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本文根据气体分子碰撞理论,讨论了油蒸汽流泵的蒸汽射流中起抽气作用的油蒸汽分子在流动过程中与空气分子之间的碰撞次数。求出了泵的抽气量与它所需的各喷嘴蒸汽喷射量之间的数量关系。 相似文献
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本文讨论了蒸汽射流中被抽气体分子浓度和蒸汽流压力的变化情况。根据斐克第二定律的扩散微分方程式,导出了油蒸汽流泵的抽速计算公式,进而求得了第一级喷嘴直径计算式。用文中的公式对几种油扩散泵的抽速和第一级喷嘴直径等参数进行了验证计算,其结果与这些泵的实测值或实际使用值接近或相同。 相似文献
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油蒸汽流泵临界前级压力的定义的修改建议夏正勋(兰州真龙真空设备公司)按照气体动力学理论,文[1]导出了油蒸汽流泵(油扩散泵,油扩散喷射泵)扩压器喉部蒸汽射流的临界压力的计算公式式中P0——油锅中油蒸汽的压力,PaK——油蒸汽的绝热指数d2——喷射喷咀... 相似文献
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Ⅲ蒸汽流真空泵 这类泵工作基于工作液的蒸汽流所产生的抽气作用。蒸汽流在喷咀的出口具有很高速度,携带被抽气体的分子。蒸汽流系有喷射和扩散作用。 扩散泵可以得到很高的抽速,并保证产生极低的极限压强。这类泵工作必须有予真空,因此,扩散泵工作的同时,常常串连回转泵以保证被抽气体得到排除。 扩散泵有一个水冷壁和底部封闭的圆筒形泵体,其内装有带喷咀的汽导管(图14),工作液注入泵体底部(泵底下装有汽锅)。通常是用装在外面的加热器来加热,工作液蒸汽沿着汽导管上升至喷咀,并以很高的速度从喷咀喷出,当汽流与水冷壁接触时便冷凝,而工作… 相似文献
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通过对油扩散泵抽气速率、气体分子平均热运动速度和分子流态下气体流导的分析,指出油扩散泵对不同气体的抽气速率具有选择性,给出了泵对不同气体和空气抽气速率比值的计算值,同时指出电离规的规管常数与气体种类有关。 相似文献
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在泵口压强为10-4~10-3托时,油扩散泵的抽速明显下降,而扩散喷射泵(油增压泵)尚未有效地发挥作用,形成薄弱区段.因此研制在高压强端抽气能力较强的油扩散泵,将能弥补这段不足,从而为真空应用设备在高压区段大量排除气体,提供理想的抽气设备. 相似文献
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《真空科学与技术学报》2017,(8)
在入口管路束流效应和涡轮端盖反射作用的双重因素影响下,以纯分子流态经泵前入口管道流向涡轮分子泵环形一级动叶列抽气面处的气体分子,其入射密度是不均匀分布的。本文基于自由分子流态基本假设,建立入口直圆管道计算模型,采用试验粒子蒙特卡洛方法,利用Molflow+软件,模拟被抽气体分子经泵入口到涡轮叶列抽气面的飞行过程及行为;数值计算得到气体分子到达涡轮转子一级动叶列入射平面的密度分布和气体通过入口管道的传输几率,并分别经回归分析拟合给出二者的计算公式,可为涡轮分子泵抽气性能的后续研究提供更精确的理论数据;算例证明,以此分布计算分子泵一级动叶列的正向传输几率,比采用均匀分布假设的积分中值法的计算结果偏小。 相似文献
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JK型真空机组主要由机械真空泵和油扩散泵组成,是高真空的获得设备。目前,在科研单位、学校、企业等都得到广泛应用。我厂从1977年起有14台JK──10(JK-200A)真空机组用于生产。 JK型真空机组工作时,机械真空泵是做为前级泵。在扩散泵工作前,使系统和扩散泵内达到一定的预抽真空度(≤5×10-2托)。在扩散泵工作中,把送到排气口的气体抽出泵体。扩散泵是获得高真空的主要设备。扩散泵加热后,泵内油蒸发,油蒸汽连续不断沿导流管经过备级喷阻得到高速蒸汽流。被抽容器的气体,由进气口扩散到蒸汽流中,即被高速蒸汽流迅速带走。蒸汽与其夹带的… 相似文献
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假设扩散泵的性能是以工作液的分子和被抽气体之间的碰撞为根据,通过一些合理假设,按照波耳兹曼方程可以推导出抽气作用方程。抽气作用方程可以变换成二阶偏微分方程,其泵体的形状可作为边界值问题,只有通过扩散油气理论,才能提出真正有实际价值的边值问题。能够用公式表示出来。对其求解有可能确定扩散泵壁形曲线对抽速的影响。 抽速方程式的推导 假设分子间的碰撞作为扩散泵抽气作用的基础,看来似乎是明显的。然而问题是碰撞的影响如何处理。从理论上来说,波耳兹曼方程对该问题是可用的,但是由于两种混合物(被抽气体和工作液蒸汽)和边界条… 相似文献
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介绍了用于扩散泵低压端双级径向流分子泵详细结构、性能预示及性能测量。性能预示的基础是自由分子流和扩散反射的概念。就现有设计所采用的叶片与环的厚度值来讲,我们认为必须考虑到这些厚度对于泵性能的影响。预示了压强比及速度系数,几乎与转子速度成指数关系并取决于前级泵抽速及气体载荷的程度。 这次研制的泵,转子转速每分钟为3400转,预示着它的抽速大约为作为前级泵的扩散泵对于氮和空气的抽速的14及10倍。预示的性能大体上在实验误差范围内与测得的性能是一致的。 如果人们想在较高的流率下设计适度的压强比,为了(a)对于给定的系统医强来说.增加扩散泵的抽气量,(b)对于给定的扩散泵抽气量来说,降低系统的压强,那么就可以在扩散泵的低压端采用径向流涡轮分子泵。 相似文献
