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对环境扫描电子显微镜(ESEM)的认识 总被引:8,自引:0,他引:8
环境扫描电子显微镜(ESEM)中所指环境并非真正意义上的大气环境,与传统SEM样品室高达10∧-3~10∧-6Torr的真空度相比,ESEM样品室的真空度很低,从1Torr~20Torr,非常接近大气环境,但不等同于平均760Torr的大气环境;环境方式下最适家观察的生物样品是那些表面有角质层覆盖的样品和含水量很低的样品,比如植物的叶片、动物中的昆虫、作物的籽粒等,这类样品易于保持新鲜度;环境方式下对样品的观察和图像的记录等操作应快完成,这样可减少样品内水分蒸发而使样品变形降至最低。 相似文献
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Florent Battistella Steven Berger Andrew Mackintosh 《Microscopy research and technique》1987,6(4):377-384
We have described in detail the principles of operation of a commercially available SEM-based scanning optical microscope. The stage consists of a cathodoluminescent material which converts the scanning electron beam into a scanning optical beam and an optical system to focus the light beam onto the specimen. The resolution attainable with such a stage is discussed as well as the efficiency of electron-to-photon conversion. Simplified formulae are given and a set of curves plotted which can be used to determine the appropriate tradeoff between resolution and optical power. Examples of the imaging ability in the optical beam induced current mode from various semiconductor devices are presented. 相似文献
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随着科技的发展进步,扫描电子显微镜现有检定规程提出的部分校准方法已不适用.本文对扫描电子显微镜放大倍数示值误差的校准提出了新的方法和计算过程,利用像素坐标表征标记线长度,以减少图像输出及测长仪使用过程中引入的误差. 相似文献
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扫描电镜(SEM)在失效分析中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
失效分析是故障分析的重要方法,而扫描电镜为失效分析的重要手段,两者在工程领域有着广泛的应用,尤其是在断口分析中的应用。通过扫描电镜可以确定失效的形式和机理,对于确定故障的原因和制定措施起着关键作用。笔者通过工程具体的实例,结合失效分析理论,应用扫描电镜的分析,针对具体工程问题分析了原因,并制定了措施,着重介绍了扫描电镜在失效分析中的应用。 相似文献
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扫描电子显微镜(SEM)是利用聚焦极细的电子束作为照明源,以光栅状扫描方式照射到试样表面,并以入射电子与试样相互作用所产生的信息来进行成像的。采用扫描电子显微镜对收集在微孔滤膜上的颗粒进行分析,不仅可以观察微小颗粒的表面形貌,还可以与能谱仪配合进行颗粒粒径及数量的测量与统计,测试准确度高,因而在粒度分析领域具有不可替代的作用。主要介绍扫描电子显微镜在粒度分析中的应用。 相似文献
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《机械制造与自动化》2017,(6):96-99
扫描电子显微镜(SEM)是表征纳米材料和纳米结构的重要测量仪器。扫描电镜在环境的影响下会产生图像失真,尤其在微纳尺度范围内会产生较大的测量误差。为了修正SEM图像的测量误差,提出基于图像配准的图像误差校正方法。该方法采用基于特征属性的图像配准技术,通过加速稳健特征算法提取图像特征点并构造描述矢量,建立失真图像的空间变换模型,从而恢复样品的真实图像。实验证明该方法能够有效地校正扫描电镜图像,提高样品形貌观测的准确性和精度。 相似文献