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叙述运用ＣＷＣＯ２相干激光雷达测量运动目标速度的原理和实验装置，并给出了实验结果，测速精度为０．０１ｍ／ｓ速度分辨率为０．０５ｍ／ｓ，外场实验表明，对于漫射目标，作用距离２００ｍ。 相似文献
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叙述了激光干涉定位的原理及方法，定位精度可达０．０１μｍ，采用条纹细分技术进行微位移检测，精度为０．０１μｍ，并将上述方法用于物件平行度检测。 相似文献
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就水汽对光学元件的污染进行了定量的分析、测试．建立了水汽冷凝膜在５．５～７．１μｍ和１０．５～１２．５μｍ的波段的吸收模式．实验结果与理论计算相吻合，测试精度优于３％． 相似文献
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在ＰＳＤ光学敏感器系统用于空间飞行器交会对接中，进行了测量目标相对位置、距离和角度的理论与实验研究，测距精度为０．０２ｍ，方位角与俯仰角的测量精度分别为０．１７６°和０．１８２° 相似文献
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用于微光刻中的一种高精密对准工作台 总被引：1，自引：0，他引：1
采用短波长光源，制作小于０．５μｍ线宽的ＶＬＳＩ芯片，对准精度必须是０．１μｍ甚至更小。该报告介绍掩模对准台在机械方面的改进，诸如Ｘ、Ｙ向位移精度的提高，Ｚ向精度的实现和俯仰运动的控制。典型样机和高精密对准台已经生产出来。为了提高Ｘ、Ｙ向位移精度，工作台采用阻尼驱动机构，且采用一种线性模拟／数字游标信号的测量方法。实验结果从Ｘ－Ｙ工作台获得小于０．０２５μｍ的位移分辨率，无间隙，无滑行，且无滞后现象。 相似文献
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本文介绍单片机在双频激光干涉工件台位置显示和微动控制中的应用，由于采用单片机使激光工件台位置显示精度高，微动控制简单、可靠。显示分辨率０．０１μｍ，位置测量精度０．０２μｍ，测量最大距离３３０ｍｍ，（实际距离１００ｍｍ），微动距离５μｍ、１０μｍ、５０μｍ、１００μｍ四档。 相似文献
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本文介绍了ＤＹ－５型微米电子束曝光机的主要技术性能；最细特征线宽０．４μｍ，图形位置精度及拼接精度优于±０．１５μｍ；扫描场尺寸１×１ｍｍ＾２和２×２ｍｍ＾２；最高扫描速度１ＭＨｚ，可加工１００×１００ｍｍ＾２掩模版或Х７５硅圆片，给出了部分曝光试验结果。 相似文献
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本文介绍了用准波导耦合ｍ线技术测量聚合物薄膜厚度的方法。测量结果表明，薄膜样品厚度的误差为３．６２×１０＾－２μｍ。并对测量精度作了分析和讨论。 相似文献
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采用Ｓ偏振光和大入射角激光束干涉测量技术，检测ＬＳＩ圆片表面的芯片调平和调焦精度的方法已获得成功，在圆片上各层均能保持良好的调平调焦精度。这种检测方法的试验型，已实现了±１．０×１０＾－５的弧度调平精度和±０．１μｍ的调焦精度。 相似文献
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0.29—2.5μm波段晶体双折射率的连续偏光干涉测量 总被引：5，自引：2，他引：3
本文采用连续偏不干涉原理，对石英晶体在０．２９μｍ至２．５μｍ波段内双折射率值进行了测量。测量是针对光强极值点对应之光波长值进行，而不直接测量光强绝对值，从而避免了光源起伏以及材料中收等不利测量因素的影响，整个测量范围精度１０＾－５。 相似文献
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利用自制的激光波长计和相应的接口电路，在ＣＲ８９９－２１激光器上实现了钛宝石激光器０．９￣０．９５μｍ波段的波长自动扫描控制。实验结果表明，连续扫描宽度可达２００ＧＨｚ，波长连接精度好于±２００ＭＨｚ。这为０．９μｍ以上的分子高分辨光谱研究提供了必要的实验手段。 相似文献
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本文论述了简载Ｓ波段距离与距离变化率应答机（ＳＲＲＴ）的设计特点。该机与Ｓ波段地面站协同工作，为火箭提供精度分别为１０ｍ和每秒０．１ｍ的斜距与距离变化率数据，并具有从火箭发射遥测数据的能力。 相似文献
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介绍了一种新的可用于绝对距离测量的波长扫描光纤干涉仪，建立了测量系统及波长扫描的模型，分析了波长扫描的随机漂移对测量的影响，提出了对光源扫描性能的要求．实验结果表明，测量系统的精度可达到０．０５μｍ． 相似文献
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应用近红外分析技术检测烟丝水份 总被引：7，自引：0，他引：7
利用近红外分析技术检测物质成份含量，具有速度快、精度高、非接触测量等特点。由于水分子对１．９４μｍ红外辐射有明显吸收，而对１．８１μｍ红外辐射几乎不吸收，利用该特性研制了一种检测烟丝中含水量的仪器。该技术将光谱分析方法同计算机处理功能结合，测量精度达到１％。 相似文献
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采用伪距和伪距率的ＧＰＳ／ＩＮＳ组合，由于卫星历误差，传播误差，仪器误差及人为干扰（ＳＡ）等因素的存在，使组合系统精度不可避免地受到严重影响，本文提出采用距率双差和伪距双差为观测向量的组合方法，并推导了系统的观测方程，采用低成本ＩＭＵ和ＧＰＳ组合的实验结果表明，这种方法可有效地消除上述主要误差的影响，组合系统的姿态速度位置精度分别小于０．１１°，０．１ｍ／ｓ，０．３ｍ（ＲＭＳ）。 相似文献
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