单面多层结构硅微压传感器的研制

提出并利用“掩模－无掩模”腐蚀的方法形成了一种新型单面多层结构的硅微压传感器，该传感器针对用体微机械双面加工的硅压阻式压力传感器的不足，从结构上给予了改进，文中给出了理论分析和实验结果。     

多路传感器系统的自补偿和自校准技术的研究

分析了多路传感器系统的自补偿和自校准技术的发展趋势，并根据国内测试校准动态压力传感器的要求，对自补偿和自校准技术加以研究，而提出了适合应用的解决方案。     

一种两相流浓度测量传感器的仿真研究

在石油,化工等诸多生产领域的生产过程中,两相流各种参数的在线实时测量与控制是生产稳定可靠运行的重要保证,其中相浓度就是一项十分重要的参数;为了避免电容传感器结构对相浓度的影响,设计了一种同轴电容传感器,利用有限元分析软件ANSYS 对其进行了分析,在不同浓度相同流型及相同浓度不同流型两种实验方案下进行了大量实验;结果表明,该结构传感器具有均匀的敏感场分布和较高的灵敏度,而且该结构传感器电容值与流型无关,只与浓度变化有关;因此该结构传感器可应用于气/液、液/液两相流浓度参数检测,具有广阔的应用前景.     

桥式硅压阻器件在气压测量中的应用

介绍了桥式硅压阻器件的工作原理、性能指标和工作特点。通过设计实例说明了压阻器件的应用方法。试验证明:这种气压器件精度高、测量范围宽、体积和普通IC芯片相同、价格低,可以广泛应用在各种气压测量和控制领域。     

硅压阻式压力传感器的温度补偿

分析了硅压阻式压力传感器的温度误差来源，给出了通过长时间实验的温度与传感器输出电阻的数据，提出了对此类传感器温度误差的测量和修正方法，从而保证此类传感器在大温度范围内得到高精度使用。     

用于海洋测量的化学和生物光纤传感器􀀁

近几年来, 海洋传感器的发展特点之一是把许多其它科技研究领域的新成就引入到海 洋监测领域, 融入海洋的特色和满足海洋测量的需要, 形成新的高技术传感器 化学和生物 光纤传感器就是其中之一& ‘一? 〕 这种传感器借助于成熟的光纤导波技术和光电子技术, 能对 海洋温度、压力?? 深度? 、盐度、溶解氧的浓度、( ) 值、叶绿素和藻胆蛋白的类型和浓度、悬浮 物含量、黄色物质的浓度、石油污染物的浓度、微量重金属?? ?+ , , ? , , . , , / , 0 1 等? 的种类和 含量等进行现场测量 光纤传感器具有很多优点2 ?? 3? 现场测量, 不需要对样品提纯, 不用消 耗其它试剂, 耗能低 ?? !? 信号的远距离传输 光纤的光损耗极小, 光纤可以很长, 测量信号可 以传输很远 ?? #? 测量仪器水下电无源 可以把仪器的电源器件留在船上或浮标上, 只留光纤 传感头在海水中工作 ?? 4? 抗电磁干扰强 光纤是一种电介质, 它的工作方式是根据光的导波 原理, 所以光纤传感器不受电磁干扰的影响 ?? 5 ? 小型化 光纤细小, 光纤传感头的结构简单、 紧密、牢固, 灵活多变 ?? 6? 光纤的基质材料是石英玻璃, 耐化学腐蚀性强7 ?? 8? 光纤传感的原 理是测量光的吸收、散射、荧光等光学物理量, 所以测量的精度非常高, 准确可靠, 响应速度 快 ?? ?? 利用现有的通信技术, 多个光纤传感器可以汇集到一个信号处理中心, 能很方便地构 成光纤传感器阵列, 便于传感器的集成化 ?? %? ? 光纤传感器在海中的布放深度可以灵活的调 节, 可以方便地得到海洋信息的剖面, 光纤传感器的费用不高 下面着重介绍国外最 近几年在化学和生物光纤传感器研究领域的一些新情况, 包括主要传感器的结构原理和潜 在的应用价值等     

半导体高温压力传感器的研究

介绍多晶硅压力传感器，由于采用二氧化硅介质膜作应变电阻之间的隔离，因而提高了传感器的工作温度。实验表明，该类传感器具有灵敏度高，精度高、温度特性好、工作温限高等特点。     

固态压阻传感器在水位差测量中的应用研究

水位差测量在工业上有着广泛的应用,本文介绍了固态压阻传感器水位差测量系统并对其工作原理及测量电路进行分析和试验,最后给出了该系统可实际应用的结论。     

硅基TPMS集成传感器研究

本文介绍了一种应用于轮胎压力监测系统(TPMS)的传感器芯片的设计与制作.该传感器芯片集成了压阻式压力传感器和单电阻结构的温度传感器,根据量程需要,硅杯膜的厚度与面积比比较大,所以高应力区向膜外扩展,通过改变桥臂电阻的摆放位置和形状,提高了传感器的灵敏度,并且通过采取高浓度注入电阻拐角区域,得到了较好的零点输出.     

