轴向式热磁控电离真空规

本文提出一种在轴向发射式电离机构基础上发展成的热磁控电离真空规。根据实验结果,它较Lafferty热磁控规软X射线光电流与阳极电流之比(?)二个数量级(I_x/I_a=2×10~(-9))。其金属电极面积远较Lafferty规为小,除气容易。当压强低于1.33×10~(-6)帕和发射电流为1×10~(-6)安和1×10~(-7)安时,其灵敏度分别为7.5×10~(-4)和3.6×10~(-4)安/帕,相应的光电流本底为5.33×10~(13)帕和1.06×10~(-13)帕。它在无磁场时线性测量上限为1.33×10~(-2)帕。     

低温高真空环境下气体吸附材料吸气性能测试系统设计

设计了利用动态法原理测试气体吸附材料吸气性能的系统,可以实现在15～500K温度范围,高真空(5.0×10^-4Pa)至几个大气压压力范围内精确测量多种材料对不同气体的瞬时吸气速率、阶段气体吸附量、累积饱和吸附量等参数。研究表明该测试系统具有本底真空度高、结构合理紧凑、测试数据精确可靠的特点。     

液氮温度下分子筛的真空吸附特性试验研究

为探究低温容器夹层所用分子筛吸附剂的吸附特性,采用静态膨胀法进行试验,获得了平衡压力为10-3Pa～103Pa范围内4A、5A和13X分子筛对N2、O2单一组分以及空气的吸附等温线,比较了不同分子筛对气体的吸附能力差异,探究了分子筛的吸附机理.研究结果表明:液氮温度下,5A和13X分子筛在真空条件下对N2及O2的吸附性...     

ZSM-5分子筛在低温低压下对N_2的吸附性能研究

ＺＳＭ－５分子筛是美国Ｍｏｂｉｌ公司于七十年代发展的一种含有机胺阳离子的新型沸石．该沸石的表面电荷密度小，与低硅铝比的Ａ、Ｘ型分子筛不同，有着独特的物理性能，它不易吸附极性较强的水分子，但对非极性分子以及有机分子却有强烈的吸附能力［１］、［２］。但是ＺＳＭ－５分子筛在低压下对非极性分子吸附的研究未见文献报导。 本文研究了ＺＳＭ－５分子筛在低温低压下对氮气的吸附量和吸附速率。我们在研究中发现：在ＺＳＭ－５分子筛中，吸附量主要决定于分子筛中静电力，而吸附速率主要决定于分子筛孔道中空间位阻作用。本文还提供了在１０－２～１０－５帕高真空范围内测试分子筛的吸附量和吸附速率的方法。     

基于多壁碳纳米管场发射与吸附原理的压力传感技术研究

设计了一种基于多壁碳纳米管(MWNT)场发射和气体吸附的压力传感器。通过热化学气相沉积法(CVD)在合金基底上直接制备具有强附着性能的MWNT薄膜,以MWNT薄膜为场发射阴极,利用气体吸附引发的场发射电流增强效应,测量环境压力。在实验室条件下分别测试了N_2和大气成分下的气体压力传感性能,结果显示,MWNT阴极材料在两种气体环境中均存在小电流场发射随真空压力升高而增长的传感效应。基于该效应,设计了一种微型实用型压力传感器。该传感器具有量程宽(1×10~(-7)～1×10~(-3)Pa)、体积小(4 mm×5 mm×9 mm)、功耗低(5×10~(-6)～0.8 W)、无干扰、长寿命等优点。传感器封装在X光管中进行测试的结果表明,封装后X光管内部真空度升高可达2个数量级,且X光管的真空度随放置时间的延长而变差,结果符合理论预期。     

一台起动快维持久的小型无油玻璃超高真空系统

本实验装置的特点是起动快,维持久,不加冷剂,抽气两三个小时即可达到1.8×16~(-6)帕的真空度。最近的实验结果,起始压力为1.33×10~(-4)帕,经十几分钟可达7.98×10~(-7)帕,在各种泵停止工作后,采用高真空阀逐级封闭,系统真空度维持在6.12×10~(-4)帕以上达5个月之久。     

吸附制冷用复合吸附剂原料配比优化及吸附机理探讨

采用混合法制备用于吸附制冷过程的复合吸附剂;用静态法和真空重量法测定水或乙醇在自制复合吸附剂上的平衡吸附量;用热分析天平测定了复合吸附剂的脱水或脱乙醇的DTA曲线峰端温度.以平衡吸附量和DTA曲线峰端温度作为考核指标,通过正交实验优化自制复合吸附剂原料配比.优化结果为:以硅胶(M4)、氯化锶(M10)和凹凸棒土(M3)等为主要吸附材料的复合吸附剂,最适宜配比为:M10-40%,M3-20%,M4-20%,其它20%,扩孔剂-E2.水在复合吸附剂M4-0132上的吸附量约为13x的2～3倍;乙醇在M1-0001上的平衡吸附量约为活性炭2.5～4倍.以吡啶为探针分子,用TG-DTA-DTG分析法分析吸附剂的复合现象及吸附机理.探讨结果表明:增加复合吸附剂弱吸附中心数,可显著降低其脱附温度.     

