Prediction of grinding induced subsurface damage of optical materials

为研究粗磨硅晶圆亚表面微裂纹,采用截面显微观测法,实验研究了粗磨工艺下砂轮进给速率、砂轮转速和硅晶圆转速对晶圆亚表面裂纹的影响. 结果表明:磨削后晶圆亚表面斜线裂纹和折线裂纹占70%,中位裂纹、分叉裂纹和横向裂纹占30%,裂纹形状与工艺参数的关系不大. 裂纹深度从晶圆圆心向外逐渐增大,<110>晶向裂纹深度稍大于<100>晶向. 裂纹深度随砂轮进给速率增大单调增加,随砂轮转速增大单调减小. 裂纹深度与晶圆转速之间的关系复杂,晶圆转速增大时,裂纹深度先是减小,然后增大. 提出了磨削工艺参数的优化措施.

     

摩托车转轴磨削工艺参数最优化的研究

通过对摩托车车起动电机转外圆磨削工艺参数的优化,得出了单件工序时间最短,成本最低,利用润最高为目标的最佳工艺参数,给出了磨削质量和各工艺参数间的关系曲线,从中更直观地分析影响磨削质量的主要因素。通过对     

普通磨床超精度磨削工艺及工艺参数选择

通过对超精度磨削机理的研究和分析,在ME1432B普通外圆万能磨床上采用精、细修整砂轮,使砂轮上的同一颗粒等高微刃数增多的方法达到磨削抛光作用,并对磨床导轨、砂轮主轴与轴瓦间隙进行修刮和调整。同时,合理选择磨削工艺参数等方面达到超精磨削的目的。     

端面磨削工艺参数优化研究

本文包括杯形砂轮的磨粒切削模型、计算机模型，以及工艺参数的优化研究等内容。运用上述模型，通过输入某些具体的工艺参数，可以获得磨削表面磨粒的切痕长度值Ｑｕ、变异系数Ｚｖ和磨削表面的切痕分布情况值ＳＳ［ｉ］，（ｉ＝１，２，３，…，ｍ），以及用线图方式表示的各工艺参数对磨削效果的影响情况，它为在具体的生产条件下选择合理的工艺参数提供了实用手段。     

外圆切入磨削工艺参数最佳化的研究

本文分析了国内外磨削领域的发展动态,在分析外圆磨削过程最佳化理论的基础上,建立了外圆切入磨削过程最佳化的数学模型,设计了计算框图和计算程序,并对一个典型外圆切入磨削零件进行了优化计算,通过数据处理得出了对生产实践有一定指导意义的结论。     

提高磨削表面完整性的工艺研究

本文报道了使用正交试验设计法寻求合适的磨削工艺参数的实验,揭示了磨削工艺条件对磨削表面完整性的影响。     

工艺参数对铸铁激光表面合金化裂纹的影响

本文采用ＰＨＮｉ＿４５Ｂ、ＰＨＦｅｂ３Ｂ、ＣｏＷＣ３５三种合金粉末，分别对三种铸铁ＨＴ１００、ＨＴ２５０、ＱＴ４００－１０进行激光表面合金化处理，测得其合金化层的显微硬度各不相同，并通过本实验表明，铸铁激光表面合金化过程中，单位长度内宏观裂纹的数量即裂纹率与激光处理工艺参数、基材类型、合金粉末种类及试样几何尺寸等因素有关。     

机械磨削裂纹产生的机理与防止措施

分析磨削裂纹的产生机理,掌握磨削裂纹的特征,并从磨削工艺方面,热处理方面及零件材质方面入手,对磨削裂纹采取有效的防止措施.     

硅片精密磨削用砂轮的研究综述

砂轮作为硅片精密磨削加工过程中的关键加工工具备受关注.对硅片精密磨削用砂轮的国内外研究情况进行了总结分析,认为在其制备技术研究方面还需进一步的理论支撑;在磨损与观测评价方法研究方面,宜从砂轮建模入手,结合磨削硅片的材料特性,建立不同磨削阶段的砂轮磨削磨损模型;分析其磨损机理,同时优选砂轮观测评价方法,试验验证磨损过程.     

外圆磨削砂轮修整参数的试验研究

本文研究了在外圆磨削中，修整参数对砂轮磨损，加工表面粗糙度，功率消耗及砂轮有效孔穴的影响，试验结果表明，按砂轮磨普平均尺寸选择砂轮修整参数是合适的。     

砂带纵磨中设定切深对磨削过程影响的研究

分析了设定切深对有效切深、磨削力、功耗、切入率、残留率及磨削刚度等的影响，并通过试验给出了经验公式，进而深入分析了砂带磨削机理并得出了在给定的磨削条件下，最佳设定切深为80～100μm时，磨削最为轻快。     

基于神经网络的磨削参数智能选择

在用人工神经网络来确定磨削参数的过程中,在传统 BP算法的基础上,采用改进了的GCAQBP算法.同时考虑了砂轮材料和粒度对磨削过程的影响,把它们增加为神经网络系统的输入参数;并对输入参数的编码进行了细化,最终建立了磨削参数智能选择系统.用样本进行训练后有效率达到了80%以上,与传统方法相比提高了磨削加工的效率和精度.     

影响钢坯修磨因素初探

以建立在磨削几何学分析之上的金属切除率数学模型为基础，分析讨论了磨削工艺参数（修磨压力、砂轮圆周速度。砂轮直径、工件进给速度）对金属切除率、磨削力比的影响，并对钢坯修磨机理进行了初步探讨，揭示了高效修磨的特点和规律．从而为提高钢坯修磨生产效率，降低修磨成本提供了理论参考依据．     

磨矿动力学参数与磨矿时间的关系研究

通过试验研究指出,磨碎过程是一个动态过程,故动力学方程式的参数也将是变化的。本文指出这些参数的意义及变化规律,并认为苏联碎矿教科书上对动力学参数的解释有片面性。     

磁流体研磨的数学模型及工艺参数实验研究

介绍了利用磁流体进行研磨的精密加工技术,给出了磁流体研磨的工作机理.以Preston方程为依据建立了磁流体研磨的数学模型,利用该数学模型,研究了工件旋转速度、磁场强度、工件表面和磁场中心的距离、研磨时间等工艺参数的变化与研磨效果之间的关系,对Si3N4陶瓷滚珠进行了研磨实验.通过实验分析,验证了该模型的合理性.     

助磨剂对粉石英超细磨矿的影响

研究了三乙醇胺对粉石英超细磨矿的影响及助磨作用机理,采用粒度分析、X—射线衍射分析、红外光谱分析等测试手段,定性描述了助磨剂的作用效果。揭示了助磨剂对粉石英细磨时晶体结构以及化学键的影响程度,并解释了助磨剂有效控制粉石英粉碎平衡、降低粉碎极限、延缓“团聚”形成的原因。     

晶片行星式研磨抛光机运动模拟研究

针对单晶硅片高精度研磨抛光中存在的问题 ,从摩擦学理论出发计算模拟了磨粒平均相对速度、研磨盘磨损的变化过程 ,揭示了运动参数对研抛的表面质量、纹理方向的影响规律 ,对晶片研抛机运动参数的合理选择具有普遍的意义