二次离子质量分析法(Ⅱ)关于二次离子质量分析法的基础及应用的诸问题

1.绪言前篇已介绍了有关二次离子放射机构的几个模型,叙述了基于这些模型的定量分析法。本文作为前篇的继续,叙述定量分析的最正统的方法——检量线法,接着关于深度方向的分析以基础事项为主加以叙述。进而介绍关于面分析、立体分析及极微量分析方面具体的应用例,对二次离子质量分析法(SIMS)应用范围的扩大也期望引起注视。SIMS 的将来发展,在很大程度上有赖于二次离子放射的基础研究以及对其放射机构能获得明确的解析。本文的最后部分以二次离子放射为主,叙述有关实验方面的基础研究。2.采用检量线法的定量分析     

二次离子质谱中氧的作用

<正> 一、前言自从出现二次离子质量分析仪以来,已经有十几年的时间了。在初期研究阶段中,主要用Ar~+作为一次离子,样品室的真空度比较差,二次离子行为是不稳定的,也没有得到足够高的检测灵敏度,因此分析的适用范围受到限制,没有得到充分的实际应用。Andersen使用了O_2~+、O~-作为一次离子,这在SIMS历史上具有划时代的作用。可以认为从这个时候开始,SIMS进入了实用阶段,这是由于采用了氧离子使二次离子强度增大而且稳定了的缘故。即使是以Ar~+作为一次离子时,只要样品环境气氛有氧气,二次离子强度也将增加。作者使用自制的SIMS,在分析中一直应用这些现象,大约有5000个各种材料的样品使用体会,深     

红外半导体材料SIMS分析研究

介绍了二次离子质谱仪(Secondary Ion Mass Spectrometer, SIMS)的基本原理及其在焦平面红外半导体材料和器件制备工艺中发挥的重要作用。通过对掺砷碲镉汞和CdTe/InSb材料进行SIMS测试,研究了不同离子源和一次束流大小对测试结果的影响,为后续SIMS分析技术在红外探测器材料的进一步研究奠定了基础。     

数理科学与基础理论

Z99-51340 00105821998国际二次离子质谱学研讨会暨第二届中国二次离子质谱学会议论文集〔会〕/中国真空学会.—226页(C)本文集收录了国际二次离子质谱学研讨会暨第二届中国二次离子质谱学会议上发表的48篇论文。内容涉及了当代二次离子质谱学的所有重要领域,综述了香港和台湾地区二次离子质谱学的发展现状,SIMS     

二次离子质谱法及其在薄膜和表面层研究中的应用

用二次离子质谱法(以下称 SIMS)做固体分析时,样品装在质谱仪中并用3～15千电子伏能量的一次离子轰击。从样品溅射出来的粒子(如二次离子被发射出来)表征样品的化学组分,通常可用它来做样品的定量质谱分析。本文简要地讨论了目前解释二次离子发射的各种模型。对于用 SIMS 分析薄膜的基本参量,即各种离子的产额、检测极限和材料消耗做了研究。文中还将叙述应用于分析薄膜和表面层的各种方法,并指出恰当的 SIMS 方法的选取对于给定的问题的解决是极重要的。     

砷化镓在02^＋与Cs^＋离子轰击下二次离子发射的研究

本文研究了各种实验参数对O－SIMS和Cs-SIMS中GaAs二次离子发射的影响，和样品室中氧分压对GaAs二次离子发射的增强效应。实验表明，与Ar-SIMS不同，O－SIMS和Cs-SIMS中随Ep增加二次离子的强度反而有所下降，而样品室注入氧可以提高正二次离子产额，但需要达到较高的氧分压：10^-3Pa，二次离子能量分布测量表明，对O－SIMS，二次离子强度在Vbias=30V左右达到最大值，对Cs-SIMS,二次离子强度在Vbias=-20V左右达到最大值。     

InGaAlP外延片的微分析

介绍了电子显微镜和二次离子质谱仪(SIMS)两种当前主要的微分析工具在四元InGaAlP发光二极管(LED)外延片分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用领域,指出两者有机的结合可以得到比较全面的分析结果,为工艺监控和工艺改进提供了参考.     

