亚微米电子束曝光机工件台控制系统

激光工件台是电子束曝光机关键部件之一。它主要任务是完成图形的拼接。本文描述双频激光干涉仪为测量系统的计算机控制的数字伺服系统以及真空条件下的Ｘ－Ｙ工件台。该系统用于亚微米圆形矢量扫描电子束曝光机中。     

电子束曝光机激光工件台系统研制

介绍了nm级电子束曝光机激光定位精密工件台系统的结构组成、各部分技术措施及总体性能指标。该工件台采用HP5527激光干涉测量系统,测量分辨率达0.6nm,结构上成功将导向与承载分离,对承片台、机械手等进行重大创新。无论是整机性能还是关键技术单元均处于国内领先水平,是一台性能优良、高精度的电子束曝光机工件台。     

基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器设计

基于激光干涉仪的精密工件台是电子束曝光机的关键设备。为了改进工件台控制器的运算速度．设计了一种基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器。本控制器由上位机接口、激光干涉仪测量系统接口、电机控制接口、手动面板接口和主处理器组成,以美国Xilinx公司Spantan3系列的FPGA芯片XC3s400为核心。实现控制器与上位机、激光干涉仪测量系统、伺服驱动系统、手动控制面板之间的数据交换和指令传递。完成工件台的精确移动。满足电子束曝光的定位精度和拼接精度的要求。     

基于FPGA的电子束曝光村工件台控制器设计

基于激光干涉仪的精密工件台是电子束曝光机的关键设备。为了改进工件台控制器的运算速度．设计了一种基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器。本控制器由上位机接口、激光干涉仪测量系统接口、电机控制接口、手动面板接口和主处理器组成,以美国Xilinx公司Spantan3系列的FPGA芯片XC3s400为核心。实现控制器与上位机、激光干涉仪测量系统、伺服驱动系统、手动控制面板之间的数据交换和指令传递。完成工件台的精确移动。满足电子束曝光的定位精度和拼接精度的要求。     

电子束曝光系统中精密工件台的测量系统

介绍了电子束曝光技术的原理。根据精密工件台对测量系统的需要,设计了三轴工件台测量系统布局方式,并简单介绍了激光干涉测量系统所需元器件数量的计算方法。重点讨论了双频激光干涉测量原理、双频光束与运动方向敏感性的关系以及读出装置信号处理方法。在此基础上,对研制的电子束曝光系统精密工件台进行了直线性和垂直性实验测试,其测量分辨率达到0.6nm,测量重复性精度达到±0.06μm,测量绝对误差达到0.011μm。结果表明,采用双频激光测量系统可确保工件台系统测量和定位准确性。     

电子束曝光机(三)

1、引言 上一讲已经说明了组成电子光学镜筒的若干部件的特性。这个电子光学分系统加上样品工件台,电子束控制电路,计算机和真空系统,电源等一些支持分系统就组成了一台完整的电子束曝光机。这些作图分系统可以几种不同的方式设计和使用,随机器使用的目的而异。本讲将论述电子束曝光机采用的几种形式以及相应的作图和计算机控制模     

激光定位工件台长度测量的有理化电路

在激光干涉测量的数据处理中,常用迭代法对测量数据进行有理化(指小数有理化),本文讨论迭代参数的设计,并介绍一种用于电子束曝光机双频激光定位工件台中长度测量的有理化电路。     

环境因素对微纳加工中精确定位影响的研究

以双频激光干涉仪在电子束曝光机精确定位中的运用为例(其具有典型的代表性),研究环境因素对微纳加工中精确定位的影响,并针对温度是其中影响最大的因素,提出了一种实时温度补偿方法,修正了测量结果由于热膨胀不能真实反映工件台位置带来的定位误差.     

电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析

介绍了电子束曝光机的一种新型精密工件台,在结构上成功地将工件台的承载力与导轨的导向作用分离开来,极大地提高了工件台的运动精度和运行的平稳性。论述了精密工件台的结构设计要点、几何精度以及达到的技术指标。     

亚微米电子束曝光机镜筒光路与结构

介绍了亚微米电子束曝光机光路与结构设计，该电子光学系统采用透镜内偏转设计，系统象差小，偏转灵敏度高，工件面上电流密度大，通过调试和使用，电子束流、最小电子束斑直径等主要设计指标均达要求。     

基于激光跟踪仪的转台系统几何误差检测

转台系统是多轴机床的基本组件,因此转台系统的几何误差检测对于多轴机床的误差补偿有重要意义。提出了一种基于激光跟踪仪的转台系统几何误差检测方法,利用齐次坐标变换建立转台系统的误差模型,并给出几何误差与空间误差之间的关系。利用激光跟踪仪检测转台上不共线的三个点的空间坐标并得到各点的空间误差,再逆用误差模型,建立了包含六项几何误差的方程组。求解方程组,获得了转台系统的六项几何误差的解析表达式。将检测方法应用于某转台系统的几何误差检测,并通过对比实验证明了该方法的有效性。     

基于激光跟踪仪的机床导轨系统误差检测

针对机床导轨系统的误差补偿问题,提出一种基于激光跟踪仪的机床导轨误差检测方法。利用齐次坐标变换的方法建立导轨系统的误差模型,给出6项原始误差与空间误差的关系。在导轨系统的运动平台上选取不共线的3点,并利用激光跟踪仪检测出3点的空间坐标,然后逆用导轨系统误差模型,建立包含所有机床导轨系统原始误差的方程组,进而求得所有空间误差。实验中,分别利用误差检测方法和传统九线法检测导轨系统的偏摆误差,二者的检测结果一致性非常好,且最大差异只有0.74″,证明了该方法的有效性。相对于传统方法,基于激光跟踪仪的机床导轨误差检测方法操作简单、易于实现。     

Image Compression Based on Multistage Vector Quantization

This paper presents a new three-stage vector quantization system for the compression of images. It uses some simple schemes including error block classifier, search order coding (SOC), and index vector coding. The error block classifier preserves the edge blocks and discards the psychovisually redundant texture blocks in the last stage. The index vector coding encodes the combination of quantization indexes of the last two stages, and the SOC is used for encoding the quantization index of the first stage. The proposed system can achieve better compression performance than the conventional multistage vector quantization systems.     

