基于激光多普勒技术的微悬臂梁机械特性的测量

介绍了一种微悬臂梁离面运动测试系统。结合显微激光多普勒技术,分析了用于间接测量微悬臂梁机械特性的方法,采用虚拟仪器技术建立控制系统,编辑器件激励和数据采集、处理软件,实现了对微悬臂梁的动态特性和杨氏模量、弹性系数等机械特性的测量。最后利用该测试系统对矩形、三角形微悬臂梁杨氏模量进行了实验研究,并计算了两种微悬臂梁的弹性系数。经实验证明,用该方法测量悬臂梁机械特性得到的弹性系数和杨氏模量误差小于7．5％。     

一种低成本测量材料杨氏模量的方法

杨氏模量是一种重要的材料参数,对结构的固有频率,刚度等有着直接的影响。材料杨氏模量测量方法一般有拉伸法、共振法等,但这些传统方法通常要用到较为昂贵的设备及传感器。为了减小测量成本,文中将压电陶瓷片作为传感元件,利用悬臂梁结构,通过测量自由振动频率,并利用力学公式反推出杨氏模量。文中分析了误差的来源,利用ANSYS软件进行结构仿真,讨论了附加的压电片对悬臂梁的影响,选取较薄的压电片以减小测量误差。实验验证了这种方法可用于杨氏模量的测量。未来可以研究使用电脑麦克风进行数据采集,代替示波器以进一步减小测量成本。     

复合膜机械特性的片上测量

结合微型隧道效应磁强计的制作，在同一个硅片上制作了与磁强计功能结构相似的两端固支梁结构，采用谐振频率法，进行复合膜机械特性的测量，通过测量不同长度的梁的谐振频率，同时得到复合膜的杨氏模量和残余应力参数，测量结果表明，以浓硼硅为主要材料的复合膜的杨氏模量和残余应力分别为120.2GPa和－66.4MPa.     

微型机械材料的残余应力测量

硅类薄膜材料是微机电系统使用的主要结构材料它的力学特性直接关系到微机电系统的可靠性和使用寿命,而残余应力是微型机械设计的一个十分重要的力学特性。概述了国内外微型机械薄膜材料残余应力的测量原理、方法和特点,可供微机电系统的设计和制造者参考。     

微机械元件和仪器的新进展

微机械元件和微机械仪器,适于大批量生产,具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成高度的特点。近十年来,在研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展,展现了美好的前景。     

基于微机械电子技术的黏度测量传感器

黏度作为流体特性的基本问题,在生物化工等诸多工程中是控制生产流程、保证安全生产、进行医学诊断及科学研究的基础性热物数据,为满足各个领域高精度与高效快捷的黏度测量需求,近年来黏度测量手段已不局限于如毛细血管法、旋转法等传统意义的宏观测量方法,基于微纳米尺度的黏度测量技术已展现出其突出的发展与应用前景.微机械电子系统(Mi...     

基于Virtools的杨氏模量测量虚拟试验研究

虚拟试验作为一种新型的科研手段，已经得到越来越广泛的应用。本文针对杨氏模量测量的具体试验内容，介绍了利用Virtools进行虚拟试验研究和设计的具体过程，特别是对于交互功能的实现和文件的优化处理进行了详细的分析和总结。     

基于微机械电子技术的自动化测量传感器设计

为了进一步提升市面上自动化测量传感器的应用效果,简述了自动化测量传感器的工作原理。以真空微电子压力传感器系统为例,从结构设计、仿真模拟、研制工艺设计、固相键合工艺流程以及性能测试几方面对基于微机械电子技术的自动化测量传感器设计方案进行了详细分析。提出了一种微电子技术以及真空电子技术研发一种真空微电子压力传感器的方法,其构成包括真空微腔、绝缘层、弹性阳极膜等,具有实际应用优势,如能够支持批量生产、体积较小、灵敏度高、响应速度快、抗辐射性能好以及稳定性高等。所提方法对微电子传感器领域的发展具有一定的参考价值,应用市场较为广泛,未来发展前景较好。     

微机械器件形状与尺寸的图像测量研究

采用面阵CCD作为图像传感器,结合微机械器件结构尺寸的测量特点,建立非接触式无损图像测量系统,并给出了典型平面几何尺寸的测量原理和算法.试验结果表明系统具有良好的稳定性和较高的精度.     

