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相似文献
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1.
纳米硅薄膜的电致发光和光致发光探索   总被引:1,自引:0,他引:1  
  相似文献   

2.
采用磁控共溅射法制备了含不同尺寸纳米硅晶粒的氧化硅复合薄膜.用高分辨电子透射显微镜测定了所制备样品中纳米硅粒的粒径,确定了其光学带隙和光吸收边蓝移量.对样品光吸收边蓝移量进行了理论计算,比较了理论蓝移量与实验蓝移量之间的差异,并进行了相应的理论分析.  相似文献   

3.
采用RF磁控溅射技术制备含纳米硅的SiO2薄膜.通过对Si-SiO2复合靶的比分进行调节控制,并在不同的温度下进行高温退火得到不同粒径的纳米硅.利用XRD对样品进行分析得出纳米硅的平均粒径;对样品测量光致发光谱,其发光峰分别位于361 nm和430 nm,比较发现光致发光的峰位随比分的改变有微小的蓝移.文中对发光机理进行初步讨论.  相似文献   

4.
采用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)技术,在超高真空系统中,使用大量氢稀释的硅烷作为反应气体,利用R.F.+D.C.双重功率源激励,通过低温下硅在氢等离子体放电中的化学输运直接淀积纳米硅薄膜,根据对薄膜样品结构的测定及其制备工艺条件,分析讨论了各工艺参数对淀积后薄膜的影响,从而使纳米硅薄膜的制备工艺趋于完善。  相似文献   

5.
利用射频磁控溅射复合靶技术,通过调节复合靶的百分比制得富硅的氧化硅薄膜,并在不同的温度下退火,制得含纳米硅的氧化硅薄膜.通过Raman谱的测量,计算出800℃退火的薄膜中纳米硅晶粒的平均尺寸为5.6 nm,用X射线衍射测量同样的样品得出其粒径为6.0 nm.在室温下测量光致发光(PL)谱,探测样品的峰位为360 nm,并结合光致发光激发谱(PLE),研究相应的激发与发光中心.  相似文献   

6.
纳米硅薄膜微结构变化对薄膜光电性质的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
用退火的方法改变了纳米桂(nc-Si:H)薄膜的微结构。用Raman散射和共振核反应方法分析了薄膜的微结构变化。结果表明,薄膜的氢含量是影响薄膜光学带隙的主要因素,而薄膜的晶态体积比和晶粒尺寸是影响薄膜电导率的主要因素。  相似文献   

7.
富纳米硅氮化硅薄膜光致发光机制   总被引:1,自引:0,他引:1  
对于富纳米硅氮化硅薄膜的光致发光,其电子-空穴对存在3类光激发-光发射过程.通过对富纳米硅氮化硅薄膜光致发光模型的数值模拟对比分析,提出富纳米硅氮化硅薄膜光致发光是量子限制模型和能隙态模型发光机制共同作用的结果.利用得到的结论,讨论一些已报道的富纳米硅氮化硅薄膜光致发光实验结果.  相似文献   

8.
纳米硅薄膜的拉曼谱研究   总被引:4,自引:1,他引:4  
通过等离子增强化学汽相沉积法,制备了本征和掺磷的氢化纳米硅薄膜(nc-Si:H)研究了晶粒尺寸和掺杂浓度对纳米硅薄膜拉曼谱的影响。结果表明晶粒变小和掺杂浓度增加都使纳米晶粒的TO模峰位逐渐偏离声子限制模型的计算值。X-射线衍射和透射电镜像的结果表明晶粒变小导致硅晶粒应力增加,而掺杂使晶粒内部杂质和缺陷增多,这些因素破坏了晶粒内晶格的平移对称性,进一步减小声子的平均自由程,导致实验值偏离理论计算值,  相似文献   

9.
用DCM染料和香豆素染料掺杂,成功地实现了有机薄膜电致发光颜色的改变,得到了从蓝绿到红色的发光,同时提高了器件的发光亮度,用不同区域掺杂方法,分析讨论了电致发光的机理,探讨了激子的产生区域和复合区域。  相似文献   

10.
纳米硅薄膜中的量子点特征   总被引:10,自引:0,他引:10  
从电性和结构上论证了纳米硅薄膜中的细微晶粒(3 ̄6nm)具有量子点(Q.D)特征。在其电导曲线中呈现出随晶粒尺寸减小而增大的小尺寸效应。使用薄层( ̄20nm厚)纳米硅膜制成了隧道二极管,已在液氮温区(≈77K)在其I-V及σ-V曲线上呈现出Coulomb台阶。对实验结果做了初步分析讨论。  相似文献   

11.
用射频磁控溅射双靶交替淀积的方法在p-Si(100)衬底上制备了Ge/SiO2薄膜,利用Au/Ge/SiO2/p-Si结构的I-V特性曲线研究了该结构的电流输运机制.分析表明,在较低的正向偏压和反向偏压下,电流输运机制分别为Schottky发射和欧姆输运电流;而在较高的正向偏压下,Frenkel-Poole发射和空间电荷限制电流两种机制共同作用.  相似文献   

