数字波面干涉仪测试光学材料均匀性

本文叙述了一种不受干涉仪系统误差及试样加工误差限制的测试光学材料均匀性的方法。借助于电子计算机,通过对四张干涉图的分析与处理,可以精确计算不包括线性变化的折射率偏差及厚度偏差。给出了两块玻璃的测试结果,并进行了测量精度的分析,对25mm厚的玻璃,精度为4×10^-7。     

用于光学表面检测的数字波面干涉仪

本文讨论了最近研制成功的用于光学表面检测的数字波面干涉仪。利用实时位相检测技术可以高精度重构出数字波面,叙述了仪器的光学系统,电子学接口和软件。该仪器可测定光学平面和球面的面形,精度分别达到λ/40和λ/20,由终端输出面形的数据。     

新型数字波面斐索干涉仪的设计

介绍结构简单的激光斐索干涉仪设计原理及方法,该仪器以其设计思想新颖、单幅图像实时处理、计算机对干涉条纹处理并实时显示计算结果、数字显示被测光学零件的面形信息,相对于传统测量方法具有无以伦比的优势.同时简单介绍对干涉条纹的处理思路,将实用的图像处理算法如图像滤波、二值化、细化等方法用于采集到的干涉条纹处理,为后续准确确定条纹位置、条纹间距、条纹变形作前期准备工作.     

SPG-1型激光数字波面干涉仪干涉系统的设计、制造与装调

已经研制成功的SPG-1型激光数字波面干涉仪是激光技术、微机技术与干涉仪相结合而形成的一种新型光学面形的测试仪器。本文概述该仪器的设计指标及其依据,干涉系统的设计要求,设计结果,关键干涉元件的制造以及干涉系统的装调。仪器的最大口径为φ80mm,最高测量精度为λ/40,分辨率为λ/100,球面测量范围为500mm曲率半径以内.可以测量A级光学样板。干涉系统应有低的噪音、高的干涉条纹对比度及条纹亮度可调等要求。所采用的菲索型与泰曼型的干涉系统中,引入偏振元件而形成偏振干涉系统较好地满足了上述要求。仪器的自检误差优于0.04λ。为了使SPG-1型数字干涉仪及早产品化,提出了一个组合式的设计方案。     

移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题

光学件波面测量在光学加工业中有着大量的需求,近年来相关测量技术发展非常迅速,其中移相技术是较典型的代表,发展日趋成熟并得到了广泛应用.以PG-15型平面干涉仪为硬件基础,采用移相技术,解决了其中移相值标定、相位解调、误差处理中的难点,研制了数字波面干涉仪.对干涉仪中的这几个关键技术问题进行了讨论,并给出了相应的解决方法.     

用于天文非球面镜检测的计算全息数字波面干涉仪

本文介绍了南京天文仪器研制中心正在开发研究中的计算全息数字波面干涉仪,这种干涉仪将计算全息技术、补偿镜干涉技术和数字波面干涉技术有机地结合在一起,能够实现用于天文望远镜光学系统中各晨球面镜的自动、实时的高精度检测。     

激光干涉仪数字有理化的精度分析

在激光干涉计量中,常用选代法进行数据处理。本文重点提出一种较全面的对迭代法进行精度分析的方法。本文通过精度分析,提出了一种简单而又有较高精度的有理化方案,该方案特点为第三级采用具有小数的活拨码。文中精确计算了小数拨码环节的运算误差及其它系统误差,并特别分析了被人们忽略的级间重叠,对精度的较恶劣的影响,提出了解决级间重叠,以提高有理化精度的措施。     

双频激光干涉仪中的数字相位计设计

基于Altera公司FPGA芯片,提出了一种基于双频激光干涉仪系统中数字相位计的实现方法。该相位计用于测量系统中被测信号和参考信号之间的相位差角度,间接测量激光干涉仪的光程差信息。被测信号经过光电接收器以及A/D模数转换成数字信号送到FPGA芯片中,与FPGA内建的查找表参考信号做正交相关法解调运算,得到一组X-Y值,再利用CORDIC算法计算arctan函数获取相位差,最后计算出干涉仪的光程差,算法的全过程使用FPGA硬件实现。实验结果表明,该相位计使双频激光干涉仪的相位差测量精度在0.01°以内。     