块处理Kalman算法及其在系统辨识中的应用

Kalman滤波器能以自适应的方式精确地辨识一个系统,但在通信等应用领域,Kalman系统辨识的意义往往在于求其逆系统并用作均衡等后级处理。由于求逆算子的敏感性,估计结果中小的误差也可能造成均衡器性能的显著损失。本文在研究Kalman估计的各种噪声抑制结构后提出一种块处理Kalman算法,该算法在静态或缓变系统中显示出比传统逐符号处理Kalman算法更好的估计误差的性能(误差功率与块处理长度成反比),而且其结构简单,易于实现。     

工件台振动低敏感光刻系统协同优化方法

计算光刻是提高光刻成像性能的有效方法。但是，大多数计算光刻技术建立在理想光刻系统下而忽略了系统误差的影响。系统误差中的工件台振动会导致光刻图形误差增大和工艺窗口下降。因此，必须要降低工件台振动对光刻性能的影响。建立了一种对工件台振动低敏感的光刻系统协同优化方法。首先利用Zernike多项式表征光源来降低算法计算量并提高光源优化自由度。然后创建一项涵盖工件台振动影响的综合评价函数。最后采用基于梯度的统计优化算法建立优化流程。14 nm节点一维掩模图形仿真表明极端工件台振动下，该方法的特征尺寸误差降低28.7%，工艺窗口增大67.3%。结果证明该方法可以有效降低工件台振动敏感度并提高光刻工艺稳定性。     

Synchronous mirror delay for multiphase locking

A clock generation circuit having the function of multiphase locking was designed using the synchronous mirror delay (SMD) scheme. The internal clock can be synchronized to the external clock with intended phase difference. The synchronizing error of the clock generation circuit is reduced below the delay time of unit delay stage by compensation characteristics of detecting circuit in SMD. A 32-M double data rate (DDR) SRAM including the clock generation circuit is fabricated using 0.13-/spl mu/m CMOS technology. To measure the synchronizing error of the clock generation circuit, the test elements group (TEG) system is designed and fabricated with the main system. The synchronizing error of the clock generation circuit is far smaller than the delay time of unit delay stage at zero phase locking and similar to the delay time of unit delay stage at multiphase locking.     

光刻机主从滑模同步控制系统设计

针对光刻机掩模台与工件台的运动同步性问题,采用主从控制结构,设计了滑模同步控制系统.直线电机和音圈电机构成粗动-精动双执行器结构以保证音圈电机不会达到位移饱和.在常规PID控制系统基础上增加了掩模台精动滑模同步控制器.根据扫描周期内掩模台和工件台的运动特点设计了时变滑模面,在同步性要求很高的曝光扫描时间段内逐渐增大时变...     

直线导轨四自由度同时测量方法的研究

提出了一种基于半导体激光单模光纤组件同时测量直线导轨四自由度误差的新方法。以单一准直的激光束作为测量基准,用角锥棱镜和分光器分别作为直线度误差、角度误差测量的敏感器件,实现了水平和竖直方向直线度及俯仰角、偏摆角四个自由度误差的同时测量。分析了系统的测量原理,进行了稳定性、重复性以及与美国API 5D测量系统比对实验,理论分析和实验结果表明,系统测量直线度的分辨率小于0.1μm,角度的分辨率小于0.5″,在测量距离为2 m的条件下,直线度、角度测量精度分别为±1.0μm/m,±0.5″。测量方法具有结构简单、移动部分不带电缆和现场测量方便等优点。     

上行链路MC-CDMA系统并行干扰抵消接收机的改进

介绍了上行链路MC-CDMA系统的一种初级采用线性MMSE检测的PIC多用户接收机。为了减小初级判决不精确带来的误差传播,提出了一种新的基于部分并行干扰抵消的多级PIC接收机结构,他是通过每级乘以一个不同的部分相消因子实现的。在不考虑信道估计误差的情况下,仿真了上行信道不同用户数、不同部分相消因子对改进的接收机性能的影响。仿真结果表明改进的接收机具有更好的误码率性能。     

基于激光雷达的多帧联合目标跟踪系统

本文讨论了利用激光雷达与检测前跟踪算法进行室内行人跟踪,实现监测室内人群社交距离的探测系统。激光雷达距离分辨率高,定位误差小,目标探测时间间隔小,很适用于对轨迹不确定的行人进行跟踪。本文所用检测前跟踪算法分为三步,首先利用历史数据所建杂波图滤除固定物杂波。其次利用多帧检测算法得到时间窗内的目标轨迹段,以此滤除随机噪声产生的虚警点,提升检测效率。第三步利用轨迹关联算法,将各个时间窗内的轨迹片段相互关联,得到完整的行人轨迹,从而增强机动目标与相互临近目标的跟踪效果。实测实验表明在激光雷达跟踪多个目标时,其跟踪精度在10~15cm,多次实验均未出现目标丢失或虚假轨迹,较好地完成了室内行人的检测与跟踪。