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介绍了一种用放电离子化检测器(DID)分析三氟化氮中微量气相杂质的方法。利用阀切割技术对大量的三氟化氮主组分进行切割,避免其进入检测器系统,从而准确地分析出三氟化氮中杂质的含量。该法简便、快捷、准确度和精密度高。 相似文献
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《化学推进剂与高分子材料》2015,(6):91-93
介绍了一种利用脉冲放电氦离子化检测器(PDHID)分析六氟化钨(WF6)中气相杂质的方法。该法利用阀切割技术对WF6主组分进行反吹,避免其进入分析柱及检测器,可准确分析出其中杂质的含量。 相似文献
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以高纯三氟化氮为原料气,分别使用红外光谱法及质谱法对其进行定性分析,再利用气相色谱仪及露点仪对其中的杂质进行定量检测,通过质量平衡法测定了原料气的纯度。通过重量法制备氦中三氟化氮气体标准物质,并通过均匀性实验、稳定性实验、重量法定值和不确定度评定对氦中三氟化氮气体标准物质进行了研究。结果表明,其均匀性和稳定性满足F检验和t检验要求,符合标准物质的技术规范,所制备的氦中三氟化氮标准物质具有良好的均匀性和足够的稳定性,相对扩展不确定度为2. 0%(k=2)。该系列气体标准物质可望用于相关仪器的检定校准及半导体生产等相关行业的气体报警器的标定和检测。 相似文献
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三氟化氮(NF_3)是一种重要的电子气体和常用的氟化剂,广泛应用于微电子工业领域中。介绍了NF_3气体检测技术的发展现状,对比分析了各种技术的优缺点,展望了NF_3气体检测仪的未来发展趋势。目前针对NF_3较为成熟的检测器主要是催化热裂解/电化学原理气体传感器、超高温裂解/电化学原理气体传感器和气相色谱仪,其中热裂解/电化学原理气体传感器检测存在精度不高且需要考虑尾气处理的问题,不是一种理想的检测技术,气相色谱仪受限于较差的便携性及复杂的调试程序,因而主要用于实验室中的气体分析,而基于非色散红外(NDIR)及傅里叶变换红外(FTIR)检测技术的NF_3检测方法具有快速便捷无污染的优点,同时NDIR技术可实现检测仪器的便携化,基于此有望开发出一种环保、便携、快速的检测仪器。在未来,随着检测手段的不断革新和丰富,三氟化氮的定量也必将更加细致和完备,进一步有利于相关行业的发展和质量体系的完善。 相似文献
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通过改变进样管路和除水装置,得到最优的分析检测装置。运用测量系统分析(MSA)对三氟化氮分析检测装置的准确性、重复性和再现性进行评估,结果表明,三氟化氮含量测量系统中的重复性和再现性的误差比为4.59%,可区分类别数=22,测量系统可接受,从而可为后续三氟化氮分析检测装置的推广提供指导。 相似文献
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采用氩放电检测器气相色谱仪分析了氩气纯度。结果表明,仪器测量灵敏度、精密度较好。讨论了使用中应注意的问题。 相似文献
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三氮烯类试剂在光度分析中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了近几年来三氮烯类试剂在光度分析中的应用进展,包括两个方面:三氮烯类试剂与金属离子的显色反应;三氮烯类试剂与阴、阳离子表面活性剂的显色反应. 相似文献