聚焦离子束组合装置及应用

聚焦离子束技术是一种集形貌观测、定位制样、成分分析、薄膜淀积和无掩膜刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。对电子离子双束纳米工作站,聚焦离子束、扫描电镜和Ar离子束构成的“三束”显微镜系统的原理和应用作了详细介绍,同时也对聚焦离子束-分子束外延组合装置、聚焦离子束与二次离子质谱仪(SIMS)的组合装置以及单轴聚焦离子/电子束(FIEB)装置作了简单介绍。     

砷化镓在O_2~＋与Cs~＋离子轰击下二次离子发射的研究

本文研究了各种实验参数对Ｏ－ＳＩＭＳ和Ｃｓ－ＳＩＭＳ中ＧａＡｓ二次离子发射的影响，和样品室中氧分压对ＧａＡｓ二次离子发射的增强效应．实验表明，与Ａｒ－ＳＩＭＳ不同，Ｏ－ＳＩＭＳ和Ｃｓ－ＳＩＭＳ中随Ｅｐ增加二次离子的强度反而有所下降，而样品室注入氧可以提高正二次离子产额，但需要达到较高的氧分压：１０－３Ｐａ．二次离子能量分布测量表明，对Ｏ－ＳＩＭＳ，二次离子强度在Ｖｂｉａｓ＝３０Ｖ左右达到最大值，对Ｃｓ－ＳＩＭＳ，二次离子强度在Ｖｂｉａｓ＝－２０Ｖ左右达到最大值．     

SIMS测试中的一次离子束研究

介绍了二次离子质谱仪(Secondary Ion Mass Spectrometry,SIMS)测试中一次离子束的各参数对测试的影响.研究发现,离子源的选择由分析元素决定,一次束能量决定深度分辨率,入射角度影响溅射产额,一次离子束的束流密度影响溅射速率.因此,在SIMS测试中,需要根据分析目的调节相应参数,以获得较好的...     

紫外防护品的防紫外光谱特性检测

讨论了紫外防护品(眼镜、防晒护肤品、织物)的防紫外检测原理,建立了实用的检测装置,对样品旋转不同的角度进行测试,测试结果与日本岛津UV-3150紫外分光光度计的测量结果比较,具有良好的一致性.检测11种不同类型的镜片,结果表明大多数镜片均能限制UVB(280～320 nm)的透过,但UVA(320～400nm)的透过率较高,镜片的防紫外线能力不理想.采用紫外吸光度法检测6种防晒护肤品,根据吸光度A值的大小,评价产品的性能,3种化妆品实测防紫外效果与产品标定的SPF值不相吻合,并且UVA的透过率较高.检测14种织物,计算得到织物防紫外指数UPF值,发现染色深及较厚的织物防紫外效果较好,纯棉及亚麻防紫外线效果较差.三种紫外防护品对UVB的防护效果都优于对UVA的防护,但UVA对人体同样造成伤害,应引起人们的重视.     

效率、功率因数及其关系的讨论

效率和功率因数是电气与电子工程中的两个重要参数.它们既是两个不同的概念,又有密切的联系.但在目前的电路分析及模拟电子技术的部分教材中,关于效率、功率因数及其关系问题仍然存在一些错误概念,或者对这些重要的问题言之甚少.本文针对上述问题作了详细地讨论.并通过一个例子分析了效率及功率因数之间的关系,纠正了对这些问题的模糊认识,使这些概念更加明确.笔者认为文中的分析和讨论对电类各专业的学生掌握这些基本问题是有益的.     

导电聚苯胺在铝电解电容器中的应用

导电高分子在电子元件中的应用十分广泛。比较了几种用于铝电解电容器中的固体电解质:二氧化锰、TCNQ、聚吡咯、聚苯胺,其中聚吡咯、聚苯胺的性能优势明显,尤其是聚苯胺的电导率和热稳定性最好。介绍了聚苯胺结构特征、合成方法以及聚苯胺铝电解电容器的制造方法和性能,展望了聚苯胺的应用前景。     

