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气冷式直排大气罗茨真空泵及机组的热平衡计算 总被引:1,自引:1,他引:0
气冷式罗茨真空泵需要携带泵外换热器,以保证泵在高压差下正常工作而不会产生过热,热平衡计算是泵及机组成功设计的关键,本文对热平衡计算进行了探讨,研究表明,气冷式罗茨真空泵的温升,取决于工作气体本身的性质以及泵排气口压力与进气口压力的比值(即压缩比)。 相似文献
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目前用定压法测试泵的抽气速率时,流量计测得的只是充入测试罩的气流量,而未能测得并计入测试罩本底气流量。然而规管在测试罩指定位置测量压力时,两种气流量同时存在。该压力值包本底压力。所以,参照苏联学者 的理论,本文提出在测试计算中,应将实测气流量与压力差之比值定义为抽气速率值更接近实际。该压力差为实测压力值与极限压力值之差。关于充入测试罩的气流量的计算,本文参照有关文献,采用不同压力单位对照研究,阐明一系列测试计算公式的演变、沿革。并给出详尽的推导过程及精确的计算公式,以便为采用计算机软件,编制程序以及为将来编制、修订标准时提供理论依据。 相似文献
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滑阀真空泵、罗茨真空泵及其真空机组谈治信(兰州物理研究所,兰州730000)分类号:TB752滑阀式真空泵(简称滑阀泵)和罗茨真空泵(简称罗茨泵)及其由该泵组成的真空机组近几年来随着真空冶金、真空热处理、真空冷冻干燥、真空镀膜等各种领域的发展需要而得... 相似文献
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本文仅对蒸汽流真空泵及容积真空泵抽速测试的计算表达式作一简介,并通过滴管 油柱压力单位的直接换算,得出简捷的计算表达式。 相似文献
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本文简略地介绍了近几年来我所设计和研制的三种特殊类型的罗茨真空泵,即150L/s双级罗茨真空泵、300 L/s真空电机罗茨泵、 600L/s屏蔽电机罗洪泵这三种泵。相应地解决了目前生产的普通罗茨泵很难解决的问题。150 L/s双级罗茨泵的研制成功,就解决了普通罗茨泵不能在高压强下运转的问题,它不但可以在高压强下运转,而且可以从大气下启动。300L/s真空电机罗茨泵能很好的解决动密封泄漏问题,泵低压运行又提供了安全可靠的条件。600L/s屏蔽电机罗茨泵同样很好的解决了动密封泄漏问题,又可在常压下运行,给用户带来一些方便条件。这三种泵的性能又都优于普通的罗茨泵,笔者认为这三种泵今后会更有发展前途的。 相似文献
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气冷式直排大气罗茨真空泵及机组的应用选型 总被引:1,自引:1,他引:0
本文介绍气冷式直排大气罗茨真空泵及机组的工作特点及应用选型。旨在通过范例的分析,为不同的用户使用气冷式直排大气罗茨真空泵,充分发挥该泵的抽速大、耐压高、无污染、低功耗的优点,提供可参考的范式。 相似文献
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通过对油扩散泵抽气速率、气体分子平均热运动速度和分子流态下气体流导的分析,指出油扩散泵对不同气体的抽气速率具有选择性,给出了泵对不同气体和空气抽气速率比值的计算值,同时指出电离规的规管常数与气体种类有关。 相似文献
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针对中性束注入等离子体加热过程中的高真空条件要求,借助于国际合作方式,我们为HL-2A 装置中性束注入器设计了一种大吸附面积的高抽速钛泵系统.钛泵系统抽速设计值为30万L/s,由两台大泵和一台小泵组成,两台大钛泵分别置于注入器主真空室左右两侧,小钛泵置于注入器副真空室右侧.运行实验结果表明,钛泵完全满足HL-2A中性束注入实验的要求.本文主要介绍了钛泵的工程设计和实验运行结果,简要分析了HL-2A装置中性束加热系统高抽速钛泵的运行特点. 相似文献
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给出了以真空泵抽速特性系数表示的抽速计算公式,以实例说明如何求值和选定真空泵抽速特性系数,最后说明真空泵抽速特性系数应用。 相似文献
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本工作研制了一台采用流量计测量复合分子泵抽速的装置.本装置由测试台车、机柜、计算机自动控制和数据采集处理系统三部分组成.选用3个高精度流量计,满量程分别为1000 sccm、100 sccm和10 sccm,并联组成流量计组件用于测量输入气体的流量,选用高精度的复合真空计测量真空测试罩内气压.抽速测试结果显示,一台1200 L/s的复合分子泵N2抽速重复测量5次,14个气压测试点对应的抽速的最大相对标准偏差小于2%,重复性好.抽速测量的误差主要由流量计和真空计的系统误差决定.采用流量计测量一台分子泵在气压2.00×10-3 Pa~2.00 Pa范围的抽速,测量时间20 min以内. 相似文献
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