触针式轮廓测量机构的动态分析及非线性误差的消除

在接触式轮廓测量仪中，性能优良的测量机构是实现高精度轮廓测量的关键。本文介绍了一种新型的十字片贫弹性支承的测量机构，建立了数学模型，对该机构的动态进行了分析，并得到触针测量力变化规律。同时，通过合理设计位移传感器的安装角度，消除了测量中的非线性二次项误差，保证了测量结果的真实性。     

消除传感器电桥非线性误差的方法

本文就传感器电桥检测中的非线性误差问题进行了讨论并给出了一种克服非线性的方法。     

用放大器反馈控制消除电桥非线性误差

采用放大器反馈控制法克服了传感器电桥的非线性误差,通过解析的方法找到了克服非线性误差的放大器反馈控制条件。在忽略放大器输入偏置电流和输入噪声电压的情况下,给出了四种校正电路中放大器失调电压对测量系统影响的输出表达式,并分析比较了每一种校正方法的特点,得到最佳的测量线路,使失调电压及其漂移的影响减小了5倍。本研究为传感器电桥测量系统设计中的放大器选择和测量方案的确定提供了理论指导。     

熔融沉积成型台阶正误差及其降低措施

针对快速成型时采用逐层叠加制造的基本思想,对成型时的台阶效应引起的正偏差进行了分析计算,得出了影响该误差的因素及其误差曲线图,提出了减小误差的方法.     

轴瓦壁厚自动测量分选机测量方法及误差计算

本文介绍了轴瓦壁厚自动测量的方法,全面分析了在该测量方法下所产生的各类误差及其规律,以及提高测量精度的方法和途径,为国内轴瓦壁厚自动测量向高精度迈进提供了有价值的经验。     

快速成型台阶误差分析及其降低措施

以FDM成型工艺程序为线索,分析可能影响FDM成型精度因素.研究了FDM快速成型原理导致的原理性误差,FDM快速成型是层堆积成型,成型件是层层堆积粘接而成,这就必然会形成台阶误差而影响成型件的表面精度.在分析台阶误差产生原因的基础上,找出影响台阶误差的因素及其变化规律,在此基础上提出减小台阶误差的措施.针对快速成型时采用逐层叠加制造的基本思想,对成型时的台阶效应引起的正偏差进行了分析计算,绘出了影响该误差的因素及其误差曲线图,供有关设计和制造技术人员参考.     

基于测量数据反演并联机床非线性位姿误差模型

利用最小二乘技术识别模型参数 ,将非线性问题作线性化处理 ,提出了一种基于测量数据反演非线性误差模型的建模方法。结合算例 ,指出了此类模型设计应注意的问题。五轴并联机床约束机构误差模型仿真结果表明 ,由此得到的误差模型精度高。利用所得模型对机床位姿进行补偿 ,即可提高机床沿该位姿方向的定位精度     

圆度误差的测量评述

介绍了几种典型圆度仪和圆度评定方法,分析了滤波对测量轮廓的影响,对圆度测量项目的细化和补充作了说明,给出了测头半径的选择原则。认为先进的计算机技术与圆度仪的配合使用可极大地扩展仪器的功能,提高测量的速度和准确度。附图３ 幅,表５ 个,参考文献３ 篇。     

测量仪表的非线性处理技术

介绍在汇编语言中进行非线性处理的编程技术。     

计量型原子力显微镜的非线性误差及轴间耦合误差的校准

本文研究了原子力显微镜的计量校准问题,建立了校准的数学模型,这个数学模型可以用于各种ＳＰＭ的校准中。对于位移轴的非线性误差和耦合误差进行了校准,给出了校准后残余误差的测量结果。并对一块经过ＰＴＢ检定的样板进行了测量,测量结果表明对于３００ｎｍ的台阶高度,测量念头平均为１．１ｎｍ。     

用CZ450齿轮整体误差测量仪测量斜齿轮螺旋角

用ＣＺ４５０齿轮整体误差测量仪测量斜齿轮螺旋角合肥电机厂（２３００１１）张尚瀛在新产品开发和精密机械修理中常常需要准确测绘斜齿轮螺旋角。在齿轮滚切加工中，由于挂轮的计算及选择错误，往往造成超常的大螺旋角误差。在ＣＺ４５０齿轮整体误差测量仪上测量这种齿...     

光电位置敏感探测器非线性误差校正方法研究

位置敏感探测器(PSD)以其分辨率高、时间响应性好的优点在光电检测领域得到了广泛的应用,但是PSD在生产过程中产生的非线性误差极大的影响了测量精度和范围,因此对PSD进行必要的非线性误差修正可以大大提高其测量精度和可靠性。     

基于LVDT的台阶信号拾取方法研究

大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域,以及正确设计传感器的安装角度等措施,有效地减小了零点残余电压的影响,并消除测量机构本身固有的二次项误差,提高了仪器的测量精度。实验表明,该仪器垂直方向测量分辨率可达0．5μm,重复测量精度为±0．015μm．     

接触式螺纹测量仪的六自由度位姿误差的测量与补偿

为了提高接触式螺纹测量仪的测量精度,通过深入的误差分析,提出了针对高精度接触式螺纹测量仪的六自由度位姿误差的一种新的误差测量和补偿的方法。设计了一套适用于螺纹测量仪的标准规,用于综合测量探针相对于螺纹专用夹具的六自由度位姿误差。利用参数已知的精密标准规代替参数未知的被测螺纹进行扫描测量,建立螺纹测量仪的误差综合测量方程组,并代入受六自由度位姿误差影响的扫描数据,解方程组反求出探针运动空间的六自由度位姿误差,然后,在不更换探针和专用夹具的情况下,对被测螺纹进行扫描测量,建立螺纹测量仪的误差补偿方程组,并将综合误差测量所得的相关误差参数带入方程组,求解出被测螺纹的理想轮廓信息,完成高精度接触式螺纹测量仪的综合误差补偿。     

非线性误差的连续模拟补偿

提出一种新的模拟信号非线性校正技术--连续模拟补偿法。文章阐述了连续模拟补偿法的工作原理，并以电桥测量和热电阻测温为例说明其具体应用方法。     

基于最小化灰度误差的非线性相位误差补偿方法

非线性相位误差是影响数字投影平面检测精度的重要因素,为了补偿数字投影系统中的非线性相位误差,对非线性误差的模型进行了研究与分析。根据误差模型中的高次谐波理论,构建了一个评价函数,利用此评价函数可以确定补偿之后的截断相位。首先,需要利用高步相移技术求出各谐波项的系数,然后通过相移公式求出实际的截断相位,最后,使用评价函数来求取补偿之后的截断相位。实验结果表明：此种误差补偿方法效果明显,将实际物体相位误差的平均绝对误差与标准差从0.027 31 rad和0.031 14 rad降低至0.008 71 rad和0.010 79 rad,极大提高了相位的精度。     

外球面球轴承成品外径尺寸测量及误差分析

通过对专用球面外径标准件的不确定度以及用D724仪比较测量球面外径尺寸的不确定度和测量能力的计算分析，得知对测量精度影响最大的是球面外径标准件的球形偏差，其次是温度；校准测量专用外球面外径标准件的最佳测量能力为0．5μm，D724仪的最佳测量能力为1．4μm，均能满足外球面外径测量精度要求。