化学机械抛光（CMP）过程中抛光盘温度控制的分析研究

在化学机械抛光（CMP）过程中,温度是影响晶片最终抛光效果的主要因素之一,采用合理的温度控制方法,把温度控制在一定的范围内才能满足化学机械抛光的工艺要求。通过化学机械抛光机理分析阐述了抛光过程中热量产生的根源,介绍了一种温度控制系统的设计原理,并通过抛光实验验证并说明了温度控制的必要性。     

W片的二向色性角β与诱导时间和温度的实验规律

作为“Ｗｅｉｇｅｒｔ效应”研究的基础性工作，本文提出以人造光代替日光，严格控制诱导条件，对特定的预制板采用不同的诱导时间与温度制作Ｗ片。实验结果结出了二向色性角β在特定辐照度下随诱导时间和温度而改变的实验规律，得到了高达３４．４７°的β角。     

运用MICROMAX－Ⅱ系统对电炉温度进行控制

介绍了运用ＭＩＣＲＯＭＡＸ－Ⅱ集散控制系统对电炉温度进行控制的硬件配置及组态方法．该系统采用ＰＩＤ回路调节法，其稳态误差为±１℃左右，调整时间比一般控制方法短；在设定温度值为８００℃时，超调量为６℃左右．系统抗于扰能力强，管理方便．     

可编程温湿度控制器

介绍了以Intel 8032为核心的智能温湿度控制器。可以根据用户自定义的温度、湿度曲线进行温度和湿度控制，能实时显示温湿度及所处程序段和工作时间，能对系统进行自检，并显示出错信息，能定时打印。带有标准通讯接口，可进行远程操作控制。可应用于产品环境可靠性实验及其他相应场合。     

硼掺杂多晶硅薄膜电阻率的温度特性

本文研究了用于制作压阻传感器的硼掺杂ＬＰＣＶＤ多晶硅薄膜电阻率的温度特性．在室温～４５０℃较高温度范围，实验发现电阻率与温度的关系中存在一个极小值，理论分析表明极小值所对应的温度正比于晶界势垒高度，理论分析与实验结果相符合．通过对影响薄膜电阻率温度特性诸因素的分析讨论，提出了减小多晶硅薄膜电阻温度系数的最佳途径．     

SiO_2全封闭的硅量子线列阵

采用硅工艺的反应离了刻蚀、各向异性化学腐蚀、热氧化和超低压化学气相淀积生长技术，成功地在硅单晶衬底上制作了ＳｉＯ２全封闭结构的硅量产线列阵．扫描电镜观察清楚地显示了这种高质量的量子线结构．实验表明，通过热氧化过程可以非常有效地控制量子线的尺寸．     

模糊控制理论在发动机温度控制中的应用

以模糊控制理论为基础，针对发动机温度控制中存在的非线性等问题，分析了当前发动机温度控制系统，并提出了发动机温度模糊控制方案。试验表明，采用模糊控制器后，显著改善了发动机温度自动控制的效果．     

温度远程无线自动控制系统的设计

单片机的温度远程无线自动控制系统是由采集端和监控端两大部分组成．两端通过无线方式通信。采集端主要实现温度采集、数码显示、温度设定、无线编码发射、加热开关控制等功能;监控部分主要实现无线解码接收、温度显示、报警等功能模块。本温度自动控制系统具有较强的实时性和抗干扰能力。实际应用于化学实验室DF101B型集热式恒温磁力搅拌器,效果较好,具有一定的实用价值。     

基于模糊控制的计算机控制实验平台的设计

为加强计算机控制实验和自动控制理论实验的结合,提高教学实验水平,选择工业生产和科学实验中的重要物理量温度作为被控制量,而模糊控制是目前应用较为广泛、设计简单且在温度控制中取得了较好的控制效果的控制方法,为此开发了基于模糊控制的计算机控制实验平台。论文设计了基于PC机一单片机的分布式温度实时控制系统,根据温度控制系统的特点,给出了温度控制系统模糊控制器的实现方法,实验平台具有硬件透明、软件开放等特点,且模糊规则修改灵活方便,适合于学生实验使用。     

一种单片机温度模糊控制系统的实现

将模糊控制理论应用到单片机温度控制系统，根据电饭煲的温度控制规律，介绍了一种模糊电饭煲温度控制系统。系统软件设计采用定时中断的结构，核心为模糊控制器的实现。介绍了温度模糊控制器输入模糊化、模糊决策、输出逆模糊化等过程实现，并进行了实验研究。该系统具有实时性好、控制速度快、稳定性好等优点。     