激光球面波干涉仪

阴影检验法在磨制天文镜面的工艺中被广泛的应用着。它具有高灵敏度、设备简单、检验快速等优点,但它的最大不足之处是不能直接用来定量,只能通过阴影图知道镜面上那些部位高,那些部位低,高低的量只有一个比较概念,而无数值标记。因此人们在看到阴影图时只能凭“经验”判断其是否达到了图纸要求。这样检验结果往往因人而异。     

激光干涉仪数字测角的新方法及其应用

介绍了一种基于迈克耳孙干涉仪的精密角度测量系统,该系统利用迈克耳孙干涉仪在几何量测量中的干涉测量技术,通过转换将角位移转换为可以反映干涉光路中光程差变化的线位移,并通过相应电路对干涉条纹进行处理,从而实现了对大转角的精密测量。与以往类似系统相比,该系统具有结构简单、误差恒定、测量精度高、测角范围大、易于数字化等特点。同时,文章还对系统的构成原理、设计注意事项和精度等作了有关的理论分析。     

变剪切干涉仪及干涉图形的波面转换计算

本文首先对剪切干涉灵敏度进行讨论,得出宜用变剪切干涉仪进行检测的结论。通过各种形式的变剪切干涉仪,确定了立方棱镜变剪切干涉仪是适用于实际检测的。利用推导出的剪切波面参数之间的关系,得到了这种棱镜参数的选择公式。用这种干涉仪,成功地进行了实际检测。在波面重构方法中,首次引入最佳参考球的概念,得出合理的定量计算结果。通过对剪切棱镜的误差分析,给出该干涉仪精度为λ/30的结果。     

半导体激光调频干涉仪

分析了半导体激光调频干涉仪的测量原理,介绍了几种主要应用。     

激光直线度干涉仪浅析

激光直线度干涉仪是高精度的直线度测量仪器,其测量附件有好几种。本文重点介绍了几种激光干涉仪直线度测量附件,分析了它们的优缺点和技术特点,并提出了直线度测量容易忽视的几个问题。     

5525B激光干涉仪

一、用途5525B激光干涉仪可用于测量直线和角度,它可在普通工厂环境中,在60米的工作范围内进行测量,并用数字显示,其读数的分辫率为0.01微米,可准确测量到每米0.5微米。各机床厂应用HP激光干涉仪作精密测量较正机床,所需     

激光干涉仪的应用——激光干涉仪技术综述之五

激光干涉仪具有测量范围大、精度高等特点,在各个领域得到广泛应用。本文介绍了激光干涉仪在数控机床检测、纳米测量、激光跟踪仪等方面的具体应用。     

激光折射率干涉仪数据处理系统

本文介绍了用激光干涉仪直接测量空气折射率的数据处理系统。文章论述了测量空气折射率对精密干涉计量的重要作用;介绍了激光折射率干涉仪工作原理;详细推导了数据处理系统公式来源和简化公式的建立;提出了一种为完成上述数学运算而设计的既省设备又有效的逻辑电路;最后对简化式进了精度核算。图4,参4。     

双腔激光干涉仪

文章针对检测长激光器光谱特性的高分辨要求,研究了一种采用双腔的高分辨率激光扫描干涉仪,大大缓和了被检光源的单色性要求,多倍提高了分辫率。文章中举例设计了双腔激光干涉仪。     

纳米激光偏振干涉仪

本文介绍的干涉仪属于毫微米级测量仪，其分辨率为０．１ｎｍ（即０．０００１uｍ）。发展超精密加工工艺，很需要开发各种纳米级测量仪。     

激光干涉仪的信号处理系统——激光干涉仪技术综述之三

介绍了激光干涉仪的信号处理方法,分析了单频激光干涉仪中消除直流漂移的方法,双频激光干涉仪中的减法器、频率解调、相位解调技术的特点。