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相似文献
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1.
MEMS光开关   总被引:14,自引:9,他引:5  
梁春广  徐永青  杨拥军 《半导体学报》2001,22(12):1551-1556
采用 MEMS体硅工艺 ,制作了三种结构的微机械光开关 :水平驱动 2 D(二维 )光开关、垂直驱动 2 D光开关和扭摆驱动 2 D、3D(三维 )光开关 .水平驱动光开关采用单层体硅结构 ,另外两种光开关都采用了硅 -玻璃的键合结构 .它们的工作原理都基于硅数字微镜技术 .这三种光开关均采用了静电力驱动 ,具有较低的驱动电压 ,其中扭摆式光开关的驱动电压小于 15 V.对于 2 D开关阵列 ,在硅基上制作了光纤自对准耦合槽 .对后两种光开关的开关特性进行了计算机模拟与分析 ,结果表明这两种光开关具有小于 1ms的开关时间  相似文献   

2.
MEMS光开关     
采用MEMS体硅工艺,制作了三种结构的微机械光开关:水平驱动2D(二维)光开关、垂直驱动2D光开关和扭摆驱动2D、3D(三维)光开关.水平驱动光开关采用单层体硅结构,另外两种光开关都采用了硅-玻璃的键合结构.它们的工作原理都基于硅数字微镜技术.这三种光开关均采用了静电力驱动,具有较低的驱动电压,其中扭摆式光开关的驱动电压小于15V.对于2D开关阵列,在硅基上制作了光纤自对准耦合槽.对后两种光开关的开关特性进行了计算机模拟与分析,结果表明这两种光开关具有小于1ms的开关时间.  相似文献   

3.
全光通信用MEMS光开关   总被引:9,自引:1,他引:8  
在简要介绍了硅微加工技术的基础上,详细介绍了微透镜和微反射镜两种MEMS光开关的结构和工作原理。从发展和实用的角度对典型的波导调制型MZI光开关和MEMS光开关的特性进行了比较,展望了MEMS光开关在未来全光通信中的应用前景。  相似文献   

4.
一种新型基于石英的热光型光开关   总被引:1,自引:0,他引:1  
一种采用基于石英的平面光波回路技术(PLC)制造的热光型光开关正越来越引起关注,它具有低耦合损耗、高稳定性及适于大规模集成等优点。首先描述了采用热光相移器构成马赫-曾德于涉仪(MZI)结构的热光型光开关,然后讨论2×2MZI热光型开关的工作原理及基本特性,最后介绍了由2×2MZI热光型开关单元构成的大规模光开关阵列以及一种采用悬梁式结构热光相移器的低功率消耗的光开关。  相似文献   

5.
基于MEMS的光开关技术研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
胡剑  李刚炎 《半导体技术》2007,32(4):342-344
介绍了光开关、MEMS和MEMS光开关的基本概念.基于功能实现,重点分析了二维和三维MEMS光开关的实现机理与特性.针对两者不足,研究了一维MEMS光开关.分析了MEMS光开关的驱动方式,并针对静电驱动、二维MEMS光开关,研究了MEMS光开关控制系统.  相似文献   

6.
时分复用光开关技术是光时分复用(OTDM)光纤通信系统与光纤网络的关键技术之一,主要对相移型光开关构成的全光解复用器和分插复用器的结构和工作特性进行综述.  相似文献   

7.
提出了一种基于光纤环的光缓存器的结构,对结合半导体光放大器作光开关的此结构的物理模型进行了详细描述,并根据此模型分析了其增益、噪声、信噪比等方面的特性.  相似文献   

8.
本文用有限差分光束传播法(FD-BPM)模拟并给出了基于理想克尔介质的弧形波导全光开关的开关特性曲线,分析了克尔介质中的非克尔非线性效应。用FD-BPM就非线性饱和以及背景吸收对弧形波导全光开关特性的影响进行了模拟,模拟结果表明,背景吸收和非线性饱和会减少弧形波导全光开关的开关次数,增加弧形波导全光开关的开关功率,导致全光开关的开关特性恶化。  相似文献   

9.
郭勇  黄永清  陈雪  任晓敏 《中国激光》2002,29(12):1093-1095
阐述了光纤光栅实现光开关的原理。从结构和材料两方面着手 ,采用掺镱的相位位移光纤光栅来降低对光功率的要求。应用传输矩阵法计算了相位位移光纤光栅的透射特性 ,表明相位位移光纤光栅用于光开关可降低光功率的要求。计算了不同抽运光功率下的消光比 ,结果表明利用掺镱的相位位移光纤光栅可以实现低抽运光功率的全光开关。  相似文献   

10.
石鑫  孙军强 《光电子.激光》2003,14(12):1263-1267
分析了通用改进扩展Benes型(GMDB)光开关结构的特性,提出了路由算法设计思路,并详细阐述了4×4GMDB光开关的控制和驱动电路设计。测试结果表明,设计的模块达到了控制的要求。  相似文献   

11.
微波陶瓷凝胶注模成型工艺研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
研究了微波陶瓷凝胶注模成型工艺,包括浆料制备,成型工艺及用微波介质陶瓷制备成介质柱谐振器,观察了介质陶瓷的微观形貌,用Hakki-colernan开式腔圆柱介质谐振法对其性能参数进行测量,并与用干压成翌壬艺制备的样品进行比较分析,得出用凝胶注模法用于制备微波陶瓷(Ba6-3x(Sm1-y Ndy)8+2x Ti18 O54),与干压法制备的样品有相当的介电常数,而无载品质因数值略高,且样品致密、缺陷少,组分更为均匀。  相似文献   