Low-leakage soft error tolerant port-less configuration memory cells for FPGAs

As technology scales the area constraint is becoming less restrictive, but soft error rate and leakage current are drastically increased with technology down scaling. Therefore, in nano-scaled CMOS technology, the reduction of soft error rate and leakage current is the most important challenge in designing field programmable gate arrays (FPGA). To overcome these difficulties, based on the observations that most configuration bit-streams of FPGA are zeros across different designs and that configuration memory cells are not directly involved with signal propagation delays in FPGA, this paper presents a new family of configuration memory cells for FPGAs in nano-scaled CMOS technology. When zeros are stored in the cells, the injected glitch due to particle strike is removed from the stroked node by pull-up or pull-down network of the cells. Thus, our proposed cells are completely hardened and cannot flip from particle strikes at the sensitive cell nodes when zeros are stored in the cells. Furthermore, in the proposed cells, when zeros are stored, the sub-threshold leakage current components are reduced by using stacks of transistors in series. These new cells are port-less and the storage nodes of cells are manipulated through the transistors which apply the supply voltages to the cell. Simulation results show that the proposed cells are working correctly during their configuration and idle cycles and that our cells have a lower soft error rate and leakage current in 22-nm, as well as 65-nm technologies.     

垂直纳米线晶体管的制备技术

对目前垂直纳米线晶体管的制备技术进行了综述.首先根据器件结构取向介绍了纳米线晶体管的分类,即水平纳米线晶体管和垂直纳米线晶体管,比较了这两类不同结构晶体管的优缺点,阐述了垂直纳米线晶体管的优势及其潜在应用价值.重点介绍了两种主流的垂直纳米线晶体管的制造方法,即自下而上方法和自上而下方法,自上而下方法则又分为后栅工艺和先栅工艺.随后详细比较了它们之间的不同.最后,对垂直纳米线晶体管制造过程中的工艺挑战进行了分析,提出了几种可行的解决方案,并预测了垂直纳米线晶体管未来的发展趋势,特别是在低功耗器件及3D存储器等方面的发展走向.     

基于校园网的虚拟电工实验模式的研究

电工实验是大学电路理论、电工技术基础课程教学中必不可少的一环。针对传统开设的实验课程中存在实验仪器陈旧,教学方法单一,学生缺乏学习主动性和创造性等问题,结合培养应用型人才的目标,本文研究了基于校园网虚拟电工实验教学的新模式。该模式将仿真设计与实际操作、虚拟仪器技术和网络技术结合,进行网上虚拟电工实验,实验结果和设计内容可以在校园网上发布。文中详细介绍了这一模式的具体内容和实验方式。该实验模式充实了我校电工实验手段,提升了电工实验水平,激发了学生的实验兴趣,为培养应用型人才打下良好基础。     

波带交换光网络中的保护机制

本论文主要对波带交换光网络中的保护机制进行了一定的研究,提出了基于波带通道的专用保护和共享保护机制和算法,其中在共享保护算法中考虑不同的策略提出了三种不同的算法,即只共享逐跳的保护波长通道的WSP算法,只共享嵌入到波带通道中的保护波长通道的BSP算法和能同时共享两者的BWSP算法。最后进行了相应的网络仿真,讨论并得出BWSP算法的性能是最优的。     

无线传感器网络的新进展与应用

为完成实时监测、感知和采集各种监测环境或对象的信息,将智能传感器组成分布式信息测控网络。无线传感器网络是传感器智能化发展的趋势。它是以数据获取与数据管理为核心的全新网络,综合了传感器技术、嵌入式计算技术、分布式信息处理技术和无线通信技术。介绍了无线传感器网络节点、无线传感器网络、无线传感器网络的最新进展,并给出了无线传感器网络的应用。     

红外序列图像小目标检测与跟踪技术综述

指出了小目标检测与跟踪中存在的难点问题;综合该领域近年来的研究成果,按照检测与跟踪的先后次序,将算法分为DBT和TBD两大类,并给出相应的数学模型和各自的主流方法;对两大类算法的执行性能进行了比较;最后指出该领域可以深入研究的方向。     

星载寄生式SAR系统干涉性能与空间分辨能力分析

以星载寄生式SAR系统成像信号模型为基础,详细分析了这一新系统的干涉性能和空间分辨能力,给出了 各自的限制条件。分析了两者限制的本质一致性,并统一以基线形式表示出来,同时提出了距离向有效基线和方位向有效 基线的新概念。最后以Cartwheel编队构形进行了实例分析,特别指出了基线耦合、多基线对性能的影响。