实验软X射线系统及其应用的进展

本特集选自21世纪软X射线国际专题会议论文集。     

激光等离子体X射线（LPX）辐射及其实验研究

本文阐述了高功率激光作用到固体靶上产生激光等离子体X射线辐射（LPX）的过程及其主要特性。进行了LPX光谱特性的实验研究，获得了强激光作用下镁（Mg)元素5＝10A的LPX线状谱和连续谱，并对该实验结果进行了分析和讨论。     

基于激光等离子体X光源的软X射线全息显微成像实验的模拟研究

对目前实际可获得的台式激光等离子体X射线光源各种性能进行了分析 ,论证了利用这类设备获得有实际应用价值的X光全息图的可行性。并在此基础上进行数值模拟 ,讨论了各种参数对实验结果的影响 ,讨论了缩短实验时间及获得更高分辨率的可能途径。     

X射线激光开拓新应用领域

论述了Ｘ射线激光所开拓的一析的科学前沿。除用以观察活细胞的Ｘ射线显微术的颇有希望的应用外，Ｘ射线激光还可望将各种光电子显微镜推进至较高空间 时间分辨率。Ｘ射线脉冲与光学激光的非线性混频可望扩展波长可调谐性。用光学激光激励并用Ｘ射拇激光探测将是Ｘ射线激光最有希望的应用之一。     

飞秒X射线衍射研究进展

介绍X射线脉冲光源的三种产生方式及其在飞秒X射线衍射实验中的应用,着重介绍了飞秒射线衍射实验研究的进展状况,最后对实验结果进行了详细的理论分析。     

吸收X射线与激光的玻璃

研究了一种既吸收Ｘ射线．又吸收激光的玻璃，测定了玻璃的光学、光谱性能及玻璃的物理化学性能．测定了玻璃的Ｘ射线吸收性能。试验结果表明含Ｔａ２Ｏ５的铅硼硅酸盐玻璃是一种稳定的大剂量吸收Ｘ射线和１．０６μｍ激光的优质玻璃．     

激光产生MgIX等离子体软X射线谱的识别

用掠入射光栅光谱仪拍摄了4～12nm波段范围内镁的激光等离子体软X射线发射光谱。利用等电子数序列离子光谱的规律性,对镁的类铍电离级离子跃迁的软X光谱线进行了识别。     

X射线微缩投影光刻技术

作为将来0.1μm投影光刻技术,探讨了X射线缩小投影曝光方法,该技术是在软X射线领域中,在缩小光学系统的反射镜面上形成的反射的多层膜,可作为大面积曝光实用的光学系统,并进行试制评价,非球面加工精度大致要满足0.1μm才能获得其性能,通过该光学系统的曝光实验确认可在20×0.4mm范围中构成尺寸为0.15μm图形     

激光等离子体软X射线量的初步测量

研制了一种脉冲重复频率为１０ＨＺ的激光等离子体软Ｘ射线源。采用Ｘ射线能量计对光源的单脉冲Ｘ射线能量进行了测量并讨论了其结果。     

类锂离子软X射线激光实验研究

在上海光机所6路激光装置上成功地进行了软X射线激光增益实验,利用自制的一维空间分辨掠入射光栅光谱仪研究了1mm厚平板靶激光等离子体中铝和硅的类锂离子的自发发射放大(ASE)性能.实验表明,Al~(10+)离子的5f-3d跃迁(波长10.57nm)的时间积分发射强度随线状等离子体的长度非线性增长,相应的增益系数为2.3±0.7cm~(-1),最大增益长度乘积约为2; 空间分辨光谱显示增益最大的区域离靶面约440μm.     

软X射线波段的光学薄膜

由于正入射X光光学发展的迫切需要及超精细拋光与超薄多层膜制备技术的成就,适用于软X射线波段的光学薄膜已获得飞速发展并趋于成熟、走向市场。这一波段的光学薄膜具有十分重要面广阔的应用前景,它已成为整个光学薄膜领域中一个令人瞩目的新分支。本文介绍了这些光学薄膜的成膜与监控工艺及对其特性的测试技术,并对我国在这方面的工作进展作一个概要的回顾与展望。