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本文利用直流磁控溅射方法在石英玻璃基片上制备一系列自支撑Cu/Zr纳米多层膜,使用箱式电炉对多层膜进行退火处理,利用显微硬度计,X射线衍射仪、扫描探针显微镜表征了多层膜的力学性能与微观结构,研究了不同工艺参数对纳米多层膜性能的影响.研究结果表明:当Cu调制层厚从42 nm增加至140nm时,多层膜显微硬度从4.9 GPa逐渐降低至4.0 GPa;当Zr调制层厚从3.2 nm增加至4.8 nm时,显微硬度值从6.51 GPa降低至5.64 GPa,硬度值降低13.4%,而从4.8 nm增至8 nm时,显微硬度值变化不大(约5.7 GPa);合适的温度退火时,多层膜微观缺陷消失,表面形貌更均匀,显微硬度增加.利用Chu和Barnett提出的硬度增强理论模型对Cu/Zr纳米多层膜表现出的超硬现象进行了理论分析和解释. 相似文献
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新型功能材料及器件向小型化,集成化和复合化发展的趋势,使得尺寸在纳米尺度的层状材料和柔性多层器件在使用过程中的服役行为成为其发展的关键科学问题。本文结合作者近几年对Ag/M系列和Cu/M系列多层膜力学性能的研究工作,对金属纳米多层膜的微结构特征及其对力学性能的影响进行了回顾和总结,主要包括多层膜的晶粒形貌对其强化机制和塑性变形行为的影响,组元强度错配对多层膜硬化行为的影响,界面结构与其强度极值的关系、不对称界面结构引起的异常弹性模量增强和多层膜的室温蠕变机制及界面结构对蠕变性能的影响等几个方面,并对多层膜的力学性能研究进行了展望。 相似文献
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磁控溅射SiC/W纳米多层膜的微结构研究 总被引:2,自引:0,他引:2
用磁控溅射法在Si基底上制备了不同调制波长的SiC/W纳米多层膜。利用小角度X射线衍射技术,详细研究了其中典型的多层膜的调制周期性。各子层的厚度及界面平整度等界面微观结构。结果表明:磁控溅射法制备的纳米多层膜具有较好的周期结构及陡峭的界面梯度,由衍射峰位置计算出的界面不均匀旗与子层厚度之比一般在5%以内。 相似文献
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采用多靶磁控溅射制备了W/SiC纳米多层膜,并用XRD和TEM研究了W/SiC纳米多层膜的微结构。研究表明,W/SiC纳米多层膜的调制结构界面平直,清晰,周期性好,SiC调制层为非晶态,W调制层在大调制周期为纳米晶,并随调制周期减小逐渐转变为非晶态。 相似文献
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Co/Cu纳米多层膜的制备及巨磁阻性能的研究 总被引:9,自引:0,他引:9
采用恒电位双电解槽法在硼酸镀液体系中,以单晶Si(111)为基底电沉积制备Co/Cu多层膜,确定了双槽法制备多层膜的工艺条件,为得到优良的多层膜巨磁阻材料,镀液体系中加入了自制的添加剂。并用扫描电镜(SEM)表征了多层膜的断面形貌,小角度X射线衍射(LXRD)谱图中出现了2个衍射峰,大角度X射线衍射(MXRD)谱图中强衍射峰的两侧出现了卫星峰,表明多层膜具有超晶格结构。用物性测量系统(PPMS)测试了Co/Cu多层膜的巨磁阻(GMR)性能,GMR值达到52.52%。 相似文献
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Al-Mx金属多层膜的红外特性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用红外光谱仪分析了用离子溅射技术制备的Al-Mx金属多层膜的红外特性.结果表明,在2000~4000cm-1波段多层膜具有良好的红外吸收特性,并推导了多层膜对特定波段的红外波的吸收公式. 相似文献
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美国Genus公司开发出一种快速原子层沉积(RAD)技术,用该法可快速制造金属氧化物层和氮化物层,该项目受到导弹国防局的资助。在2002年夏天,该公司建立了一条ALD设备生产线及相关服务项目,名之为StraGem。 相似文献
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向金属中加入纤维、颗粒、晶须等增强体是提高金属复合材料力学性能的重要途径。而现代工业的不断发展对材料的多功能性提出了更高的要求。为改善材料的综合性能,保证其在高温、辐照等极端条件下的使用,研究人员设计了由纳米级交替层组成的材料体系——纳米多层金属复合材料。由于其具有极高的界面密度,可以有效地阻碍位错移动从而强化材料,同时促进了辐照缺陷的吸收,有效减轻金属的辐照损伤,在快堆、聚变堆等先进核反应堆中具有重要的应用前景。近年来,纳米多层金属复合材料在国内外得到了广泛而深入的研究,在制备技术、结构表征和综合性能等研究方面取得了长足的进步。以Cu/Nb纳米多层复合材料为例,综述了其制备技术、变形行为及热稳定性、抗辐照性、导电性等综合性能的研究进展,并探讨了纳米多层金属复合材料的发展趋势及应用前景。 相似文献
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陶瓷材料的强化与增韧新途径的探索 总被引:14,自引:1,他引:14
文设想利用晶界应力设计,人为地造成在陶瓷材料中的物理上的失配,以使在材料的界相间造成适当的应力状态,从而对外加能量起到吸收,消耗或转移的作用,以达到对陶瓷材料强化与增韧的目的.几个系统的初步实验结果表明,这一设想是合理和可行的,且为低成本制造陶瓷材料提供了新的途径. 相似文献
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用金相法观察GCr15钢复合热处理中经不同温度、时间等温后显微组织的变化并测出其马氏体点M,据此试探等温参数,设计优化复合热处理工艺,获得了最佳强韧度,这是采诸工艺之长集多元强韧化的结果。进一步研究复相精细组织与其对应的性能,发现:无贯穿先奥氏体(A)晶粒的连冷形成粗针状马氏体(M);含适量(12~15%)下贝氏体(B_下)且其中碳化物(C)尚细小而铁素体(F_B)仍残存着过饱和固溶强化;以及受先连冷形成的M、B_下分割细化A和与其相关的成分均匀的A微区变小而导致形成细化的M都对M+B_下复相强韧化起重要作用。 相似文献
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高温等静压烧结碳化硅基复相陶瓷的强化与增韧 总被引:7,自引:0,他引:7
本文通过Si3N4、TiC及SiC晶须补强SiC基复相陶瓷的高温等静压烧结,研究了复相陶瓷的显微结构与力学性能,探讨了晶须及第二相颗粒对复相陶瓷的强化与增韧机理.结果表明,不同的补强颗粒及晶须在基体中的作用也不同,Si3N4的引入将在基体与第二相颗粒之间产生径向压应力,阻碍裂纹的扩展,TiC的引入将在基体与第二相颗粒之间产生径向张应力,诱导裂纹的偏转;SiC晶须的引入也将产生阻碍裂纹扩展的机制,从而达到SiC基复相陶瓷强化与增韧,改善其力学性能. 相似文献
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阐述了关于Al—Li合金改善其应变局部化问题的合金化技术及加工热处理技术进展情况;详细介绍了微量杂质元素在合金中的存在形式与有害作用及其改善的技术方法与途径。评述了Al—Li合金研究的发展趋势。 相似文献