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非球面超精密抛光技术研究现状 总被引:13,自引:0,他引:13
非球面应用范围的拓展以及应用精度要求的不断提高对非球面元件的尺寸精度与表面质量提出了更高要求;作为终加工手段,非球面超精密抛光技术也越来越受到世界各国的重视。掌握非球面超精密抛光过程中的材料去除机理以及由此导致的亚表面损伤等特性对提高非球面抛光的精度与效率十分重要。对非球面抛光技术的发展进行回顾,并根据非球面超精密抛光技术的发展脉络,阐述当前主要非球面超精密抛光技术的加工原理及加工实例,随后从亚表面损伤、边缘效应等方面对几种非球面超精密抛光技术进行比较,并以提高抛光精度与效率为目标,对非球面超精密抛光技术的发展趋势进行预测。 相似文献
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大尺寸硅片的高效超精密加工技术 总被引:6,自引:0,他引:6
本文根据下一代IC对大尺寸硅片(≥300mm)面型精度和表面完整性的要求,分析了大尺寸硅片超精密加工的关键问题,介绍了工业发达国家在硅片超精密加工技术和设备方面的研究现状和最新进展,指出了大尺寸硅片高效超精密加工技术的发展趋势,通过对国内技术现状的分析,强调了针对大尺寸硅片超精密加工理论和关键技术开展基础研究的必要性。 相似文献
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精密和超精密加工技术 总被引:1,自引:0,他引:1
王先逵 《机械工人(冷加工)》2000,(8):3-4,39
1.精密和超精密加工的概念和形成 精密和超精密加工是在70年代提出的,在美国、日本和英国等国得到了重视和急速发展。精密和超精密加工从加工精度的角度反映了加工技术的发展,通常,将加工技术分为一般加工、精密加工和超精密加工三个阶段;有些国家的学者将它分为一般加工、高精度加工、精密加工和超精密加工四个阶段。对当前来说,精加工是指加工精度为1~0.1μm、表面粗糙度为R_a0.1~0.025μm的加工技术;超精密加工是指加工精度高于0.1μm、表面粗糙度小于R_a0.025μm的加工技术。这一定量数据是相对的,将随着加工技术的不断发展而改变,即过去的精密加工对今天来 相似文献
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超精密加工技术的发展与展望 总被引:1,自引:0,他引:1
一、前言本世纪的精密加工发展到超精密加工历程比较复杂且难度大 ,目前超精密加工日趋成熟 ,已形成系列 ,它包括超精密切削、超精密磨削、超精密微细加工、超精密计量等。尽管超精密加工迄今尚无确切的定义 ,但是它仍然在向更高的层次发展。早在 80年代 ,美国LLNL国家实验室等就提出了POMA(PointOneMicrome terAccurary)计划 ,主要是为了加工直径80 0mm的曲面精度为 0 .1μm。 1982年 ,在国际生产工程学会 (CIRP)的年会上 ,日本的谷口纪男教授发表了题为“超精密加工和超精整工艺的现状与未来… 相似文献
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超精密加工技术的发展及对策 总被引:12,自引:1,他引:11
介绍超精密加工及其应用背景,发展动向,以及超精密加工关键技术的一些最新成果,从超精密加工技术推广应用的角度阐述其模块化,廉价化发展趋势,同时就如何发展诸如模块化部件,执行系统,测量控制和环境控制等超精密加工关键技术提出一些新的观点和方法。 相似文献
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Corrective polishing of complex ceramics geometries 总被引:1,自引:0,他引:1
High quality surfaces in terms of low roughness and high form accuracy are achieved by polishing as the essential finishing step. Polishing of brittle materials is an established process in science and industry. However, the machining is limited to planar or spherical geometries. The objective of this paper is to present first results to overcome this limitations indicated by processing advanced ceramics.In order to finish complex surfaces, a technological transfer of known parameters and conditions of 2-dimensional to zonal polishing is undertaken. To shorten the development of stable and reproducible processes the knowledge and understanding of the complex interactions of the 2-dimensional process is used. The applicability of these conditions is evaluated by extensive research on the zonal polishing setup. The used machine tool is capable of adjusting significant process factors, such as free controlled force and heterodyne velocity profiles. By use of a small tool the material removal is only affecting a zonal area of a complex surface. Based on preliminary investigations concerning the material removal function the scientific insight on zonal processes is extended. This first approach will be used for corrective polishing of zonal form deviations. 相似文献
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C. Fernández J. Suardíaz A. Iborra J. A. Pastor B. Alvarez J. M. Fernández 《The International Journal of Advanced Manufacturing Technology》2003,22(5-6):363-373
The aim of the present paper is to report the use of information technologies to control and assure the quality of complex mechanical parts, in this case crankshafts. Three different automated cells are used for inspection purposes using Non Destructive Techniques (NDT): Automated Visual Inspection (AVI), a surface Roughness Measurement System (RMS) and a Dimensional Control System (DCS). Distributed control architecture allows integral quality assessment of the production process of valuable machined components. A suitable software subsystem has been developed for this architecture: a Quality Assessment Subsystem (QUAL), a Tracking Subsystem (TS) and an intelligent production Process Assessment Subsystem (PAS). A prototype has been successfully installed and is under evaluation in a production line belonging to Renault Industrial Vehicles (Spain). 相似文献
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目前,对网络化制造的通用术语、系统体系结构、功能目标和应用实施规范等尚未形成统一的标准和认识。为此,在分析标准化需求及制造系统建模方法的基础上,从功能视图角度给出了网络化制造系统的一种参考结构,进一步构建了网络化制造系统的功能体系结构模型,较为系统地描述了功能模型的主要内容。通过对网络化制造系统功能规划标准化进行探讨,为制定相应的标准提供了一定的参考。 相似文献
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介绍基于Mastercam软件的特种陶瓷产品设计方法及模具加工技术的一般过程和方法,并简单介绍特种陶瓷产品设计及模具加工采用CAD/CAM技术的现实意义。 相似文献
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