DL-8型高压强电离规测量氩、氢、氖和氦等气体压强的相对灵敏度

在溅射或蒸镀半导体薄膜、冶金精炼、气体激光管的制造等所应用的真空系统中,都需要首先抽到约10~(-4)帕(约10~(-6)托)的高真空,然后引入氩、氮、氢、氦或氖等纯气体到10~(-1) -10~2帕(约l0~(-3)—1托)的高压范围,某些场合还要求所充气体的压强测量值有一定的精度。全量程为1.33×10~(-4)-1.33×1O~2帕(1×10~(-6)-1托,测氮压值)的DL-8型高-压强电离真空规(以下简称DL-8规)能够满足这些需要。由于DL-8规的电极结构和工作电参量与其它类型的电离规不同,其测量氩、氢、氖和氦等气体压强相对于     

富含石英煤矸石制备13X型分子筛-活性炭及其对SO_2的吸附性能

以富含石英的煤矸石为主要原料,经NaOH碱熔活化、水热反应合成出13X型分子筛-活性炭复合材料。首先将与NaOH混合后的煤矸石在Ar气氛中高温活化,然后将活化后产物加入到一定浓度的NaOH溶液中,分别研究了钠硅比、水钠比、陈化时间与晶化时间对产物的影响。最后,通过XRD、SEM考察了复合材料的物相及形貌,并研究其对SO2的吸附性能。结果表明,产物为纯净的13X型分子筛-活性炭复合材料,晶形完好、平均粒径为1~2μm;其对SO2吸附量为50.3mg/g。     

Li-LSX分子筛的离子改性及氧氩吸附分离性能

为了探究不同价态阳离子改性Li-LSX分子筛对其氧氩吸附分离性能的影响,采用水溶液离子交换法分别以Ag~+、Ca~(2+)、Ce~(3+)为阳离子交换剂制备AgLi-LSX、CaLi-LSX、CeLi-LSX分子筛。通过扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、红外光谱(FT-IR)、X射线衍射(XRD)、X射线能谱分析(EDS)、拉曼光谱(Raman)、比表面积分析(BET)等技术手段对分子筛的骨架结构、晶体构型、元素含量、孔结构进行表征分析,考察了改性分子筛的氧氩吸附分离性能。研究结果表明,改性后分子筛的骨架结构、晶体构型没有改变,仍为X型分子筛。在25℃下测定分子筛的氧气和氩气吸附量,CeLi-LSX、CaLi-LSX、AgLi-LSX分子筛的氧气吸附量分别为4. 978 6 m L·g~(-1)、4. 042 7 m L·g~(-1)、2. 975 5 m L·g~(-1),且三种分子筛的氩气吸附量相近,这表明CeLi-LSX分子筛是一种较好的氧氩吸附分离材料。     

非蒸散型吸气剂泵(NEG)对N_(2)气的抽气特性研究北大核心CSCD

非蒸散型吸气剂泵(NEG)是采用过渡族金属材料的吸气特性制作成的真空泵,用于超高/极高真空环境的获得及气体的纯化等方面。本文研制出吸气剂泵性能测试系统,研究了非蒸散型吸气剂泵对N_(2)气的抽气特性,分析了影响抽气性能的因素。研制的系统采用标准流量抽速测试方法,采用固定流导法流量计提供(10^(-5)~10^(-8))Pam^(3)/s的标准气体流量,可在测试罩内获得(10^(-2)~10^(-5))Pa的气体压力下实现抽速测试。实验结果表明,NEG泵激活后处于最佳抽气状态,当抽速下降之后可在超高真空条件下放置一段时间将抽速恢复至初始状态,但泵的整体抽气性能发生一定变化;当泵连续抽气时,抽速随着吸气量的增大而逐渐减小,随着泵抽气压力的增大而减小。     

分子筛在低温低压下的吸附特性试验研究

详细介绍了容积法分子筛吸附等温线试验原理、装置、样品制备、试验步骤及数据处理。试验表明5A分子筛在液氮温度低压下对CO_2、N_2、H_2的吸附性能优于13X分子筛。在分析5A、13X分子筛在液氮温度低压下对CO_2、N_2、H_2吸附等温线的基础上,分析研究了分子筛在LNG与LH_2温度下的吸附等温线变化特征。经试验得到的分子筛在液氮温度低压下的吸附等温线可为工程设计提供很好的参考数据。     

方钠石分子筛膜的氢/氦及氢/氮分离性能研究

研究了温度范围25～150℃下,单组分气体H_2、He、N_2在厚度为20μm方钠石(sodalite,SOD)分子筛膜上的渗透性能.实验结果表明,在25℃和40kPa的条件下,SOD分子筛膜对H_2、He、N_2的渗透率分别为4.749×10-6、2.190×10-6和1.128×10-6 mol/(m2·s·Pa),从而计算出膜对H_2/He和H_2/N_2气体的理想分离因子分别为2.17和4.21,均高于努森扩散值.在25～150℃的温度区间内,随着温度的升高,膜对H_2、He和N_2的渗透速率增加,且H_2/He和H_2/N_2的理想分离因子增大,分别从2.17增大到3.18,从4.21增大到5.46.     

