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相似文献
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介绍了MEI公司的运动控制器在三座标测量机自动控制系统中实现控制的方案及原理,并探讨了系统的硬件、软件设计等技术问题。  相似文献   

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介绍了MEI公司的运动控制器在三座标测量机自动控制系统中实现控制的方案及原理,并探讨了系统的硬件、软件设计等技术问题。  相似文献   

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为了解决微靶靶球在微靶装配体中的位置关系.介绍了一种基于动态主动调焦原理的光学非接触测头,这种测头能够测量具有强反射表面的高精度金属件和光学器件,解决了形貌检测领域的一个难题.微靶靶球是惯性核聚变中的关键部分,它的装配位置关系是否准确直接关系到"点火"的成败.由于微靶靶球的特殊性,利用共焦测头这种非接触测头对靶球中心位置进行检测,测量精度要求小于3 μm.根据共焦测头的原理,得出了被测面高度差和振动部件位移的数学关系式,并分析了音叉振动参数对测量结果的影响.试验结果表明:音叉振动频率波动对时间差的影响为0.14‰;音叉振动幅值波动对时间差的影响为6.8‰;时间差输出值的标准差为0.0044.能够满足测量微靶靶球中心位置的非接触,高精度和稳定性要求.  相似文献   

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基于MEMS微触觉测头和纳米测量机的特征尺寸测量   总被引:1,自引:0,他引:1  
针对微小结构几何量测量的需求,通过集成MEMS微触觉测头和纳米测量机构建了高精度的测量系统.在验证测头性能的基础上,完成了一系列判断测头测量分辨力和精度的实验,在轴向、同向横向、异向横向三个方向测量的标准偏差分别为41.755 2 nm,6.05 μm,6.16μm,同时,在扫描实验中进程回程扫描差值的标准偏差为23.088 nm.  相似文献   

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测角系统是测试转台的关键系统,本文以某三轴转台为实验背景,从测角系统的性能设计要求出发,给出了测角系统软件的原则和方法。  相似文献   

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柔性三维坐标测量在工业现场测量有较多应用.分析多目标点透视成像原理的基础上,提出了点阵测头成像视觉坐标测量的概念,给出系统完整的三种数学模型及求解方法.设计了一种实用测头,基于单台面阵CCD摄像机实现由三种类型测头组成的视觉测量样机.在距离摄像机1 000 mm,样机进行实际测量,并与三坐标测量机的检测结果进行比对.测试结果表明在摄像机成像面平行的两个方向的测量精度高于摄像机轴向测量精度.  相似文献   

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本文从珙县电厂600MW机组磨煤机压差测厚原理、施工、调试和检修等方面出发,对煤粉压差测厚系统的一些技术特点进行了分析,对现场调试中出现的一些问题及相关解决方案作了比较详细的阐述。  相似文献   

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