12.
采用溶胶 -凝胶法在P型单晶硅的表面镀上一层纳米二氧化硅薄膜 ,应用表面光电压谱 (SPS)、漫反射光谱 (DRS)和傅里叶红外光谱 (FTIR)研究其室温下的光伏、光吸收特性 .结果表明 :在单晶硅表面镀上一层纳米二氧化硅薄膜后 ,漫反射吸收系数F(R)比单晶硅提高了约 5 0 % ,相应的光电压信号提高了约两个数量级 .在 40 0~ 80 0℃热处理温度范围内随着温度的升高 ,纳米复合材料SiO2 /Si的光伏效应增强 ,红外光谱中的Si-O键振动吸收峰降低 ,二氧化硅薄膜中欠氧状态加剧 .  相似文献   

13.
X射线光电子能谱测试(XPS)分析C(膜)/Si(SiO2)(纳米微粒)/C(膜)样品发现:把400℃退火后的样品继续加热到650℃并退火1h后,样品中除原有的Si晶体外,生成了SiC晶体,同时还出现了SiO2晶体,这表明一部分Si与C反应生成SiC的同时,氧气的氧化作用占主导地位,把大部分Si氧化成了SiO2.对比分析在650℃和750℃退火后样品的Raman谱发现:随着加热温度的升高,SiC与Si含量增加而SiO2含量减少.这表明:在750℃时,C原子的还原作用继400℃后再次占主导地位,又把一部分SiO2还原成Si.  相似文献   

14.
Si3N4和Si3N4/Sio2驻极体薄膜的化学表面修正   总被引:2,自引:0,他引:2  
采用补偿法对六甲基二硅胺烷(hexamethyedisilane,HMDS)和二氯二甲基硅烷(dichlorodimeth siliane,DCDMS)有面修正恒压电晕充电硅基氮化硅(Si3N4)薄膜驻极体及氮化硅/二氧化硅(Si3N4/SiO2)薄膜驻极体的电荷储存稳定性进行了比较性的研究。实验结果表明,经过化学表面修正后,驻极体薄膜在高湿环境中的电荷储存稳定性显著提高;在低于200℃时,HMD  相似文献   

15.
近年来硅发光已成为理论和材料研究的一个新热点,a-Si/SiO2多量子阱材料就是人们研制出的一种新的量子结构。有关理论表明,a-Si/SiO2多量子阱中硅层的电子和空穴都受到很强的量子限制效应,硅层能带有可能由体硅的间接带隙转变为准直接带隙,该量子阱材料有可能具有较强的发光特性。  相似文献   

16.
本文用射频磁控溅射方法在p-si83Ge17/Si压应变衬底上沉积制备Hf02栅介质薄膜,研究其后退火处理前后的电学性能,并与相同条件沉积在无应变p-Si衬底上Hf02薄膜的电学性能进行对比研究.物性测试分析结果表明,沉积Hf02薄膜为单斜相(m-Hf02)多晶薄膜,薄膜介电常数的频率依赖性较小,1MHz时薄膜介电常数k约为23.8.在相同的优化制备条件下,沉积在si83Ge17/si衬底上的Hf02薄膜电学性能明显优于沉积在Si衬底上的薄膜样品:薄膜累积态电容增加;平带电压‰骤减至-0.06V;电容.电压滞后回线明显减小;-1V栅电压下漏电流密度,减小至2.51 x 10-5A·cm-2.实验对比结果表明Si83Ge17应变层能有效地抑制Hf02与si之间的界面反应,改善HfO2/Si界面性质,从而提高薄膜的电学性能.  相似文献   

17.
18.
采用溶胶-凝胶原位析晶法和高温还原热处理工艺制备了ZnSe/SiO2纳米复合材料.通过吸收光谱和Z-Scan技术对材料的光学吸收特性进行了表征.在吸收光谱中,不同ZnSe摩尔分数的样品的吸收边相对于ZnSe体材料发生了不同程度的蓝移,蓝移量与复合材料中ZnSe纳米晶粒的尺寸有关,根据量子尺寸效应估算了复合材料中ZnSe纳米晶粒的平均尺寸大约为3~4 nm.利用Z-Scan技术测定了ZnSe摩尔分数为0.01和0.03的ZnSe/SiO2纳米复合材料的双光子吸收系数.ZnSe/SiO2纳米复合材料在不同强度的入射光的激发下其出射光强度与入射光强度之间的关系呈现光学限幅特征,ZnSe摩尔分数为0.01的样品的限幅阈值为5 962 GW/m2,嵌位输出值约为4 800 GW/m2,限幅的破坏阈值为12 400 GW/m2.  相似文献   

19.
Recent years see an increasing interest in nanocomposites synthesized by a sol-gel procedure consisting of magnetic nanosized particles embedded in a silica matrix. due to their specific physical and chemical properties[1―4]. Sol-gel derived amorphous si…  相似文献   

20.
采用在等离子体增强化学气相沉积(PFCVD)系统中沉积a-Si:H和原位等离子体逐层氧化的方法制备a-Si:H/SO2多层膜.用快速热退火对a-Si:H/SiO2多层膜进行处理,制备nc—Si/SiO2多层膜,研究了这种方法对a-Si:H/SiO2多层膜发光特性的影响.研究发现对a-Si:H/SiO2多层膜作快速热退火处理,可获得位于绿光和红光两个波段的发光峰.研究了不同退火条件下发光峰的变化.通过对样品的TEM、Raman散射谱和红外吸收谱的分析,探讨了a-Si:H/SiO2多层膜在不同退火温度下的光致发光机理.  相似文献   

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