柔性ITO导电薄膜蚀刻痕消除工艺

主要介绍柔性ITO导电薄膜蚀刻痕消除工艺,分析薄膜膜系结构设计和主要影响其蚀刻痕的因素。     

热处理对ITO薄膜化学稳定性的影响

用热喷涂法制备了ＩＴＯ透时导电膜玻璃,测定了热处理样品与未进行热处理样品的电阻以及耐酸、耐碱性能。通过两者的对比,发现经过热处理的样品不仅电阻降低,而且其化学稳定性也大幅度增强。这一现象可以用热处理能够消除相互间存在的应力来解释。     

ITO薄膜的研究进展

ITO是锡掺杂氧化铟薄膜的简称,属于透明导电氧化物材料。常规沉积方法制备的ITO薄膜通常为非晶态或体心立方晶系晶体,为n型半导体材料,其载流子为自由电子,主要来源于沉积过程中薄膜化学计量比偏离或阳离子掺杂形成的施主杂质。ITO薄膜是当前研究和使用最为广泛的透明导电氧化物薄膜材料,由于具有低电阻率、高可见光透过率、高红外反射率等独特物理特性而被大量应用于平板显示器、太阳能电池、发光二极管、气体传感器、飞机风挡玻璃除霜器等领域。此外,ITO薄膜对微波还具有高达85%的衰减作用,因而在电磁屏蔽等军用领域显示出巨大的潜在应用价值。过去几十年里,针对ITO薄膜的研究工作主要聚焦于薄膜的光电性能上。当前,伴随着ITO薄膜的应用范围在航空航天和军用武器装备等领域的拓展,ITO薄膜在恶劣力学环境中的使用日渐增多。因此,除光电性能外,ITO薄膜的力学性能也开始受到研究者越来越多的关注,人们对薄膜器件在各类恶劣使用环境中的稳定性及耐久性提出了更高的要求,这一要求使得对ITO薄膜力学性能的深入研究分析有了重要的理论及实际意义。本文综述了近年来ITO薄膜在微结构特性、能带结构、光电性能及力学性能等方面的研究进展,简略探讨了ITO薄膜的研究发展方向。     

柔性透明ITO导电聚酰亚胺薄膜的制备及光电性能

采用透明聚酰亚胺薄膜作为柔性衬底材料,通过射频磁控溅射法制备了不同氧化铟锡(ITO)厚度的柔性透明导电聚酰亚胺薄膜.对导电聚酰亚胺薄膜的透光率、方块电阻、禁带宽度、结晶结构及表面形貌等进行表征分析,系统研究了ITO厚度的影响规律.结果 表明,柔性透明导电聚酰亚胺薄膜具有优异的表面平整性和柔韧性;ITO沉积厚度和生长机制...     

柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制装置的研究

ITO(氧化铟锡)导电薄膜广泛应用于手机、平板、车载导航等触摸屏,其主要采用卷对卷真空磁控溅射设备制备而成。现在对轻、薄的要求越来越高,这就增加了卷对卷生产中比较薄的PET(23?m厚度以下)平整度控制难度,故设计出一种柔性卷绕镀膜中薄膜平整度在线控制的装置,并已在产线成功使用。     

纳米银线透明柔性导电薄膜制备技术研究进展

纳米银线(AgNWs)具有良好的透光性、导电性和稳定性,因此可作为替代材料来制备透明柔性导电薄膜。目前,透明柔性导电薄膜主要通过迈耶棒涂布法、喷涂法、印刷法、旋涂法以及抽滤转印法等方法进行制备。本文主要介绍这五种制备方法的原理及研究进展,简单分析了目前制备过程中仍存在的一些问题,并对其未来的发展方向与应用前景进行了展望。     

柔性透明导电氧化物薄膜的制备及应用进展

柔性透明导电氧化物薄膜以其可挠曲、柔性好、质量轻等优点在柔性薄膜太阳能电池、有机发光二极管及汽车隔热膜等领域具有较好的应用前景。综述了透明导电氧化物(TCO)薄膜的种类、目前柔性透明导电氧化物薄膜的制备技术及优缺点,对柔性TCO薄膜在各个领域的应用和未来研究方向进行了展望：柔性透明导电氧化物兼具柔性、透明性和导电性,因柔性衬底大多不耐高温,应选择合适的衬底材料和制备方法,开发成本低、绿色环保、资源丰富、高性能的柔性TCO薄膜对提高光电子产业竞争力具有重要作用。     

透明导电薄膜概述

系统的介绍了导电膜分类，并着重描述了第二代光学透明导电隐身膜系ITO薄膜的结构、电学性能、光学性能。指出目前国内外的研究重点以及低温成膜技术是ITO研究的方向。     

直流溅射ITO薄膜光电性能研究

采用直流溅射法制备了高性能的ITO薄膜。结果表明,氧气分压比和衬底温度对薄膜的方阻、可见光透射率具有重要的影响。其最佳值分别为0.5/50和350℃;同时,随着膜厚的增加,薄膜的晶粒增大,导电率也相应降低。     

