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现代涡轮分子泵的技术现状与展望 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了涡轮分子泵的优点及普及的原因,讨论了泵轴承系统的改善,泵的工作寿命与可靠性的提高以及宽域型复合分子泵的开发,还给出了极高真空的获得方法和泵快速抽气的措施。 相似文献
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涡轮分子泵中存在着通过分子泵各级的泄漏现象,影响了分子泵实际的压缩比。如果在计算压缩比时不考虑这个影响,那么实际测得的压缩比大多远小于计算所得。对于从高压强级到低压强级的泄漏所产生的影响,本文作了一个理论估算。提出了一个简单模型亚计算泄漏引起的压缩比的降低。 相似文献
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本文记述了抽速为5-20米^3/秒(对He)的高可靠性涡轮分子泵及其参数,经系列泵根据双流层原理制成,其极限压强大的约为5×10^-8Pa;压缩比为(0.6-2.1)×10^4(对H2)和(0.9~3.2)×10^5(对He)溅余气体的主要成分是氢气,同时,此原采用了动密封以防来自轴承装置的油渗入被抽空腔内。油通过轴承被排出,在泵设计中对其入口法兰不同位置进行了设想(角度为45°)此系列泵对突然性 相似文献
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本文分析了涡轮分子泵和拖动分子泵抽气机理的不同物理图象,并论证了短叶片涡轮分子泵的抽气作用是这二种分子泵抽气机理同时作用的结果,从而,这种泵具有涡轮分子泵和拖动分子泵的共同优点。 相似文献
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研究了涡轮分子泵电源制动单元的设计、制动功率和制动电阻的计算方法。为涡轮分子泵选用理想制动电阻提供依据。根据此设计和计算方法为我公司生产的FD系列涡轮分子泵电源选用了最佳的制动电阻,使涡轮分子泵的停车减速时间大为缩短,该泵的性能和效率显著提高。 相似文献
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分子/增压泵的结构、性能及其应用 总被引:4,自引:4,他引:0
分子/增压泵是一种最近实现产品化的新一代真空泵,该泵兼有中、高真空泵的性能,能耗低,能获得清洁真空,还能承受大气冲击,应用前景十分广泛。本文详细介绍了分子/增压泵的结构、性能和应用,并与常用的中、高真空泵作比较。最后,介绍了分子/增压泵的一种独特应用——“大型真空设备的冲洗抽气法”,该方法将抽气时间缩短至50%,能耗降至10%~25%。 相似文献
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P.H. Mokler 《Vacuum》2007,82(4):408-411
For conventional (single-flow) turbomolecular pumps (TPs) the central disc area of the inlet side of the compressor turbine is blind for pumping and may be utilized otherwise. The design feature of the new Ring TP displays a central opening of the TP all along the axis, where care is taken to prevent coupling between the vacuum areas on both sides of the compressor turbine. The axial opening can be used independently, e.g. for free central access to the high vacuum side through the TP. 相似文献
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真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真空技术有限责任公司开发以分子泵及低温泵为真空系统主泵的镀膜设备情况. 相似文献