄漏为例,采用隔离式密封夹具,并对夹具的端板及隔离腔进行改进,简述了增加注剂密封槽和引流接管2项措施。案例结果表明,只要有可靠的安全保证及正确的操作方法,通过对传统密封夹具进行合理改进可以成功解决生产装置、设备或管道出现的多种泄漏,具有实际应用意义。 相似文献
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一种大数值孔径小非球面检测用补偿器设计 总被引:2,自引:4,他引:2
利用补偿器的补偿法是检测高精度非球面的一种非常重要的方法,它可以利用已广泛实用的Zygo等高精度的数字干涉仪,用补偿法的关键是补偿器的设计.本文介绍了补偿法检测非球面的原理,针对要检测一种大数值孔径小非球面模芯,设计了一种由4片薄球面透镜组成的补偿器,该补偿器由前后两部分组成,前面两片组成一个数值孔径很小的系统,主要用于产生适量的球差,后组两片组成一个数值孔径较大的系统,并与前面的一起满足被测非球面检测的需要.文中对制造、检测及装调等主要误差源引起误差进行了全面分析.用这种补偿器检测相应的非球面,检测精度可达0.05λ,可满足光盘物镜非球面模芯的检测需要. 相似文献
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以焊接机器人为研究对象,针对其重量大、价格高的现状,拟采用ANSYS Workbench软件对焊接机器人进行静应力分析、模态分析以确定待优化位置并根据实际情况提出对应优化方案。最后通过对比优化前后的效果发现优后的焊接机器人在提高强度、刚度同时实现了轻量化,对经济型焊接机器人的后续市场化具有重要的意义。 相似文献
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Offner补偿器的结构设计与装调分析 总被引:2,自引:0,他引:2
90nm节点光刻投影镜头中使用的非球面都存在高次项,而且对理想球面的偏离量较大。本文设计了一种基于三片式结构的Offner补偿器,实现了对高次非球面面形的高精度检测。采用等量轴向球差补偿非球面各阶系数的方法,主动引入一定量的轴向球差,补偿光线在非球面法线方向的偏离量,结果表明:对初级像差和高级像差很好的平衡,使剩余像差很小;MTF 远远超过衍射极限,系统工作波长为632.8nm,F数达到1.64,均方波差RMS<λ/1250。满足了高精度检测补偿器的设计要求。最后根据现有的检测装置的精度对所设计的结构进行了公差分析,给出了较宽松的公差容限。 相似文献
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摘要:介绍了静止无功补偿器STATCOM技术的现状,分析了静止无功补偿器STATCOM的优缺点及其控制系统在电力系统实际应用中的控制策略。在此基础上,展望了无功功率补偿技术的发展方向。 相似文献
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针对主动调谐质量阻尼器(active tuned mass damper,简称ATMD)控制系统用于结构振动控制工程中存在主动控制力偏大、控制系统鲁棒性较差的不足,基于线性二次型最优控制理论,设计了一种带有补偿器的滑模控制算法来计算ATMD系统的主动控制力.为了避免控制系统过大的颤振,提出一种含有饱和函数的指数趋近律,并且给出了相应准滑模控制器的设计方法.鉴于实际中会产生外部能量有限问题,引入了相应的饱和控制器.以一个单自由度结构模型为例进行了相应的数值分析,与相应的未含补偿器的指数趋近律方法设计的ATMD控制系统以及AMD和TMD控制系统的控制效果进行了对比.仿真结果表明,所提方法在保证控制系统较好鲁棒性和较小颤振的前提下,具有较好的控振效果. 相似文献
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用校正法提高补偿器检测法的精度 总被引:5,自引:4,他引:1
研究了一种测量、分离补偿法检测补偿器非圆对称误差的技术,这种技术基于波面误差可用泽尼克圆多项式来表述。通过使补偿器或被测非球面绕系统光轴旋转到多个不同的角度,得到多个测量结果,根据这些测量结果,计算得到由补偿器误差带来的波面误差的非圆对称项泽尼克圆多项式系数,接着根据这些非圆对称项泽尼克圆多项式系数制作一个校正文件对非球面的测量结果进行校正,利用该技术可有效减轻对补偿器材料、加工及装校的苛刻要求,提高测量精度。实验结果表明:对某一被测非球面不用该技术时测量结果为0.105 λ(RMS),应用此技术后的测量结果为0.026 λ(RMS),且被测面在几个任意不同角度时的测量结果相差只有0.001 λ(RMS),效果很好。该技术已被应用到实际的双曲面凸面反射镜的测量中。 相似文献
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从离心式引风机运行时电能消耗巨大的缺陷着手,简要介绍了无功就地补偿的特点、原理、经济效益.充分体现出这项改造项目具有很大的潜力可挖,具有广泛的优越性. 相似文献