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相似文献
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1.
以具有大的表面积及特殊的中空结构的碳纳米管(CNT)作为气敏传感器敏感层材料为基础,介绍了CNT在开发不同类型气敏传感器技术方面的最新进展。综述了CNT及以贵金属、金属氧化物、聚合物改性的CNT作为气敏传感器材料的研究现状,并以气敏传感器的灵敏度和响应速度为标准,对比了CNT与三种CNT复合材料作为气敏传感器敏感层的优缺点。总结了每种传感器的设计方法、制作工艺和传感机理,提出了CNT气敏传感器当前面临的技术挑战,并对以后CNT作为气敏传感器材料的发展进行展望。  相似文献   

2.
本文回顾了气敏传感器的发展史,针对限制气敏传感器发展的诸因素,提出了解决问题的思路;指出了集成化的关键在于敏感膜的设计和制备,最后讨论了几种有前途的集成气敏传感器单元。  相似文献   

3.
气敏传感器及其发展动向   总被引:3,自引:0,他引:3  
着重介绍气敏传感器研究开发的主要方向-微机械气敏传感器和电子鼻。  相似文献   

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5.
介绍了气敏阵列器件的工作原理、硬件实现方案和模式识别方法,重点描述了气敏阵列产品在各个行业中的应用。同时指出了在气敏阵列应用中存在的主要问题。  相似文献   

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阵列和模式识别与气敏传感器   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文介绍几种模式识别方式,指出集成阵列和计算机模式识别是气敏传感器取得突破性进展的关键,有机材料是最有吸收力的敏感材料之一。  相似文献   

9.
纳米气敏传感器研究进展   总被引:7,自引:0,他引:7  
纳米传感器具有传统的传感器所不能比拟的优越性能。本文介绍了目前纳米传感器的发展概况,重点介绍了纳米气敏传感器的发展。  相似文献   

10.
11.
通过QM-Y3型丁烷敏旁热式气敏传感器的工作寿命试验和试验数据处理,获得了该元件的寿命分布及分布参数等信息,了解了该类型元件的可靠性水平,为评价和提高该气敏传感器的可靠性水平提供了依据。  相似文献   

12.
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通过QM-Y2型旁热式乙醇氧化传感器的工作寿命试验和试验数据的处理,获得了该型传感器的寿命分布和分布参数以及可靠性水平,为评价和提高该气敏传感器的可靠性水平提供了依据。  相似文献   

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AF30L/38L气敏传感器是日本生产的产品,本文从工作原理、结构、特点、参数和使用对它作较全面的介绍,最后给出了应用实例。  相似文献   

16.
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掺杂纳米SnO2气敏传感器的研究进展   总被引:6,自引:0,他引:6  
介绍了半导体气敏传感器的发展历史和掺杂纳米SnO2气敏传感器的特性与应用;详细分析了掺杂金属单质、金属氧化物和稀土元素对SnO2气敏性的影响,通过掺杂可以显著改善其对特定气体的灵敏度、稳定性和选择性等参数;利用元件表面的氧吸附理论分析掺杂纳米SnO2的气敏机理;展望了SnO2气敏传感器的发展前景。  相似文献   

18.
气敏传感器信号采集的研究   总被引:6,自引:1,他引:5  
苏润  陈峰  刘锦淮 《半导体技术》2003,28(11):52-55
介绍了利用计算机与单片机的串口通信采集气敏传感器的信号、控制气敏传感器电路的取样电阻和测试电压等,使气敏传感器的测量由手控转变为自动化,且其精度远远提高。文中提出使用TC232CPE芯片连接计算机与单片机,并利用气敏传感器、ADC1678芯片、AD7502芯片等建立基于RS232的计算机测量系统,此外还利用Delphi开发对采集电路的控制程序。  相似文献   

19.
光谱技术是化学分析的终极手段. 将光谱技术与MEMS (micro-electro-mechanical systems)和CMOS技术结合是解决当前气敏传感器灵敏度低、选择性差、体积大、功耗高、不便于阵列化和高度集成以至于无梯度立体矢量探测能力等问题的有效手段. 本文介绍了一种制作于(110)硅片上的集成光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器,详述了该气敏传感器的工作原理、传感器结构和制造工艺.  相似文献   

20.
光谱技术是化学分析的终极手段.将光谱技术与MEMS(micro-electro-mechanical systems)和CMOS技术结合是解决当前气敏传感器灵敏度低、选择性差、体积大、功耗高、不便于阵列化和高度集成以至于无梯度立体矢量探测能力等问题的有效手段.本文介绍了一种制作于(110)硅片上的集成光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器,详述了该气敏传感器的工作原理、传感器结构和制造工艺.  相似文献   

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