12.
采用传统固相法制备了Bi0.5(Na0.825K0.175)0.5TiO3-Ba(TiyZr1-y)O3 (BNKT-BZT)无铅压电陶瓷.运用XRD、SEM等技术表征了陶瓷的晶体结构、形貌、介电和压电性能.研究结果表明,在所研究的结构范围内,所有陶瓷样品都形成钙钛矿固溶体.陶瓷晶粒的尺寸随x、y适当的增大而增大,压电性能随x、y的增大先增大后减小,在x=0.05,y=0.2(摩尔比)时,压电常数d33=157 pC/N,介电常数εr=1 510.  相似文献   

13.
白融  赵麦群  范欢 《电子工艺技术》2012,33(2):71-74,105
研究了多元醇类溶剂及其复配物对Sn0.3Ag0.7Cu焊膏性能的影响。结果表明:四氢糠醇和聚丙二醇对冰白和水白松香都具有较强的溶解性。当四氢糠醇和聚丙二醇以质量比9:1复配时,获得的焊膏平均铺展率可达87%以上,焊点完整、饱满、无焊球和桥连等缺陷,储存时间较长,是一种综合性能良好的焊膏。  相似文献   

14.
采用共焦Z扫描系统,以λ=532nm.脉冲宽度0.7ns.重复频率15.79kHz的脉冲半导体激光器作为入射光源,研究了AgOx超分辨近场结构(SuperRENS)薄膜样品的非线性光学性质.实验获得了其三阶非线性折射率系数随入射光功率的变化曲线.并与Au,Ag薄膜作了比较.讨论了光致非线性变化过程。结果表明,在聚焦激光作用下.AgOx超分辨近场结构薄膜样品存在一相变点.即解析出纳米Ag颗粒,满足了产生局域表面等离子体的激发和增强效应的条件。  相似文献   

15.
采用共沉淀法制备了Zn2SnO4-LiZnVO4系纳米粉体,考察了液相掺杂LiZnVO4对材料微结构、湿敏性能的影响,分析了材料的复阻抗特性和频率特性。结果表明,适当的LiZnVO4添加量可明显改善Zn2SnO4-LiZnVO4系纳米材料的微结构和感湿特性。采用共沉淀法制备纳米粉体并使LiZnVO4液相掺杂为10%(摩尔分数),可使Zn2SnO4材料具有低湿电阻小、灵敏度适中的湿敏特性,频率特性表明该材料具有较好的频率响应。  相似文献   

16.
用sol-gel法在Pt/SiO2/Si基片上制备了未掺杂和掺杂Zn的钛酸锶钡(BST)薄膜。用XRD对BST薄膜进行了物相分析,研究了Zn掺杂对薄膜的表面形貌和介电调谐性能的影响。结果表明:室温下,随着Zn加入量的增加,BST薄膜的介电常数减小,介质损耗降低,介电调谐量增加。x(Zn)为0.025的BST薄膜具有最大的优越因子(FOM),其值为29.28。  相似文献   

17.
采用sol-gel法制备了La1-xSmxFeO3(x=0,0.1,0.2,0.3,0.5和0.7)系列纳米粉体,并对其微结构、电性能和酒敏性能进行了测试研究.结果表明:所有粉体为斜方钙钛矿结构,粉体的晶胞体积和晶粒尺寸均随Sm含量的增大而减小.除La0.2Sm0.7FeO3外,各元件的电阻随Sm含量的增加而增大.另外...  相似文献   

18.
采用熔体快淬法制备了纳米复合(Nd1-xPrx)9.4Fe75.6Ti4B10.5C0.5(x为0,0.2,0.4,0.6,0.8和1.0)合金薄带,研究了Pr对合金薄带结构与磁性能的影响规律。结果表明:Pr降低了合金薄带的晶化温度,使合金薄带晶粒变得粗大,不利于合金矫顽力的提高。Pr对合金薄带磁性能的影响不大,不同Nd和Pr比例的合金薄带在最佳热处理条件下,剩磁Br在0.86 T与0.90 T之间,内禀矫顽力Hcj在1 000 kA/m左右,最大磁能积(BH)max介于130 kJ/m3与136 kJ/m3之间。  相似文献   

19.
采用传统固相反应制备出了高压电常数的Ba(Ti0.8 Zr0.2)O3-(Ba0.7Ca0.3)TiO3 (BZT-xBCT)无铅压电陶瓷材料,研究了BCT含量对于体系结构、压电与介电性能的影响规律.结果表明,x=0.45~0.60时,BZTxBCT系统处于准同型相界附近,BZT-xBCT陶瓷时主晶相为钙钛矿相结构,当x>0.50时,出现少量的第二相CaTiO3.当x=0.50时,陶瓷的性能达到最佳,其介电常数ε、压电常数d33、机电耦合系数kp、机械品质因数Qm、频率系数Np分别为2 900,385 pC/N,0.456,124和2 740 Hz·m.由此可认为位于准同型相界附近的BZT-xBCT是一类很有前途的无铅压电材料.  相似文献   

20.
微波烧结Ba_(6-3x)Sm_(8+2x)Ti_(18)O_(54)陶瓷材料的初步研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
研究了Ba_(6-3x)Sm_(8+2x)Ti_(18)O_(54)(x=0.67,BST)陶瓷材料的微波烧结情况,从烧结特性、微结构与相组成及微波介电性能等方面对微波烧结的样品与传统工艺制得的样品进行了对比.结果表明, 与传统制备工艺相比,微波烧结BST陶瓷缩短了烧结周期,并促进了样品的致密化,其物相组成和传统烧结的样品没有区别,且晶粒细小分布均匀.微波烧结BST陶瓷可获得较优的微波介电性能:介电常数ε_r=82.89,品质因数与频率之积Qf=8 450 GHz(频率f=4.75 GHz),谐振频率温度系数τ_f=22.58×10~(-6)/℃.  相似文献   

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