图形缺陷检查设备

发明的详细说明本发明主要谈图形缺陷检查设备方面的问题,更详细地说就是关于检查半导体光掩模上的微细图形中所含有的针孔及残渣等缺陷的装置。在半导体器件的制造中,要进行杂质扩散及布线等使半导体衬底上形成各种图形。为了提高     

成象和显示设备

一九八○年在市场上出现了各种成象和显示优胜产品:从摄象机到观察仪,图象增强器到矩阵显示器以及硬复印机。在这些产品中,摄象机居领先地位,其中包括在可见光或X射线下高速应用的图象变换摄象机; 在0.2～40μm范围内工作的双频谱视频成象     

可检查2μm条宽的掩模缺陷检查设备

日本公司最近推出了20MD—61型掩模缺陷检查设备。该设备对2μm条宽掩模进行缺陷检查,其分辨率为1μm。检查结果用打印机、绘图机和计算机外部输出。缺陷检查速度随掩模最小条宽(2μm、3μm、4μm、6μm)而变化,具有四种检查方式。掩模条宽为2μm时,检查速度为6.4秒/厘米~2,掩模条宽为6μm时,检查速度为0.8秒/厘米~2。该设备可检查的掩模的最大尺寸为500×500毫米~2,最大测定范围为480×480毫米~2,可检查的掩模厚度为10毫米。该设备使用100伏30安的电源。     

热成象传感器鉴定设备

本研究的最终目的,在于建立热成像传感器的全自动鉴定设备。图1的方框图示出如何组成一台设备来完成一项测试,如最小可分辨温度差(MRT)测试或信号传递函数(SiTF)测试。红外传感器置于适当红外靶标的准直像空间中。靶标相对于背景(环境)温度的温差(AT),系由计算机根据操作者从终端设备输入的指令来控制。除控制靶标的△T外,计算机还将控制适当靶标图形的选择,并执行其他     

红外成象系统

美国Amber工程公司生产的AE-4128型红外成象系统,使用凝视探测器技术使其能在夜间或穿过云雾拍摄到高质量图象.AE-4128型还因具有高达1000帧/秒的帧频,因而能记录下移动极快的物体图象.AE-4128型系统能提供RS-170视频输出成象和1个128×     

红外热成象系统

Dynarad公司最近提供了一810型精密红外热成象系统,它扫描由物体自然发射的红外辐射,并把该辐射转换成一“热图象”在阴极射管上显示出来。温度信号以10种     

热成象系统

本书汇编了散见各种出版物的技术资料,并作了分析,对从事热成象技术的人员有一定参考价值。全书共分十二章。作者认为关于探测器、致冷器、线路设计和视频显示技术的报导已较多,因此本书未收入这些内容。全书各章目次为:第一章引言(介绍热成象系统的功能、历史和基本构成部分,提出了十六种报导这门技术的美苏英等国期刊和十余名知名     

红外成象系统

红外被动系统可以分成两大类:(1)诸如搜索、跟踪和成象等扫描系统;(2)分光计、辐射计和干涉仪等测量系统。扫描系统在指定的视场内对辐射强度的分布进行扫描和取样。其输出可以是此分布的一个线性模拟信号,供成象用,也可以仅指示目标的存在及其位置,如在搜索-跟踪应用中那样。测量系统对入射在系统上的辐照进行测量。测量可以仅仅是在某一固定带宽内测出辐射强度,也可以是在一可变中心带宽内连     

KLA-221掩模缺陷自动检查系统

KLA-221系统用于掩模版缺陷的自动检查。本文着重对该机的工作原理、光学系统及自动调焦系统作了介绍。     

多波段成象系统

主动遥感系统有电磁能辐射源，它所发射出的能量用来照射各种目标，探测目标本身反射出的能量，并将输入数据用数字记录和存储起来并提供利用。本文简要介绍目前已有的和未来的获取多光谱数据的，并为公众提供利用的几种多波段成象系统及改进常规地形分析研究工作的可能性。     

被动红外成象系统

近年来,主要研究领域之一是红外图象的信号处理、图象处理和识别。红外成象的最主要的应用是:遥感、无损检测、目标指示和分类、节能、光学检查和遥测、医学成象和诊断、生产过程控制等。为此,研制一种红外成象探测系统是十分必要的。对于低成本、高速和商业化红外成象与目标分类系统,目前的趋势是采用高密度红外镶嵌探测器技术与CCD和信号处理电路相结合,它标志着红外技术发展的高级阶段。     

多用途毫米波成象系统

一种新型毫米波成象系统已装备在海军研究实验室,并用 NASA/Wallops C—54飞机进行了飞行试验.该系统装有一个摇摆镜和几个可互换的辐射计装置,使得系统特别适应于其工作频率,极化强应和角分辨率的变化.已对该系统做了90GHz 的飞行试验,同时也在22和31GHz 上用一个双频率辐射计进行了飞行试验.本文叙述了成象系统和数据处理,而且介绍了一些在90GHz 进行初次飞行所得的试验结果.     

便携式红外热成象系统

美国Inframetries公司生产的这种红外热成象系统用两个扫描镜和一碲镉汞探测器(8～12微米)扫描目标景象。510型可在10℃、50℃和200℃三种温度范围使用,在每个温度范围内可得到的对比度范围为4:1。     

热成象系统的传递函数

本文考虑了热成象系统的光学系统、探测器、电子线路、显示器诸分系统的传递函数计算的原则。提出了在“假设”忽略采样过程对传递函数影响时,热成象系统的传递函数计算。提出了用电子学的方法改善热成象系统传递函数及图象增强的可能。以某一具体系统为例,计算了热成象系统的传递函数。     

新型的红外成象系统

一、引言红外技术发展史表明,一种高性能的新探测器的诞生,必将导致新型系统的出现。1981年6月,英国Mullard公司D. Charton等人在西德幕尼黑第五届国际激光光电子学学术会上,宣读了题为:“在元件内处理信号(Signal Processing in the Element)—高性能热成象系统用红外探测器技术的一个突破”的论文之后,这种简称为SPRITE的红外探测器     

铁路GSM-R系统DNS设备性能分析

本文分析了GSM-R系统DNS设备域名解析失败的原因,以广铁集团在运行维护中存在的DNS设备域名解析失败问题为例,对存在的数据进行了详细分析,具有一定参考价值.