弧光放电氩离子清洗源

弧光放电氩离子清洗源是提高膜基结合力的新技术。由空心阴极枪、热丝弧枪、阴极电弧源发射的高密度弧光电子流把氩气电离,用得到的高密度的氩离子流清洗工件。工件偏压200V以下,工件偏流可以达到10A-30A,弧光放电氩离子流密度大,对工件的清洗效果好。本文介绍了几种配置弧光放电氩离子清洗源的电弧离子镀膜机和磁控溅射镀膜机。     

离子镀膜用长寿命阴极电子枪

以硼化物为热电子发射体.在热阴极自持弧光放电状态工作的低电压大电流空心明极电子枪,在离子镀膜设备中用以熔化蒸发并电离膜材料。着重简述枪工作原理,对枪结构主要尺寸,气、电工作参数进行了设计.估算了枪效率。枪的结构简单,放电功率5～8kW.工作350h 后性能稳定。     

大功率强流轴向电子枪的研究

本文是在研制３００ｋＷ、１２０ｋＷ电子枪和大功率离子枪的过程中，对离子收集极、阳极孔效应和阴极浸没等进行了实验研究和理论分析。实践表明，所得结果对提高枪的 电极性能其效果是显著的。     

低能静电氩离子枪

本文介绍一种专门为俄歇电子能谱仪而研制的新型氩离子枪。由于离子源的合理设计、引出透镜系统的改进及其同主聚焦透镜的良好匹配,所以取得了较好的实测结果。当加速电压为2KV、电离电子流(即阴极发射电流)为50mA及工作压强为3.4×10~(-5)托时,在距枪口30毫米处的离子束流密度为350μA/cm~2。经过在俄歇电子能谱仪和分子束外延装置中的长时间考验,证明该氩离子枪的性能是良好的,使用和维修也很方便,能够很好地满足实用要求。     

聚焦离子束系统中离子枪的优化设计

叙述了聚焦离子束离子光学系统中离子枪的优化设计，采用复合形法进行优化设计后的离子枪，其发射性能、光学性能和工作寿命都显著提高。     

聚焦离子束系统中离子枪的优化设计

叙述了聚焦离子束离子光学系统中离子枪的优化设计，采用复合形法进行优化设计后的离子枪，其发射性能，光学性能和工作寿命都显著提高。     

聚焦离子束系统中微波离子枪的束光学特性研究

通过实验和数值模拟研究了聚焦离子束系统中微波离子枪的离子束光学特性，该离子枪由微波等离子体源和Orloff-Swason引出透镜组成。该透镜除了广泛用于场致发射离子枪外，在等离子体源情况下，也能获得很好的离子束光学性能。     

低气压水冷空腔电弧阴极研究

本文介绍低气压水冷空腔电弧阴极的设计原理和实验结果。该冷电弧阴极在发射电流为150安培情况下已累计运行100小时以上并可继续运行。所设计的冷电弧阴极在用于全金属结构氩离子激光器和离子镀膜装置中时,均取得成功结果。     

扫描式氩离子枪的电子光学系统研究

扫描式离子枪是样品表面清洁、表面刻蚀和深度分析的常用部件,加速电压在500V到3kV之间可调,具有效率高、性能可靠等优点。电子光学系统是离子枪的重要组成部分,是决定离子束流品质的重要因素。本文利用计算机模拟软件CST对离子枪整体结构进行建模,研究了离子枪聚焦系统不同结构和电压参数对离子束电流密度和束斑尺寸的影响,同时得到了离子枪偏转系统在不同电压分布下的离子分布情况,通过仿真分析确定了电子光学系统的设计方案,并进行了实验验证。结果表明：工作距离为25mm、氩气工作气压为6×10^-3Pa、加速电压为3kV时,氩离子束的束流大小为3μA;束斑大小在7mm到12mm之间可调;当偏转电压为300V时,偏转角度为4.6°。实验与仿真结果基本对应,同时该离子枪的性能指标可获得表面原子精度构造。     

聚焦离子束系统中微波离子枪的束光学特性研究

通过实验和数值模拟研究聚焦离子束中微波离子枪的离子束光学特性，该离子枪由微波等离子体源和Ｏｒｌｏｆｆ－Ｓｗａｓｏｎ透镜组成。该透镜除了广泛应用于场致发射离子枪外，在等离子体源情况下，也能获得很好的离子束光学性能。     

低压电子枪的设计和特性

本利用高电压把电子从阴极中拉出，再把它减速到人们所希望的能量，这种低压电子枪在工程和科学研究方面有着广泛的应用。本还给出了电子枪设计原理和方法，通过两把实用电子枪的例子进行说明。本枪能获得３０～３００ｅＶ能量的高准直束流。由于离子流和热速度效应的影响，所测得电流比空间电荷最大限制流稍大。     

用于CRT的氧化钪分散型阴极的实验研究

介绍分散型氧化钪阴极的实验研究。涂层材料为三元碳酸盐中分散约10％的Ba3Sc4O9。在BPF枪中，支取jk=1A／cm2的2000h寿命试验表明，新型阴极发射电流跌落≤15％，而普通氧化物阴极，在同样条件下，电流跌落＞30％。文中还提出CRT电子枪中阴极负载的估算方法，并讨论了Sc2O3在阴极中的作用机理。     