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采用蒙特卡洛方法计算单级涡轮叶列传输几率,引入气体分子与固体壁面反射适应系数模型,评估不同反射条件对单级涡轮叶列抽气特性的影响。采用积分中值法计算涡轮叶列传输几率,提高涡轮级抽气特性的计算精度。采用分段流态判别法计算牵引通道的抽速和压缩比,减少牵引级抽气特性的计算误差。提出涡轮级与牵引级之间的三种过渡结构,实现复合分子泵抽气特性的级间匹配,提高复合分子泵的性能。提出牵引级阻挡结构和分段式结构,有效减少牵引转子与定子间的间隙泄漏,提高复合分子泵的整体性能。通过算法改进,提高了涡轮分子泵抽气特性的计算精度;通过结构优化,提高复合分子泵抽气性能,为高性能复合分子泵开发奠定了基础。 相似文献
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涡轮分子泵是一种机械的超高真空泵。本文阐明了其结构,并与盖德分子泵作了比较。考虑了由返扩散和漏气所造成的损失之后,把盖德分子泵的公式作了修改,然后用于涡轮分子泵方面。用此法能算出泵转速对于各种气体的压强比。然后把计算值和实验值作了比较。压强比的对数与分子量的平方根成正比。对于质量数 120的压强比为10~16。对于譬如像比较重的油蒸汽分子来说,压强比的值就非常高,甚至用最新的仪表也测不出来。另外还指出,压强比取决于进气的抽速。还指出了由此曲线来计算分子泵(连接已知抽速的前级泵)抽速的程序。如果前级泵尺寸合适,那… 相似文献
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三十多年来,随着蒸汽流泵,特别是油扩散泵技术的进展,国外和国内围绕蒸汽返流这个课题做了不少的试验。发表了许多研究文章,分析了蒸汽返流来源,提出了减少返流的措施。但是,现在尚没有能够从理论上对返流问题给予定量的解释。此文根据气体分子热运动的麦氏分布律,推导出了离开蒸汽射流的油蒸汽分子速率的计算式,利用角系数概念,计算了喷咀出口平面以上的泵体内壁和测试罩内壁各表面上的返流率数值,证明了油蒸汽分子对表面需要碰撞十数次才能被俘获。由这些计算,提出了蒸汽返流模型。此外,又导出了由于蒸汽返流对抽速减小量Sb的计算式,分析了蒸汽返流与极限压力的关系,最后,还提出了减少蒸汽返流的一些措施。 相似文献
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本文提出了介绍油扩散泵两种抽速测量方法的比较研究。所使用的方法是试验罩法和带有辅助抽气系统的流导管法。这个辅助抽气系统是在流量低于 10-5Nms-1(~0.1μls-1)时的很低压力下使用。人们发现为了得到在重叠压力范围用两种方法测量油扩散泵抽速比较结果,当规管距泵口法兰是D/2时,即得到泵本征抽速的试验罩法的同样位置,流导管法中的流导管应安排在距泵口1.2D的高度。 相似文献
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本文对超真空玻璃油扩散泵获得大抽速作了一些分析,认为采取扩大泵的腔体和进气口径是克服玻璃材料强度差,获得较大抽速的两种好办法。并介绍了两种新型超高真空凸腔玻璃油扩散泵的设计和特性,泵的极限真空是1x10~-15乇,抽速分别是550升/秒, 850升/秒。 一、概述 油扩散泵增加抽速,除在结构上改进外,最有效的途径是扩大泵径。扩大泵径目的是为了使各级喷咀得到大的过流面积和大的进气口径,大幅度地增加油扩散泵的抽速。影响油扩散泵高真空抽速的主要部分是顶喷咀的过流面积,对顶喷咀来说,为了有利于气体分子的扩散,要求工作的蒸汽流是高速… 相似文献
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一、概述 油增压泵是用来获得10-2~10-3乇压力的主要真空泵之一,它也可以做为油扩散泵的前级真空泵。这种泵的极限真空约为10-4乇。在10-2~10-3乇内有较高的抽气速率(泵口单位面积抽速为2.5~3.5升/秒·厘米2),当泵口压力再增加时,虽抽气速率有所下降,但抽气量却有一定的增加。因为油增压泵在10-1~10-3乇内工作,所以相同口径的油增压泵的抽气量是油扩散泵的几十倍。它的最大反压力一般为1~6乇。油增压泵的另外一些特点是当前级管路压力不超过泵的最大反压力时,有不变的抽气特性和对氢气有较空气为高的抽速以及结构简单,易于制造和操作简… 相似文献
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沈阳真空技术研究所分子泵课题组 《真空》1979,(2)
涡轮分子泵是一种机械超高真空泵,能够获得清洁无油的超高真空。本文对涡轮分子泵的用途、工作原理、结构选择、设计计算等作一简单介绍,并在研制调试过程中所遇到的问题作一些讨论,最后介绍泵的性能及与国内外同类型产品的比较。 一、用途 涡轮分子泵由于它是靠机械作用抽气,所以能够获得清洁无油的高真空或超高真空。它具有对各种气体的抽速变化很小、抽速恒定、启动快、使用维护简单、抗辐射性好等一系列优点。广泛应用于原子能、高能加速器、受控热核反应、宇宙模拟、电子管、半导体器件制造,真空熔炼和科学研究等方面。 二、工作原理 … 相似文献