JCXA-733电子探针十年维修小结

我校购进的日本电子公司ＪＣＸＡ－７３３型电子探针是八十年代初期产品。主要技术指标为：二次电子图像分辨率７ｎｍ，放大倍数十万倍，元素分析范围Ｂ５—Ｕ９２，大部分元素的分析灵敏度可达１０－５，并配有计算机自动控制系统和相应的自动分析软件。十余年来该仪器使...     

EPM-810Q电子探针图像系统故障维修

ＥＰＭ－８１０Ｑ电子探针图像系统其扫描成像基本原理是：扫描发生器产生的锯齿波分别加到置于物镜孔中的Ｘ、Ｙ扫描线圈和显像管的Ｘ、Ｙ偏转线圈上，实现电子束在样品表面和显像管荧光屏上的同步扫描。通过扫描偏转动作，电子束能依次到达样品表面，依次得到表面各位置...     

电子探针的计算机改造技术

电子探针是以微区成分分析为主,同时可以观察形貌的大型仪器。目前,我们国家有上百台电子探针,其中绝大部分是七、八十年代进口的。这些仪器所配备的计算机都已十分落后,严重地影响了仪器性能的发挥。例如,岛津EMX-SM系列电子探针所配计算机为SORDM223,仅有64K内存,双8寸软驱,早已被市场淘汰。在当时环境下开发的软件弊端很多,功能有限,一个10元素的ZAF法定量分析需要半小时,没有数字图像功能,X射线像以亮点疏密表示,灰度分辨率不过12级。我们在地质矿产部8505608-4和9505606-1两个科研项目资助下,对长春科技大学的岛津EMX-SM7型电…     

电子探针微量元素精确测试方法初探

目的：利用电子探针分析技术较准确地进行样品微量元素定量分析。方法：采用地矿部颁标样，改变分析条件通过标样测标样的方法进行了微量元素定量测定。结果：对于常量元素分析采用分析条件为加速电压15kV，分析电流0．01μA，测量时间10s。量元素分析采用分析条件为加速电压25kV，分析电流为0．1m，测量时间20s。结论：利用电子探针分析微量元素含量，加速电压采用25kV，分析电流0．1m，分析时间应适当延长，这样，可以获得较满意的分析结果。     

薄膜厚度的电子探针测定

由于电子束的穿透本领很低,在使用较低的加速电压时更是如此,因此用电子探针测定薄膜厚度是很灵敏的。据估计,对重金属膜可测出nm量级的差别。关于电子探针测量有衬底薄膜厚度已有不少的文献报导,在此基础上,本文采用改变加速电压的方法,测量了不同衬底上,不同厚度铝薄膜的X射线归一化强度,画出归一化强度和加速电压的关系曲线,得出归一化强度恰等于1的电压值E_d,然后选择X射线激发深度公式,计算出薄膜的质量厚度。并将此结果与化学分析法,重量法等的试验结果,以及Monte Carlo模拟计算值加以比较,结果说明:电子探针测定有衬薄膜厚度是一种简易可行,又有着一定准确度的方法。     

硼的电子探针定量分析与质量吸收系数

本文用电子探针测量中的薄膜模型法测定了八种元素对ＢＫα射线的质量吸收系数，与文献上查犁数据相比相关甚大，用几套主修正公式进行反算，得到的强度比与实验测量的标准硼化中度比进行比较指出，我们的数据符合得较好。     

含硼涂层的电子探针分析

元素硼在电子探针分析中属超轻元素,其定量分析的准确性受多种因素制约,很难满足材料分析的要求。本工作用电子探针分析了钼基合金上一种加硼的Si-Ti复合涂层。着重解决了Mo的M系谱线对BK_α射线的谱线干拢及质量吸收系数不准确等问题,较准确地测定了各层中元素的含量,特别是硼的含量及分布。并用面扫描显示了含硼与不含硼涂层氧化后的形貌及元素分布,较好地解释了两个含硼层对改善抗热震性能的作用。     

电子探针图像系统的微机接口

目前，世界上仍然使用着很多模拟图像系统的旧型电子探针和扫描电镜，仅国内就有数百台。它们的主机性能仍然良好，但使用单色ＣＲＴ显示，没有图像处理能力，图像质量不高，灰度分辨率不超过４０级。基于这一缺陷，我们在地质矿产部科学技术司的资助下，研制了电子探针和...     

纯铜渗铝层的电子探针研究

纯铜渗铝层的电子探针研究马永庆于志伟（大连海事大学金属材料研究所，大连１１６０２６）本文用ＪＸＡ－７３３电子探针研究了纯Ｃｕ渗Ａｌ层的Ａｌ浓度分布和相组成，为制备Ｃｕ－Ａｌ２Ｏ３复合材料的研究提供前期工作。实验用纯Ｃｕ（９９．９％）试样尺寸为２０×１...     

