低温水泵和分子泵组合替代低温泵的新设备

本文介绍了一种新型超高真空辅助设备－低温水泵，用之和分子泵组合，可以获得１０＾－８Ｐａ的清洁超高真空，用在半导体集成电路生产过程中，可以使产品质量以及生产效率均得到改善和提高，抽气机理以及设计要点均在文中有所论述。     

日立扫描电镜真空系统的维护

电镜真空体系对确保仪器正常运行和图片质量十分重要。本文介绍了日立扫描电镜的真空系统的组成及在运行中出现的故障和故障消除的方法,为实现扫描电镜的正常工作提供了有利保障。     

前苏联高真空扩散泵统一系列工作的回顾

详细地介绍了前苏联1953年由国家制订的高真空油扩散泵工业产品的统一系列。该系列包括五种规格,在入口压力为1×10-4~1×10-5Torr(1 Torr=133Pa,下同)范围内,对空气的抽速为100~8000L/s,用Д-1A号泵油获极限压力为(2~5)×10-6Torr。以后又补充一台H-40T大泵抽速为32000L/s。抽速100和500L/s的泵为二级喷咀;抽速为2000、5000和8000L/s的泵为三级喷咀,而32000L/s的大泵出口连接一台БН-3型油增压泵。所有这些泵的最大出口压力不低于0.1Torr,因此前级泵可直接用机械真空泵,不必用增压泵即能正常工作。1990年按国际标准口径又研制了新系列产品,性能有所改进。本文对目前我国生产高真空系列扩散泵有一定的参考价值。     

油扩散泵返油率的控制分析

基于真空系统油扩散泵的工作原理,分析油扩散泵返油的原因,总结出油扩散泵控制返油的方法;引用实例阐述如何查找返油原因;并根据具体原因采取具体措施,以降低油扩散泵的返油率。     

无油分子泵机组的组装

介绍了将ALCATEL公司生产的一台ATPl00涡轮分子泵、一台MDP50ll牵引分子泵及一台VRC公司生产的lBy6型干泵组装成无油分子泵机组的过程。文中给出了泵间配合的计算、机组方案的设计、连接管路、仪器支架的设计及选择。本机组所采取的设计方案使三个泵都最大限度地发挥了优点避免了缺陷，较好地满足了使用要求，为今后选购单泵和组装无油分子泵机组提供了可靠的理论和实验依据。     

方坯连铸RH真空装置真空泵控制系统

介绍攀钢方坯RH精炼装置真空系统基本控制功能,侧重介绍真空泵系统的功能和其相关系统控制.     

一种新型的幅宽1500 mm的卷绕式真空镀膜机

幅宽1500mm卷绕式真空镀膜机，是为了满足1500mm幅宽的聚脂薄膜（PET）、定向聚丙烯薄膜（OPP）、聚丙烯流涎薄膜（CPP）、聚乙烯薄膜（PVC）的真空镀铝而设计的。和通常的卷绕式真空镀膜机相比，具有真空度高，抽真空的时间短，卷取性能好，镀膜幅度宽，镀膜速度快。跑偏量小，镀膜层牢固、均匀等优点。是一种理想的卷绕式真空镀膜机。     

基于光纤通讯的真空镀膜控制系统

本文针对镀膜的特殊要求,通过分析传统控制方式的不足,提出了新型的控制方式,即光纤通讯。以成都普斯特真空镀膜控制系统为例,介绍了该系统的软硬件配置,工作原理,主要控制功能,应用效果以及光纤通讯在该系统中的应用。     

真空泵系统的级间冷却方案

探讨了真空泵系统中冷却装置的方案,定性讨论了真空系统级间冷却方式的选择,给出了理论选型原则,通过实例分析,指出在真空系统工程设计中,需要给出系统工程化解决方案,更能保证真空系统高效安全运行.     

果蔬真空预冷装置的设计与研究

本文阐明了果蔬真空预冷装置的原理,组成,特性及优点,给出了基本设计参数的确定方法及计算公式,保共专业人员设计参考。     

机械真空泵的维修

本文为《实用真空技术》一书的核心章节 ,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验 ,理论与实践相结合 ,对真空泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述 ,对读者有参考价值。     

机械真空泵的维修

本文为《实用真空技术》一书的核心章节，作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验，理论与实践相结合，对真空泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述，对读者有参考价值。     

机械真空泵的维修

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机械真空泵的维修

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机械真空泵的维修

本文为《实用真空技术》一书的核心章节，作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验，理论与实践相结合，对真空泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述，对读者有参考价值。