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相似文献
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半导体压力传感器的开发动向   总被引:1,自引:0,他引:1  
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半导体压力传感器的温度特性分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
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先从理论上分析了半导体压力传感器的液位测量方法,导出差压与液位高度之间的数学表达式并给出了仿真曲线。介绍了测量系统中压力传感器的选型、信号调理电路的设计以及应用中的注意事项。  相似文献   

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扩散型半导体压力传感器的材料研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
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半导体压力传感器的制造方法   总被引:1,自引:0,他引:1  
原先的老式半导体压力传感器是按照薄膜的膜片受压变化来进行压力检测的。这种半导体压力传感器的制造方法是在硅片的整个表面上形成埋入氧化膜.构成上硅层、埋入氧化膜、下硅层3层结构,然后在上硅层钻出通向埋入氧化膜的内孔,并由此内孔注入腐蚀液,局部去掉埋入氧化膜,用所谓的西莫克斯(Simox)工艺形成薄膜的膜片。  相似文献   

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半导体高温压力传感器的研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
介绍多晶硅压力传感器,由于采用二氧化硅介质膜作应变电阻之间的隔离,因而提高了传感器的工作温度。实验表明,该类传感器具有灵敏度高,精度高、温度特性好、工作温限高等特点。  相似文献   

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为了回答什么叫压力传感器,首先有必要对压力了解一下。压力是对物体表面单位面积内垂直方向的力(f)的大小,用公式表示如下:  相似文献   

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在汽车防抱死制动系统(ABS)中,压力调节器和轮速传感器起着非常重要的作用,为了进一步完善汽车防抱死制动系统的制动性能,文中提出一种基于概率神经网络(PNN)的压力调节器和轮速传感器的故障诊断方法。基于高附着均一路面,起车时制动及单一的压力调节器或者轮速传感器故障的试验数据,分别建立了基于概率神经网络的压力调节器故障诊断模型和轮速传感器故障诊断模型,并与BP神经网络进行了比较。仿真结果表明,利用相同的训练样本集对概率神经网络和BP神经网络进行训练时,基于概率神经网络的压力调节器故障诊断模型和轮速传感器故障诊断模型在训练时间和诊断精度上明显优于BP神经网络,并且利用测试样本对建好的压力调节器故障模型和轮速传感器故障模型进行检测时,无论测试样本的顺序发生什么变化,基于概率神经网络的故障模型都能够准确的进行故障识别。  相似文献   

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半导体应变计与传感器   总被引:1,自引:0,他引:1  
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