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介绍了一种制备超净高纯盐酸的工艺路线,从工业优质盐酸开始,采用蒸馏、过滤、洗涤、吸收、亚沸蒸馏方法,提纯出超净高纯盐酸,其主要金属离子浓度含量均小于0.1ppb。同时针对亚沸蒸馏提纯技术,影响产品速率以及产品浓度的工艺条件,包括液体温度、冷却水流量、进料速率以及进料浓度进行了讨论。 相似文献
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超净高纯试剂与紫外光刻胶 总被引:4,自引:1,他引:3
孙世铭 《精细与专用化学品》1999,7(10):8-10
超净高纯试剂和紫外光刻胶作为IC生产工艺中的关键材料,随着IC生产向亚微米和深亚微米方向发展,对他们提出了新的要求。 相似文献
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本文介绍了用含量98%的工业级异丙醇经过金属离子络合剂处理、脱水处理、微滤膜过滤、多级精馏、钠滤膜过滤制备超净高纯电子化学试剂-异丙醇的制备方法.该方法制备的超净高纯异丙醇符合半导体技术的芯片及硅园片的清洗和刻蚀的要求. 相似文献
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主要综述了目前国内超净高纯化学试剂产业的发展现状,主要从市场需求、技术水平、人才队伍以及产业规模等方面作重点介绍。同时对目前国内该领域存在的主要问题进行分析并提出解决的合理建议。 相似文献
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我国超净高纯试剂市场需求及产业化前景 总被引:1,自引:0,他引:1
穆启道 《精细与专用化学品》2008,16(23):18-21
一微电子技术发展现状及趋势随着集成电路集成度的不断提高,电路的线宽越来越细。从第一个晶体管问世算起,半导体技术的发展已有多半个世纪了,现在它仍保持着强劲的发展态势,继续遵循Moore定律,即芯片集成度18个月翻一番.每三年器件尺寸缩小0.7倍的速度在发展。特别是二十世纪九十年代末以来,集成电路制作技术的竞 相似文献
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Qian Lin Yanbin Jiang Jianming Geng Yu Qian 《Chemical engineering journal (Lausanne, Switzerland : 1996)》2008,139(2):264-271
The aim of this research was to select suitable activated carbon (AC) for effective removal of organic impurities from industrial aqueous hydrogen peroxide solution to produce ultra-pure hydrogen peroxide. The textural parameters and surface chemistry of four kinds of AC samples were measured and analyzed. Static and dynamic equilibrium adsorption experiments were carried out to compare the effect of AC on organic impurities adsorption and hydrogen peroxide decomposition. The effects of AC pore structure and surface chemistry on the adsorption of organic impurities were investigated. The fitting operation conditions, i.e., operating temperature and AC dosage, were also examined. The results showed that AC adsorption capacity on organic impurities from industrial aqueous hydrogen peroxide solution was mainly influenced by micropore structure of AC, as well as decomposition of hydrogen peroxide. The pore size of 1–3 nm is most effective for adsorption of organic impurities. It was found that the organic impurities in industrial hydrogen peroxide solution could be reduced effectively to meet the standard of ultra-pure hydrogen peroxide of SEMI-C8 level with the proposed AC and adsorption techniques. 相似文献
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利用自动电位滴定仪测定过氧化氢溶液中的过氧化氢含量,研究了仪器的最佳操作条件及方法的准确度和精密度.结果表明:采用电位滴定法,在自动电位滴定仪自动找终点、等量滴定及搅拌速率为8 r/s的条件下测定过氧化氢溶液中的过氧化氢含量,其相对误差为0.10%,相对标准偏差为0.39%,测定1个试样耗时为683 s左右;在电位滴定... 相似文献
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以原料分类对数10年来国内外电子级过氧化氢的制备方法进行了介绍,简述了各种方法的优缺点,并对今后电子级过氧化氢技术发展方向进行了分析和预测。 相似文献
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以过氧化氢为原料脱除硫酸尾气中的二氧化硫,研究过氧化氢浓度、反应温度、反应时间对脱硫率的影响,且对反应过程中过氧化氢的分解率进行了检测。实验结果表明:过氧化氢不足量时脱硫率随过氧化氢浓度的增加而增加,过氧化氢足量时过氧化氢浓度的改变对脱硫率影响不大;在实验条件下,过氧化氢分解率较低;反应温度对脱硫率影响不明显;在SO_2进气质量浓度为4 050 mg/m~3、进气量为0.25 m~3/h的条件下,最佳工艺条件为w(H_2O_2)0.25%、反应温度70℃、反应时间1 h,此条件下脱硫率为98%。 相似文献
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国外过氧化氢净化研究开发进展 总被引:5,自引:2,他引:3
介绍国外过氧化氢化方法研究开发新进展,主要介绍MGC、住友化学、Air Liguide,宇部兴产等公司的专利技术,包括离子交换法,吸附法,反渗透法,蒸馏法等以及这些方法的结合,给出了各种净化技术的效果及产品可达到的纯度,还介绍了较有实用价值的树脂填充塔结构和净化示意流程。 相似文献