微机械动力学研究与发展

微机械是传统的宏观机械动力学与纳米技术的结合,具有节能、环保、能耗小等特点。微机械由于尺寸小,其动力学行为是宏观机械动力学基于纳米技术的应用,是微机械的理论基础,因此有必要讨论其微机械状态下的动力学行为与研究。介绍了微机械动力学的研究现状,研究内容以及尚存在的问题,提出了未来的发展趋势。     

面向微机械电子技术的自动化测量传感器设计

微机械电子技术的深入发展给传感器设计带来巨大改变,传感器逐渐向着自动化、微型化发展,以便用于更加精细化作业当中.为此,设计一种面向微机械电子技术的自动化测量传感器.传感器设计包括两个部分,前一部分给出设计方案,主要包括敏感膜片、转换元件、信号调节转换电路、传感器接口电路以及工作程序等几个关键部分的理论设计;后一部分根据...     

材料学者的机械强度观

首先，从系统论观点，论述了经济体制大环境及工况的微观环境对工程结构及材料的作用，并简介了材料学方法体系及优化的目标函数及限制条件，其次，从现代材料的定义，广义的结构和性能理解机械强度，第三，简介了自然过程原理，能量分析方法以及类比交叉的思维方法，最后，提出材料观和事物观的五点一诗。     

用光致抗蚀剂作牺性层材料制作可动微机械

报道了用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械结构的一种新技术。用这种技术制作可动微机械,动件和固定件同时制作。同现有的牺牲层材料相比,光致抗蚀剂作牺牲层材料具有一些优越性。首先,光致抗蚀剂能直接涂敷,能直接光刻成形。此外,用光致抗蚀剂作牺牲层材料不影响结构的厚度和材料的选择。工艺优化后,结构洁净度、固定件与基片的结合强度及牺牲层去除速度都得到了改善。     

用光致抗蚀剂作牺性层材料制作可动微机械

报道了用光致抗蚀剂作牺牲层材料制作可动微机械结构的一种新技术。用这种技术制作可动微机械,动件和固定件同时制作。同现有的牺牲层材料相比,光致抗蚀剂作牺牲层材料具有一些优越性。首先,光致抗蚀剂能直接涂敷,能直接光刻成形。此外,用光致抗蚀剂作牺牲层材料不影响结构的厚度和材料的选择。工艺优化后,结构洁净度、固定件与基片的结合强度及牺牲层去除速度都得到了改善。     

微惯性测量组合关键技术与应用

简要回顾微惯性测量组合技术的发展和应用,结合目前我国的发展水平和技术条件,从应用的角度特别是军事应用方面分析了微惯性测量组合在应用过程中需要解决的主要问题和关键技术.文章最后指出了发展我国微惯性组合技术的道路是在有限的资金内以选定应用对象和应用环境为基础,走应用与研制相结合的道路以应用促研制.     

基于单片机硅微机械谐振传感器真空测量研究

本文介绍了一种新颖的基于单片机的硅微机械谐振传感器测量方法及其实现。在微传感器工作原理理论分析的基础上,证明其适合于真空环境测量。利用闭环测控电路方式,使整机具有良好的灵敏度和可靠性。讨论了测量仪的测量原理、硬件组成和软件设计。该测量仪的真空度测量范围接近10^2-10^-1Pa,具有可靠性高,响应速度快等优点。     

GMM蠕动微位移机械的研究

本文介绍了一种采用超磁致伸缩材料构成的蠕动微位移机械的结构,仿生运动原理及其控制方式。实验表明,所研制的ＧＭＭ微位移机械在其控制器的作用下,能够可靠地进行双向可控运动。     

机械密封的摩擦副材料

机械密封广泛用于流体机械中,对一般的工况其研究现主要体现在正确选择摩擦副材料上.本文介绍了常用的机械密封摩擦副材料以及一些新材料,对进一步研究和选择摩擦副材料有一定的指导的意义.