半导体制造用特气的解毒措施

半导体制造用特气的解毒措施壹内俊宏在半导体制造中，使用多种具有毒性、可燃性和腐蚀性的特气。根据高压气管理法，这些气体大多数需要进行解毒处理，即使是其它的气体，根据高压气体保安协会的“特气防灾标准”也应进行解毒处理。管理法中规定了气体应进行无害化处理，...     

普莱克斯在南京建特气技术中心

普莱克斯（中国）投资有限公司（以下简称：普莱克斯）宣布将在南京江宁科学园投资建设一座现代化的特种气体技术中心，计划于2008年8月建成。特气技术中心的建立将提高普莱克斯技术研发能力，为中国客户提供更多新型应用技术。该中心一期项目包括一个特气实验室、标物检验设备、气体分析仪器及高纯度气体钢瓶充装设施，主要为国内石化、汽车、照明、环保等行业的实验室和科研中心提供优质产品、服务和技术支持。二期项目将用于半导体行业的电子级气体以及混合物的研发和配制。     

特气用容器

充填高压气体的容器，大致可分为无缝容器和焊接容器两种。充填特气的容器，大部分也用这类容器，它们与普通的氧、氮、氩等高压气体相同，受高压气体管理法约束，其容器阀也作为附件受法律限制。     

日本电子特气业的技术与市场新观察

综述了在2013年至2014年上半年间日本半导体用电子特气方面的市场变化及技术开发新进展。     

特气用压缩机

如图所示，日本能量系统株式会社生产的特气用压缩机压缩的气体纯度高，适用于硫化氢、二氧化碳、氧、氢、氦等腐蚀性与高纯气体，也遗用于其它任何气体，可任意给定压力，最大输出压力为300公斤／厘米^2。设压机结构紧凑，噪音小，控制部分与压机分开，因而可远距离操作。标准产品有压力为300～1000公斤／厘米^2的，以及纯水和其它液体用压机。     

气敏材料Au-WO3催化特性的物理解释

对Au-WO3粉体材料的制备及氨酶特性进行了研究,得到材料的电阻和对氨的灵敏度随Au含量的增加先增大,达到某一极值后减小的实验结果,本文还用透射电子显微镜（TEM）观察了Au颗粒在WO3表面的分布情况,发现Au颗粒的团聚现象,根据电子催化模型对Au在WO3表面的随机分布情况进行了计算机模拟,模拟结果与实验观测现象相符,在此基础上给出了Au颗粒催化机理的定性物理解释。     

特气分解爆炸的危险性

一、绪言在半导体元件制造过程中,使用以硅烷为主的各种原料气,其中,大多数是毒性大、易燃、易爆的气体,处理时必须考虑安全性。日本高压气体保安协会为防止以往不经常使用的危险性大的高压气体发生事故,规定了特气防灾标准。1984年11月,在日本神奈川县发生锗烷高压容器破裂事故,进口的锗烷容器在卸车时突然发生破裂。从以后的调查中得知,破裂的原因是锗烷分解产生爆炸所引起的。以前,几乎没有这些气体分解引起爆炸     

特气的运输及其安全技术

近年来，特气的使用量随着各企业的迅速发展而增长。     

《低温与特气》稿约

《低温与特气》创刊于1983年,是国内外公开发行的科技期刊。创刊二十余年的《低温与特气》是伴随着中国特种气体事业及低温工程事业发展壮大起来的,它见证了中国特种气体与低温事业的风风雨雨,成为重要的专业信息交流园地。     

《低温与特气》稿约

《低温与特气》创刊于1983年,是国内外公开发行的科技期刊。创刊二十余年的《低温与特气》是伴随着中国特种气体事业及低温工程事业发展壮大起来的,它见证了中国特种气体与低温事业的风风雨雨,成为重要的专业信息交流园地。我刊是我国特种气体行业中唯一一家正式期刊,其报道内容对本行业具有重要的指导意义。     

《低温与特气》稿约

《低温与特气》创刊于1983年,是国内外公开发行的科技期刊。创刊二十余年的《低温与特气》是伴随着中国特种气体事业及低温工程事业发展壮大起来的,它见证了中国特种气体与低温事业的风风雨雨,成为重要的专业信息交流园地。我刊是我国特种气体行业中唯一一家正式期刊,其报道内容对本行业具有重要的指导意义。     

特气红外探测器的温度分析

为了改进特气红外探测器的性能,本文运用热传导理论,分析了在一定功率的单色均匀红外射线激励下的温度变化情况,提出近似模型建立了吸收腔的热传导方程;求解方程得到了吸收腔内各处温度变化和平均温度变化的确切表达式,分析表明特气红外探测器的响应度(气体平均温升决定)与吸收腔的腔深1成线性关系,与特气吸收系数аλ成非线性关系.进而建立了非单色红外射线激励下的热传导方程,提出求解方法.     