等离子体装置器壁的直流和高频辉光放电清洗

本文描述直流辉光放电、10兆周高频加直流辉光放电原理和实验方法。给出了几种工作气体(H_2,He,Ar,N_2和空气)在30升圆筒形真空室中进行直流辉光放电、直流加高频辉光放电时起辉和灭辉气压随外加电压变化实验结果。实验表明,对于几百伏外加电压下H_2,He,Ar气可在10~(-1)帕气压下起辉;可以维持到10~(-2)帕气压才灭辉。几百伏直流电压附加10兆周高频电源可使起辉气压和灭辉气压下降几倍。空气和氮气比氢更易起辉。对HT-6M托卡马克真空室进行了几十小时常温和100℃中温烘烤条件下辉光放电清洗效果比较,表明边烘烤边辉光放电对水的清洗作用更好。实验由四极质谱仪监测,并用真空传输装置将样品传送到俄歇谱仪中分析放电前后表面成分的变化。对放电有关问题进行了讨论。     

钠Y型分子筛低压吸附特性的实验研究

测量了国产钠Y型分子筛在78K和284K下对氮气的吸附等温线,实验数据表明它的吸附特性与国外13x型相近。样品管不采用任何粘结剂把分子筛微粒(直径为2～5微米)涂敷在玻璃泡壁(内表面上每平方厘米只有0.015克)所以相应的除气、活化与吸气平衡时间均有所缩短。反复测试中未发现“状态效应”(Conditing effect)。在不同的活化压强下,同一样品的吸附等温线,高真空下活化有最高吸气量,而在低压强端当活化压强为大气压时则具有次高的吸气量。本实验还采用高频外电极放电对分子筛进行活化处理,发现在低压强端与升温活化有相同的效果。     

可用于航天运载上的微型中真空电离规

航天器液体燃料管道绝热夹层的真空测理由于空间位置、重量和高可靠性的特殊要求,工业用真空计使用受到限制。研制的微型中真空电离规可以解决这类测量问题。并为低温容器绝热夹层的真空度测量提供一种较理想的真空压力传感器。这种规尺寸为Φ20×40毫米,全金属结构,总质量小于30克。在100~(-5)×10~(-4)帕有较好的线性。本规在10帕以上K=2.25×10~(-3)帕~(-1)。10帕以下压力时K=7.5×10~(-3)帕~(-1)。此规为斜口设计,即利于直接焊接外,更利于采用DN16CF法兰,为通用设备上的应用提供了较方便的接口,微型规用于低温大型液氧、液氢槽车绝热夹层中的真空测量是十分适宜的,频繁和长期地运输颠簸都不会过大地影响规管性能,可以保证测试结果的可信性。     

导电13X分子筛的制备及其性能研究

以13X分子筛为分子筛骨架,吸附酚醛树脂后,在Ar气体保护下,800℃焙烧炭化,合成了导电分子筛。利用四端子法测定了样品的体积电导率,电导率由原13X分子筛的4.10×10-9S/cm提高到0.14S/cm。利用比表面及孔隙度分析仪,测得导电分子筛的BET表面积268.948m2/g、总孔容0.1334cm3/g、平均孔径0.7017nm。     

氮化碳薄膜的光电特性研究

以高纯石墨为靶材,Ar、N_2为溅射和反应气体,采用直流磁控溅射法,制备了一系列不同N掺杂量的氮化碳薄膜。利用XRD、SEM、分光光度计、高阻抗率计等检测手段对薄膜的成分、形貌、透过率、电阻率等进行表征。结果表明:CN薄膜已初具晶型;随着溅射腔室中N_2含量的增加,薄膜中N含量先增加后减少最后趋于稳定状态,薄膜的电阻率维持在(10~(-5)～10~(15))Ω·cm范围内变动;透过率基本维持在85%～91%之间。N的掺入对薄膜中的sp3杂化C起到了稳定的作用。     

十二种活性炭各自对十种蒸气的物理吸附

0 引言这项研究的测定工作,是于1941～1942年期间由国家标准局完成,已公布的N_2除外。十种蒸气是:N_2、O_2、H_2、Ar、CO、CO_2、CH_4、C_2H_6、C_3H_8、C_4H_(10)。十二种炭吸附剂的原料包括:椰子壳、褐煤、烟煤、木料和骨。仪器及N_2吸附(78°和90°K)的结果已于     

锆-石墨吸气剂的吸气性能

我厂生产的锆-石墨吸气剂,在室温下对 CO 吸气速率为250毫升/秒·厘米~2,一小时吸气量达20.9毫升托/厘米~2。在200℃下对 CO 吸气速率为129毫升/秒·厘米~2,一小时吸气量可达25.7毫升托/厘米~2。应用于电真空器件,效果良好。如用于激发电位管,