硅压力传感器版图的计算机辅助设计

介绍利用ＡｕｔｏＬｉｓｐ语言编程实现硅压力传感器版图自动生成的ＣＡＤ系统，并给出Ｃ型压阻式压力传感器版图的设计实例。     

基于硅谐振压力传感器的大气数据系统的实现

详细介绍了Druck RPT 200型硅谐振压力传感器的工作原理,阐述了大气数据系统的结构、建模及硬件实现等研制过程;该系统采用Druck RPT 200型硅谐振压力传感器替代原振动筒式压力传感器测量压力,并采用小型单板计算机作为大气数据系统的嵌入式计算机,实现高度、空速和马赫数等参数的计算,并由显示器实时显示;该大气数据系统体积和重量仅为原系统的1/10,并具有高精度、高分辨率,高稳定性和高重复性的特点。     

人体压力分布测量及其传感技术

体压分布测量系统是测试病人坐卧时,人体与接触面之间压力的可视化工具.介绍了人体压力分布测量系统的一般结构,对其关键点--传感器技术作了较为详细的叙述.它们分别是电容式压力传感器;用电阻油墨制成的电阻式压力传感器阵列;压电电阻传感器等.有针对的介绍了国外三种典型的人体压力测试产品,Xsensor、Tekscan和FSA;论述了它们的主要特点及优缺点,并对其主要性能作了对比.最后介绍了自行设计的体压分布测量系统,并给出了实测结果.     

硅-蓝宝石压力传感器温度补偿研究

针对硅-蓝宝石压力传感器在测量过程中容易受温度影响的问题,提出了一种基于串并联恒定电阻法和分段插值法的温度补偿方法;从硬件补偿电路和软件补偿算法两个方面论述了补偿方法的原理及实现方法,并通过实验验证了该方法的可行性.实验结果表明,最终制成的硅-蓝宝石压力传感器最大相对误差为0.357％,综合误差小于0.129％.     

测量海水压力的传感器

本文介绍了海水压力传感器的原理、结构及高准确度、耐腐蚀等特性,可用于海水深度及舰艇位置测量、有广泛应用前景。     

小型化电容式压力传感器及变换器

介绍了一种新型结构的电容式压力敏感元件及其信号变换器,给出了敏感元件与变换器联合测试结果,并对变换器的工作原理作了较详尽的分析.非线性误差大是电容式压力传感器的主要误差,通过在变换电路上采用一种方法可以很好地解决这一问题.此方法具有非线性纠正能力强、调试方便的特点.该电路特点是精度高、分辨率高、动态响应快、低功耗.整机表现出很高的时间稳定性.     

扩散硅压力传感器的高精度误差补偿算法

扩散硅压力传感器的传输特性受温度影响较大,必须采用某种手段将传感器的输入压力与温度进行解耦,从而实现对压力传感器输出的有效补偿,进而得到准确可靠的压力测量值.文中分析了一般扩散硅压力传感器的误差组成,针对误差提出了一个简单而又高精度的补偿模型,建立了有效算式,最后通过实例验证了算法的正确性,其精度可达到0.1％FS以下.     

一种集成式多参数硅微传感器

为了实现小体积多参数的测量,提出一种单片集成多功能传感器.该传感器包括压力、温度和湿度传感器.各部分分别基于半导体压阻效应、电阻迁移率变化、极板间电容变化为原理制作而成.该传感器采用n型(100)基底,利用体硅和面硅工艺加工而成.测量电阻通过离子注入B 形成扩散电阻.为减小各参数间的相互影响,压力传感器的测量电阻布置于[110]晶向,测温电阻沿[100]晶向布置.温度输出信号可以实现对传感器中压力输出时温度漂移的精确补偿.芯片大小为5mm× 5 mm.试验表明传感器具有良好的线性,小迟滞,较高的灵敏度.     

微型真空力敏器件的研究

本文首次用电荷模拟法计算了真空微电子力敏传感器的场致发射阴极与阳极间的电场分布,同时计算了<100>晶向的方形硅薄膜受压形变与压力的关系,进而得出了这种传感器的电流-压力曲线.还做了水槽模拟电场分布的实验,理论与实验符合的很好.