《低温与特气》稿约

《低温与特气》创刊于1983年，是国内外公开发行的科技期刊。创刊二十余年的《低温与特气》是伴随着中国特种气体事业及低温工程事业发展壮大起来的，它见证了中国特种气体与低温事业的风风雨雨，成为重要的专业信息交流园地。我刊是我国特种气体行业中唯一一家正式期刊，其报道内容对本行业具有重要的指导意义。《低温与特气》竭诚为航天、电子、光纤、化工、机械、石油、环保、医疗、食品、及军工等领域的科研、设计、生产、使用、教学及管理等部门服务，并愿为行业内的同行们提供信息交流的平台。     

《低温与特气》稿约

《低温与特气》创刊于1983年，是国内外公开发行的科技期刊。创刊二十余年的《低温与特气》是伴随着中国特种气体事业及低温工程事业发展壮大起来的，它见证了中国特种气体与低温事业的风风雨雨，成为重要的专业信息交流园地。我刊是我国特种气体行业中唯一一家正式期刊，其报道内容对本行业具有重要的指导意义。《低温与特气》竭诚为航天、电子、光纤、化工、机械、石油、环保、医疗、食品、及军工等领域的科研、设计、生产、使用、教学及管理等部门服务，致力于为行业同仁提供信息交流的平台。     

《低温与特气》稿约

《低温与特气》创刊于1983年，是国内外公开发行的科技期刊。创刊三十年的《低温与特气》是伴随着中国特种气体事业及低温工程事业发展壮大起来的，它见证了中国特种气体与低温事业的风风雨雨，成为重要的专业信息交流园地。我刊是我国特种气体行业中唯一一家正式期刊，其报道内容对本行业具有重要的指导意义。《低温与特气》竭诚为航天、电子、光纤、化工、机械、石油、环保、医疗、食品、及军工等领域的科研、设计、生产、使用、教学及管理等部门服务，并愿为行业内的同行们提供信息交流的平台。     

《低温与特气》广告简则

《低温与特气》创刊于1983年，是国内外公开发行的科技期刊，刊号ISSN1007-7804,CN21—1278/TQ。创刊二十余年的《低温与特气》是伴随着中国特种气体事业及低温工程事业而发展壮大起来的，它见证了中国特种气体与低温事业的风雨历程，已成为重要的专业信息交流园地。     

浅谈特气的安全运行与管理

本文简要介绍了特气在运行管理中的几种分类方法,概述了特种气体输送系统的主要构成单元,并探讨了特气安全运行与管理当中需注意事项。     

电子特气的合成与纯化技术研究进展

电子特气是电子工业中不可或缺的基础性支撑材料,被誉为电子行业的“血液”和“粮食”,电子特气通常对纯度要求高,一般在5N级,部分品种的纯度要求6N级甚至更高。因此,电子特气的关键制备技术不仅仅是合成技术,还包括纯化技术。对电子特气的合成与纯化技术进行了归类总结,合成技术包括电解法、化学法和电解-化学法,纯化技术包括吸附法、精馏法、吸收法、膜分离法等,具有一定的参考价值和指导意义。     

电子特气中痕量水溶性杂质的捕集方法研究

配制系列离子浓度标准溶液,使用离子色谱绘制了液相NH⁺₄的校准曲线,作为气体吸收实验的定量依据。使用自制气体吸收装置和标准气体进行气体吸收实验,确定了吸收液种类、吸收瓶材质。通过正交实验考察了吸收速率、吸收时间、吸收液体积和吸收瓶规格4个参数对捕集效率的影响,选出最优参数。通过气体稀释仪,绘制了不同浓度下氢中NH⁺₄的气体响应校准曲线,线性良好。确定了气体吸收的检出限,远高于市场检测需求。所进行的吸收参数等的考察为我国集成电路基础材料检测的发展提供了有利的技术支撑。