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真空紫外~X射线反射膜研究现状 总被引:8,自引:0,他引:8
真空紫外~X射线反射膜在分子、原子结构、宇宙物理、微纳米器件、生命科学等研究领域有着极其重要的应用。本文总结了迄今为止在A〈200nm内反射膜研究的进展情况,列出了常用单层金属反射膜最佳沉积条件、反射光谱以及各自的特点;对复合膜则根据所应用的波长范围,阐述了膜材选择、膜层设计及薄膜制作过程中所涉及的一些重要问题,分析了复合膜反射率增强的机理。并给出了相应波段所用的膜材、膜对结构及所能达到的最高反射率。 相似文献
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分析了反射及透射红膜的应用.分别采用1/4波堆与西伦分析法进行了2种红膜的规整膜系设计,采用遗传算法进行了2种红膜的非规整膜系设计.利用MATLAB计算机语言,给出了设计结果及光谱特性曲线. 相似文献
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根据COIL用反射镜和工作条件,提出了改进的Coblentz半球测量0°和45°入射情况下TIS散射的方案,与其它测量方法作了比较. 相似文献
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光学显示仪器前的镜片需要通过镀膜来对特定波段形成高反射,国内绝大多数的光学显示镜片还是玻璃,本文以聚碳酸酯(PC)镜片作为基底,采用真空镀膜技术,在聚碳酸酯(PC)镜片上镀高反射膜,研究了不同膜系结构(层数不同)的反射膜对特定波段的反射效果。研究结果表明,采用了5层膜的设计,PC在可见光区的400nm波段到700nm波段的最高反射率从9.5%上升到85%。PC在特定波段的反射率得到了明显的提高。 相似文献
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采用XPS方法研究了TiMeXN多元膜内各元素的化学状态,结果表明,添加元素改变了TiN中Ti元素特征峰的位置和形状.首先,使Ti、N峰强度增大,O峰强度减弱;其次,使Ti2p1/2峰、Ti2p3/2峰和N 1 s的双峰现象基本消失,氮化物薄膜中Ti的化学状态基本趋于一致;再次,随着微量元素总含量的增高,Ti2p峰的多重分裂值减小,直至使Ti2p1/2峰和Ti2p3/2峰部分重迭.在多元膜中,微量添加元素本身以"正离子"或"负离子"的形式存在,形成微量第二相. 相似文献
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介绍了表面传导电子发射显示器件阴极基板和阳极基板的制备方法及其详细的真空封接工艺。所封接器件排气到高真空后,首先对其阴极基板进行了电形成工艺处理以形成纳米裂缝作为电子发射源,然后测试了器件的发光显示,得到了比较均匀的阵列发光。最后,针对发光显示图像从三个方面分别进行了分析,为整个器件性能的改进提供了很好的参考价值。 相似文献
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"组合技术"是现代的新材料开发的手段。介绍了一些新的组合技术,如:"组合激光分子束外延技术"和"组合激光溅射制膜技术",并采用"组合激光溅射制膜技术",成功制备了高质量La1-xCexVO3(0≤x≤1)成分梯度薄膜。采用组合热电测量系统和组合XRD系统测量了La1-xCexVO3(0≤x≤1)成分梯度薄膜的热电性能和晶体结构。"组合激光溅射制膜技术"被证明是非常高效、精确的新材料薄膜研究方法,具有光明的前景。 相似文献
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近二十年以来, 仪器的小型化发展以及微机电系统 (MEMS) 技术工艺的发展带动了电容薄膜真空计的发展。其中, MEMS型电容薄膜真空计能将电路和敏感元件集成在同一芯片上, 具有体积小、能耗低的优点, 能广泛的运用在工业测量、深空探测等领域, 是真空计量仪器研究热点之一。然而, 体积小伴随着的测量范围窄、输出线性度不高、长久密封困难和残余气体影响问题都制约着真空计的商品化发展。针对上述的技术瓶颈, 研究者提出了不同的技术方案来克服。文中总结相关的研究报道后对问题的缘由以及相应解决措施进行了分类整理与分析, 对文献报道的MEMS型电容薄膜真空计进行了对比分析。最后, 对MEMS型电容薄膜真空计的发展前景提出了展望。 相似文献
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