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无导轨高精度位移平台的结构设计 总被引:2,自引:2,他引:0
为了完善高精度位移平台性能,提高平台位移直线度和定位精度,研制了制造成本较低的高精度无导轨位移平台机构.根据平行四边形和比例杆运动原理,设计了无导轨平台结构.介绍了平台的工作原理,并对其运动部件进行了有限元分析.用自准直平行光管和高精度测量头分别检测了平台的位移直线度和升、降位移误差,实验结果得出,该机构的位移直线度误差小于1",升、降位移误差小于0.02 mm,达到了平台设计要求.应用结果表明,该平台安装方便、体积小、易于养护,在有无重力的条件下均能正常使用,可应用于航天或其它领域的高精度位移系统中. 相似文献
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直线导轨是一种机电一体化的导向装置,是生产加工的重要零件。研究一种简单的检测导轨直线度的方法,将激光安装在滑块上,照射导轨末端安装的位置传感器,读出光斑离坐标轴的距离。根据该距离得到导轨倾斜角,通过倾斜角计算得到导轨直线度。考虑导轨实际轴线偏离理想轴线而产生静态误差,利用最小二乘法和改进遗传算法消除该误差影响。详细给出了基于激光的导轨直线度检测计算方法,并对误差进行分析,为导轨直线度自动化检测提供条件。 相似文献
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使用短基准的超精密长导轨直线度误差测量方法 总被引:6,自引:2,他引:4
在超精密加工与检测技术中,高精度长导轨直线度误差的测量与补偿技术一直是一个研究重点。在系统研究现有各种导轨直线度误差测量方法的基础上,提出一种使用短基准的导轨直线度误差测量方法,将长导轨直线度误差的测量问题分解为具有一定重叠区域的数段较短导轨直线度误差的测量问题。直接利用超精密直线度物理基准测量各段导轨直线度误差,通过将各段导轨直线度误差拼接起来,重构出长导轨的直线度误差。利用空间坐标变换关系建立基于最小二乘法的直线度误差测量算法,以及相对机械运动误差对测量结果影响的数学模型,分析研究重叠区域二次采样点的匹配误差,以及测量误差、采样频率等因素对重叠区域长度选择的影响规律。对长550 mm的气浮导轨进行实际测量试验,仿真与测量试验表明上述方法简单实用,可操作性强。 相似文献
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电梯导轨几何误差测试系统 总被引:1,自引:0,他引:1
开发了一套电梯导轨测试系统,该系统用于静态测量电梯导轨的几何参数,包括导轨三个导向面的直线度、平面度、导轨的宽度、高度、垂直度和扭曲度等。在测量系统中,5个光栅传感器通过适当配置用于测量电梯导轨三个面的直线度,两侧面的平面度和导轨的其他参数可以通过这些传感器的值经过适当的数学变换获得。用一个双频激光干涉仪标定了系统导轨的运动误差,用有限元分析方法对测量时导轨的挠度进行建模,进行了系统误差和挠度的补偿。实验表明,系统的测量误差小于0.05mm。 相似文献
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Xcell22010型三坐标测量机精度试验分析 总被引:1,自引:0,他引:1
三坐标测量机(简称CMM),在测量工件时,所产生的误差可分为两大类:系统误差和随机误差。系统误差都是有规律的,可根据厂方提供的数据进行修正。而影响CMM综合精度(即点位精度)的随机误差,由于来源多,没有规律。诸如:导轨的直线度和垂直度在运动过程中引起的局部误差,测量力的变化引起的误差,测头的重复性误差,工件和不同重量引起的工作台面的变形,周围环境温度的波动,地基的振动,湿度的间接影响等,都会引起随机误差,因此,有必要对其进行计 相似文献