IC生产线晶圆片冲洗甩干设备的开发和应用

从IC生产线晶圆片旋转冲洗甩干工艺出发,介绍了半导体晶圆片清洗后的旋转冲洗甩干方法,以及新近开发研制的CXS系列旋转冲洗甩干机的技术原理、结构特点及工艺应用情况。     

CATV系统用彩电专题系列讲座 第六讲 MC-15A机芯派生的大屏幕彩色电视机

厦华牌ＸＴ - 6 6 87Ｔ、ＸＴ - 6 6 88Ｔ、ＸＴ - 6 6 98Ｔ机型 ,环宇牌Ｃ6 4 2 0机型 ,海燕牌Ｃ6 4 2 0机型 ,牡丹牌 6 4Ｃ1、6 4Ｃ2、74Ｃ2机型 ,金星牌Ｃ6 4 18、Ｃ6 4 6 8机型和乐华牌ＣＴ6 388Ｗ机型均为ＭＣ - 15Ａ彩电机芯派生出的多制式、多功能大屏幕彩色电视机 ,其主电路均采用ＴＡ集成电路 ,与东芝ＸＨ系列机芯的设计类似。据了解国产大屏幕彩电中采用这种电路结构的机型还有不少 ,这些机型在电路结构上 ,虽然主信号处理通道都大致相同 (ＬＡ7555图像中放 ,ＴＡ86 59亮度 /色度 /偏转信号处理 ) ,但在一些附加功能电路上各厂家…     

同步数字交叉连接设备及其应用

本文首先对Ｇ．７８２定义同步数字交叉连接设备类型进行介绍，随对ＳＤＸＣ设备的主要模块的功能进行阐述，给出了ＳＤＸＣ设备的主要功能及其应用，最后介绍了国内外ＳＤＸＣ设备的研究与开发。     

甩干设备中的颗粒度分析

甩干设备是半导体清洗工艺后的主要设备,阐述了甩干设备中颗粒产生的各种原因,并进行分析,提出了避免和减少颗粒的解决方案,降低甩干设备带来的颗粒污染.     

TLC770X与TL770X的比较和替换

ＴＩ公司的处理器监控芯片ＴＬ７７０Ｘ系列在工业控制、仪器仪表等方面得到了广泛的应用。但是ＴＬ７７０Ｘ系列芯片采用的是双极型工艺 ,因此功耗较大。为了满足低功耗的要求 ,ＴＩ公司又推出了基于ＣＭＯＳ工艺的ＴＬＣ７７０Ｘ系列处理器监控芯片。虽然ＴＬＣ７７０Ｘ与ＴＬ７７０Ｘ有很多相似之处 ,但是两者并不能直接替换。本文在把两者进行比较的基础上 ,给出了在电路中将基于双极型工艺的ＴＬ７７０Ｘ转换为基于ＣＭＯＳ工艺的ＴＬＣ７７０Ｘ应做的几点改进方法。１ＴＬ７７０Ｘ与ＴＬＣ７７０Ｘ的引脚差异有关ＴＬ７７０Ｘ和ＴＬＣ…     

基于TPS7133的TMS320C206双电源电压供电电路

ＤＳＰ的应用越来越广 ,正确地设计ＤＳＰ应用系统的电源电路是非常重要的。本文给出了一个适用于ＴＩ公司的定点数字信号处理器ＴＭＳ３２０Ｃ２０６的双电源电压供电电路。以供设计参考。１ＴＭＳ３２０系列ＤＳＰ及其供电电路ＴＭＳ３２０系列数字信号处理器（ＤＳＰ）是美国ＴＩ公司的产品。自１９８２年ＴＩ公司成功推出第一代ＤＳＰ产品ＴＭＳ３２０１０以来 ,ＴＩ公司已经陆续推出了定点系列Ｃ１Ｘ、Ｃ２Ｘ、Ｃ５Ｘ及其浮点系列Ｃ３Ｘ、Ｃ４Ｘ等升级换代产品 ,由于其内部结构及其外围设备的配置具有不同类型 ,因而可满足不同用户的开…     

低k介质材料的去胶工艺

据《国际半导体》杂志 1 999年第 2 2卷第 1 2期报道 ,由Ｅａｔｏｎ半导体设备经营管理公司的Ｆｕｓｉｏｎ系统部和ＤｏｗＣｏｒｎｉｎｇ公司联合为 0 1 8μｍ工艺技术开发一种等离子去胶工艺。该课题的最终目的是开发一种全干法等离子去胶工艺 ,对ＨＳＱ低ｋ介质材料上的光刻胶进行高选择性灰化 ,使ＨＳＱ基ＦＯｘ低ｋ薄膜没有“通孔病” (Ｖｉａｐｏｉｓｏｎｉｎｇ) ,以便在 0 1 8μｍ技术中替代ＳｉＯ2 薄膜。低k介质材料的去胶工艺@石松     

数字卫星声音广播近日已在美国正式播出

美国开办的数字卫星广播主要有两家电台。一个是ＸＭ (ＳａｔｅｌｌｉｔｅＲａｄｉｏ)广播电台 ,另一个是Ｓｉｒｉｕｓ (ＳｉｒｉｕｓＳａｔｅｌｌｉｔｅＲａｄｉｏ)电台。ＸＭ广播电台于 2 0 0 1年 11月 15日正式向美国全境开通数字卫星广播业务。使用两个位于美国上空的地球同步卫星 ,下行频段是Ｓ频段的上段 2 332 5～ 2 345ＭＨｚ,主要瞄准国内广阔的汽车用户市场。ＸＭ卫星广播电台每周 7天 ,每天 2 4小时播出 ,提供 10 0套ＣＤ音乐、新闻和体育等数字声音节目 ,每月付费约 10美元。美国通用汽车公司已在其生产的汽车上安装ＸＭ数字卫…     

多腔室溅射设备

半导体工艺进入０．２５μｍ时代，对溅射设备的微细化技术要求逐步接近极限，同时，设备投资效率的提高也是一个十分的关键环节，不仅要提高产量，还要提高包括保养时间在内的生产效率。日本真空技术公司的ＣＥＲＡＵＳＺＸ－１０００即满足这种时代要求的设备。     

MCS-96系列单片机开发系统

本文介绍了一种ＭＣＳ－９６系列单片机开发系统，系统由主机ＩＢＭＰＣ／ＸＴ，仿真板及配套软件组成，可开发全部９６系列的单片机，不占用户资源，具有单步，软硬件断点，多次硬件断点及跟踪等功能，软件由Ｃ语言编写，包括编辑，汇编及调试。