单晶片清洗设备化学药液温度控制系统研制

针对300 mm单晶片清洗设备,设计开发了一套化学药液温度控制系统。由于化学药液传输系统具有大惯性、大时滞、非线性的特点,采用Smith预估法设计了一种温度控制算法;并基于可编程计算机控制器(PCC)设计实现了化学药液温度控制系统。介绍了该控制系统的硬件组成和控制算法设计,实验结果表明该温度控制系统能够满足清洗工艺需求。该系统现已成功应用于自主研发的300 mm、65 nm铜互连单片清洗设备。     

硅基PCR生物芯片微型加热器及温度传感器的研究

采用化学腐蚀及干法刻蚀相结合的技术制作PCR生物芯片的微反应腔，并在微反应腔上制作金属薄膜微型加热器和温度传感器，分析了微型加热器和温度传感器的特性，并给出扫描电子显微镜照片。实验证明Ni比较适合做温度传感器，NiCr是较好的微型加热器材料，能够满足PCR生物芯片温度特性的要求。     

空气中烧成的镍导体及其应用

将空气中烧成的镍导体用于散热制冷片制作工艺中，可降低成本，提高合格率。通过实验得到的最佳值为：镍导体中４号玻璃（ＳｉＯ２＞３０，Ｂ２Ｏ３＞１０，ＰｂＯ＜５５，ＴｉＯ２少许）的含量４．５％，化学镀镍时间５０ｍｉｎ，方阻４７．５ｍΩ／□，附着力８．１Ｎ／ｍｍ２。     

PCR微流体芯片温度控制系统的设计

设计并开发出用于DNA聚合酶链式反应(PCR)的微流体芯片温度控制系统。采用具有光学透明的PDMS和ITO导电玻璃,设计制作了温度可控全透明PDMS微流体芯片。系统由硬件电路搭建和控制软件编程共同实现。温度信号由AD590采集,经过CD4051BE选通,传送给ATmega16L,单片机通过比较温度采集值与设置值,得到控制指令,并控制驱动电路。实验结果表明,该系统完全满足设计要求,温度控制精度高,系统体积小,便于PCR扩增实验。     

PTCR用温度程序控制仪的研制

本文设计了以单片机８０３１为核心的温度程序控制仪，并介绍它的原理，结构及功能，实验表明这种温度程序控制仪能够满足ＰＴＣＲ烧结过程中温度控制的要求，而且操作简单，便于维护。     

家用电风扇温度自控装置

本文介绍的电风扇温度自控装置,可以按预定的温度自动开启和关闭,当温度高于预定的温度时,电风扇自动启动,这样可使室内保持一定的温度,从而克服了普通电风扇定时不定温的缺点。该装置电路如图1所示。只要在普通电风扇上安装这套电路,便可实现温度自控的目的。具有电路简单,方便制作的特点。     

基于ADN8831芯片的红外热像仪精密温度控制系统的设计

在光电应用领域中,有很多红外热像仪对温度控制的精确性和稳定性有很高的要求.采用ADN8831温控芯片设计了一个高精度高性能的温度控制系统.实验测试结果表明,该系统完全符合光电领域对温度稳定性的要求,控制精度达到了0.01℃.     

一种可获得高稳定度的温控电路

一种可获得高稳定度的温控电路沈才忠（浙江省计量测试技木研究所，杭州．３１００１３）恒温干燥箱、生化培养箱、恒温液体班等试验设备是化学分析、检测工作中必不可少的。对于各种试验设备，就其性能而言，箱（槽）体内的温度稳定度是一个重要的技术指标。影响温度稳定...     

激光热疗光源控制系统的研制

研制了多波长的激光消融控制系统，该系统可单独或组合输出多种波长激光，在MRI实时影像引导下，将激光经磁兼容光路导入病灶，实现肿瘤消融。本文设计的系统可控制激光功率、脉宽、时间、温度等多种参数，并通过动物实验提出一种行之有效的治疗方案及参数，在激光消融肿瘤及相关领域具备进一步丰富现有医疗方案的潜力。     

高速光收发模块的设计

光纤通信系统正不断向高速、大容量发展,稳定的光收发电路成为保证系统工作的关键,针对系统的发展要求,总结了高速光收发电路的制作特点;研究设计了2．5Gb／s光收发电路,并将其应用在激光器和接收设备动态特性的测试实验。