电子探针和离子探针的IC诊断系统

电子探针与机械探针 集成电路工艺在几何尺寸方面向两个极限挑战,园片直径增大到300mm(12英寸),线宽缩小到0.15μm以下,而芯片集成度达到上千万个元件。同时,时钟频率越来越高,微处理器1GHz芯片正用到台式PC,2GHz芯片随时准备上市,售价往往几百美元。为提高成品率和缩短上市时间,半导体供应商采取各种可靠和高效率的测试手段。在园片流片后测试管芯的电学性能,诊断和修复故障,减少废品进入后工序,被证明是行之有效的方法。     

电子探针线扫描分析技术

比较电子探针的各种线扫描分析法，对样品台移动线扫描分析法进行改进，增加了自动聚焦校正和电流校正功能，丰富了线扫描数据的处理方法。     

GZAF Windows版电子探针定量分析

采用VB和VC开发的电子探针软件GZAF可运行于Win98等操作系统，GZAF具有较完善的定量分析功能，自动化，智能化和灵活程度较高。一次可分析的元素数约40个，一个分析报告可容纳的分析点数只与仪器的寿命和硬盘容量有关，定量分析采用数据库和电子表格方式，分析报告方式有数据库。文本、平面或立体图形和图像，所有报告都可以直接在通用软件如Word,Excel,Access,PhotoShop,MathCAD等中引用和加工。有较丰富的电子探针定量分析实用程序和辅助功能，如以任意元素为主参考元素的分子式计算；化学式创建；Fe的价态计算和矿物端员组份计算；X射线全谱拟合（为背底位置和峰位的选择及避免重叠峰提供直观指导），标样库；全面的联机测试和仪器基本参数设置，谱位动态校正，谱平移校正，质量吸收系数设置，谱仪驱动方式选择，样品面／线定量分析和图像显示等功能，GZAF软件也可以脱机使用，为所有探针用户提供方便。     

电子探针分析微粒样品的校正方法

本文将电子探针定量分析中的一个厚块状样品的校正程序,扩展为微粒样品的校正程序。修改后的程序,不但仍可用于厚块状样品的校正,而且对不同直径的微粒样品也可进行校正计算。文中比较了几种不同的校正程序对微粒样品的校正计算结果。直径1-4μm的硫化铁微粒和直径0.4-4μm的五元钴基合金微粒,采用本文提示的程序,其校正精确度分别优于4％和10％,说明修改后的程序对微粒样品的校正是合适的。     

岛津电子探针系统软件功能扩充及改进

本文通过大量的实验研究,弄清了岛津电子探针系统软件System—700C的基本构成和各功能程度段之间的连结关系。针对使用过程中存在的主要问题,做了较大幅度的扩充、改进和修正。尤其是背景测量方法的根本改变,即使在谱线非常密集的情况下,仍然可以准确扣除背景,同时大大地减少了测量时间。经过改进之后,该软件运行快速、方便、直观,功能得到扩展,测量时间减少一半以上,对国内拥有量近50台的岛津探针,具有较大使用价值。     

电子探针对金属断口表面的方形研究

金属的断裂表面是粗糙的、不规则的,并具有自相似性质。因此,可能用分形方法进行研究。本文用EPM-810电子探针二次电子线扫描法。研究了45号钢不同回火温度条件下拉伸试样断裂表面的分形维数与断口表面粗糙度、断裂性质及微观组织之间的关系。     

岩石矿物中氧化铁电子探针价态定量分析方法的研究

本文主要论述利用标准曲线法测定矿物中价态铁含量的电子探针定量分析方法。电子探针定量分析含氧化铁矿物时,氧化铁的成分只能以＂FeO＂形式给出全铁的含量,而不能准确地把＂Fe2O3＂和＂FeO＂各自的百分含量分开,这就给地质研究人员对于地质环境,矿物的成因,成岩作用及成岩后生作用等方面的研究带来很多困难。根据地质研究的需要,作者进行了此方法的研究及实验。利用天然菱铁矿和赤铁矿配制含有不同比例的FeO和Fe2 O3的标准样品。用电子探针测定这些标样中铁元素的Lα和Lβ的强度值,经过ZAF法修正,得到ILα/ILβ的强度比值,由Lα和Lβ线系的强度比和标样中价态铁的浓度比绘制成标准曲线。样品中铁元素的价态值,根据电子探针定量分析＂FeO＂数据及ILα/ILβ的比值,由此曲线求得FeO和Fe2O3的定量分析结果。     

元素价态的电子探针分析及其应用

Fe和Mn氧化物价态的电子探针分析已见文献报导。本文研究Cu,Ni,Co,Fe,Mn,Cr及其氧化物的I_(Lα)/I_(Kα,I_(Lα)/I_(Lβ)强度比和Mo,Nb,Zr及其氧化物的I_((Lβ)_2)/I_((Lα)_1),I_((Lγ)_1)/I_((Lα)_1)强度比的价态效应,观察到强度比按一定规律随价态而变化,并利用此效应分析催化剂的价态。通过分析可以了解催化剂反应前后以及不同制备条件下价态的变化,这对了解催化过程有着重要的意义。     

电子探针定性分析软件的研究与开发

针对日本岛津公司EMX－SM7型电子探针定性分析系统进行了方法研究，并用Visual C^ 语言，在Windows操作平台上，设计了定性分析软件，采用边采集数据，边识别谱线的方法，实现了对样品的快速准确定性分析，同时可以显示元素特性X射线谱线，并增加了样品线分析功能。     

电子探针对硬玉的无标样定量研究

由于电子探针分析技术能将矿物的形貌与所需分析的矿物部位进行对应点分析,因此其分析具有对应性强的特点,有利于对矿物组成中的不同组分进行化学成分分析,对于有标样矿物分析,具有精确度高,分析点准确的特点。但对无标样或其成分中含Na或Na被Ca、Al、Mg、Cr、Fe部分置换的矿物则分析误差较大,难利用电子探针进行精确的定量分析。本文结合电子探针对硬玉NaAlSi2O6的无标样定量分析对硬玉做一些研究。无标样探针分析数据的修正原理硬玉的化学成分较简单,但其中元素的置换所引起的成分变化是研究翡翠类型的重要数据,为此需要大量分析数据…