Ka波段空间行波管双阳极电子枪设计与优化

利用EGUN软件设计了一把导流系数为0.07μP的Ka波段空间行波管双阳极电子枪。该枪为皮尔斯型电子枪,双阳极分别为控制阳极(2.58 kV)和离子拒止阳极(9 kV)。该设计应用综合迭代法的计算结果进行初步设计,通过调整设计第一阳极,建立考虑导流系数、注腰半径和层流性的电子注性能优化目标函数,应用量子粒子群算法结合MATLAB与EGUN软件对电子枪阳极头位置进行了优化,优化结果满足了空间行波管对电子注的注腰半径和层流性的设计要求。     

用于CRT的氧化钪分散型阴极的实验研究

介绍分散型氧化钪阴极的实验研究，涂层材料为三元碳酸盐中分散约１０％的Ｂａ３Ｓｃ４Ｏ３。在ＢＰＦ枪中，支取ＪＫ＝１、Ａ／ｃｍ＾２的２０００ｈ寿命试验表明，新型阴极发射电流跌落≤１５％，而普通氧化物阴极，在同样条件下，电流跌落〉３０％。文中还提出了ＣＲＴ电子枪中阴极负载的估算方法，并讨论了Ｓｃ２Ｏ３在阴极中的作用机理。     

微波管电子枪真空除气系统设计

在微波管研制过程中,电子枪真空除气过程的主要作用是对阴极进行加热,获得灯丝电流电压与温度的关系曲线、检验电子枪正常工作时灯丝的电流电压,测试电子枪快速启动参数,测量阴极、聚束极热膨胀量和阴极高温时电子枪材料充分预蒸散从而减少电子枪的蒸散物。根据微波管电子枪结构特点和性能要求,设计和开发了极限真空度2×10~(-7)Pa且具有温度、膨胀量等性能测试功能的双工位电子枪真空除气系统。除气系统由直联泵作为前级泵、分子泵和离子泵为主泵构成超高真空系统,采用阀门的切换可实现两工位在超高真空度下同时工作且互不干扰,有效提升了电子枪的品质,缩短了研制进度。每个工位均配置"分子泵启动允许"、"离子泵启动允许"、"分解电源开允许"及"真空异常"指示灯,防止误操作对电子枪部件或除气系统带来损坏。测试结果表明微波管电子枪真空除气系统的工作原理、结构设计合理,性能优良,适用于不同型号微波管电子枪,在电子枪研制生产过程中发挥了重要的作用。     

HCD电子枪的束流特性及浸没透镜效应

本文提出了在设计空心阴极离子放电电子枪（Ｈｏｌｌｏｗ Ｃａｔｈｏｄ Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｇｕｎ）中，阴极与辅助阳极所形成的浸没透镜效应，近而用该效应对电子束的会聚作用，代替辅助阳极外部的电磁聚焦极。通过理论分析和实际验证表明，既满足了电子光路系统的要求，又简化了枪体结构，便于操作，降低成本。并对空心阴极等离子区的形成特征进行了描述，以及讨论了在设计ＨＣＤ枪中遇到的几个问题。     

EQD-6A型电子枪的研制

1977年,我厂研制成功了EQD-6型电子枪,在这基础上,我们对原 EQD-6型电子枪结构方面作了重大改进,于1982年,又成功地研制了改进型的 EQD-6A型电子枪,并首次把它安装在我厂新研制的DMF-700 箱式真空光学多层镀膜机上,经过调试和用户鉴定及使用,证明了该e枪的主要技术性能均达到并超过原设计指标,外观质量良好,工作稳定,重复性好。 本文主要介绍的是EQD-6A型电子枪的技术指标、工作原理、结构特点、主要参数的理论计算以及实测结果的部份数据。 一、主要技术指标输出功率(最大)6kw加速电压(D.C)6～10kv电子束流0～0.6A电子束斑面积0.25…     

离子推力器放电室等离子体电势诊断方案研究

放电室是离子推力器核心部件,目前国内尚未开展离子推力器的等离子体参数诊断工作。应用发射探针诊断离子推力器放电等离子体的参数,介绍了发射探针诊断等离子体电势的原理,发射探针诊断离子推力器放电室等离子体的方案及探针系统的组成。说明了数据处理方法和探针诊断的影响因素。     

真空镀膜技术中的电子束加热式蒸发源

本文介绍了真空镀膜技术中电子束加热式蒸发源的结构、电子束加热原理、特点、优点和工作原理以及电子束加热源中电子枪坩埚的处理和电子枪冷却系统的供水问题。     

全精馏无氢制氩技术在600m~3/h空分设备上的应用

介绍采用全精馏无氢制氩系统的600m3/h空分设备的流程设计和技术参数,分析了小型空分设备全精馏无氢制氩系统氩塔的特殊设计和粗氩循环泵的选择,阐述安装调试中遇到的问题及其解决方法,以及小型空分设备氩塔的操作经验。