柔性透明导电膜的研究进展

随着电子器件,特别是平板显示器朝轻薄化方向的快速发展,柔性透明导电膜因其具有重量轻、柔软性好等优点而相应成为研究的热点。本文结合近年来柔性透明导电膜领域的最新研究成果,综合介绍其特性、种类、主要制备工艺技术及市场应用情况,最后展望了柔性透明导电薄膜研究发展的趋势,即正朝着高品质、高效率、低成本、环保的方向发展,虽然现在工业应用仍以氧化物透明导电薄膜为主,但银盐法和印刷法导电网格膜、导电高分子膜、金属纳米导电涂层材料、碳纳米管等新型柔性透明导电膜的制备技术、工艺不断完善,透明导电薄膜材料市场必将呈现多元化。     

低阻高透柔性导电膜制作技术

介绍低阻高透柔性导电膜膜层结构以及膜层厚度配比,根据物质的理化性能(附着力、光学性能、电学性能等)进行搭配,导电层由ITO/Ag/ITO膜层组成,在导电层和柔性基底之间引入折射率膜层SiO_x,PET基材经过等离子设备预处理后,工艺室的阴极依次镀制SiO_X、ITO、Ag、ITO等膜系。按照控制变量法,通过对导电层以及折射层膜厚设计,经工艺调整得到市场所需指标产品。     

有机玻璃导电膜表面保护涂层的研制

通过合成低羟值的丙烯酸树脂,有效降低了树脂在固化过程中的交联密度,保证了涂层与导电膜之间优异的附着力,同时有机玻璃导电膜表面保护涂层具有优异的"三防"性能及耐老化等其它性能。     

触摸屏用低方阻PET导电薄膜镀膜工艺研究

触摸屏加工需要使用的导电薄膜材料主要以ITO导电玻璃和ITO导电薄膜为主,随着触控终端的轻薄化,PET导电膜的应用越来越广,目前常规导电膜材料在应用于中大尺寸触摸屏产品时,会产生延迟及触摸不灵敏的情况。从镀膜工艺角度出发,研究在PET上进行低方阻ITO溅射,测试结果表明,低阻ITO薄膜性能稳定可靠,工艺量产可行,产品性能可以满足市场需求。     

柔性薄膜太阳能电池的研究进展

综述了柔性薄膜太阳能电池的研究现状、发展趋势及其应用前景,分别就柔性衬底材料、硅系薄膜太阳能电池、铜铟镓硒薄膜太阳能电池、铜锌锡硫、染料敏化太阳能电池、有机太阳能电池和新型纳米材料太阳能电池进行了介绍。卷对卷以及喷墨印刷法等非真空大面积制备柔性薄膜太阳能电池的工艺,为低成本生产此类太阳能电池带来了希望,对其发展遇到的挑战进行了展望。     

紫外辐射法低温制备柔性TiO_2薄膜电极及其性能研究

采用先研磨后超声波分散的方法制备了TiO2涂膜胶体,由其涂敷的TiO2薄膜经过紫外辐射处理后,获得了组装染料敏化太阳能电池的柔性TiO2薄膜电极。用扫描电子显微镜、红外吸收光谱仪和紫外可见光谱仪对TiO2薄膜电极进行了表征,同时,用数字源表测试了电池的光电性能。结果表明:TiO2薄膜电极具有多孔结构,其经过紫外辐射处理后,有机物完全去除;N3染料敏化后,使其吸光度增大,组装成的电池,其光电转换效率达到0.93%。     

银盐法制备透明导电膜的研究与应用

本文研究了银盐法制备透明导电膜的方法。该方法是通过对特制的银盐感光胶片进行曝光和显影加工,在聚酯片基上形成由金属银构成的网格图案,再经化学镀处理,制得透明导电膜。该透明导电膜的透光率可达80%,根据不同用途,其表面电阻在0.1~1000Ω/□宽广范围内可调控。该方法可用于制造PDP电视的透明电磁波屏蔽(EMI)膜;也可用于制造触摸屏的导电膜、聚合物和染料敏化太阳能电池的阳极,以替代ITO膜。此外,该方法还可延伸到制作RFID电子标签超高频天线等,具有广泛的应用前景。     

溶胶—凝胶陶瓷薄膜制备工艺技术的研究

本文从溶胶制备和薄膜涂覆工艺两方面对溶胶－凝胶法制备陶瓷薄膜中的工艺技术进行了研究,并指出了溶胶－凝胶技术中存在的一些问题。     

掺锡量对溶胶-凝胶法制备ITO薄膜性能的影响

本文以InCl3.4H2O和SnCl4.5H2O为前驱物,利用溶胶-凝胶法在玻璃载片上旋转涂膜制备掺锡氧化铟透明导电薄膜(ITO薄膜)。采用了紫外-可见光分光光度计、四探针测试仪、X-射线衍射仪和扫描电镜等对ITO薄膜的透射率、方块电阻、物相组分和结构形貌进行测量与表征。研究了掺锡浓度对ITO薄膜的光电特性的影响。实验结果显示:ITO薄膜的光电特性与掺锡浓度有关,在掺杂溶度为12wt%时,制备出的ITO薄膜最低方块电阻为124Ω/□,最高透射率为92.85%。     

高分子导电薄膜的制备与性能研究

采用溶胶-凝胶法用不同比例的铁钻盐与助络合剂混合制备了铁钴盐复合膜。以硼氢化钠水溶液还原尼龙6金属盐络合膜，可得到新的导电性能较好的高分子表面金属化材料，研究了还原条件，金属盐不同配比对膜材料导电性能的影响。