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烧结助剂对反应烧结氮化硅陶瓷的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
以Si粉和C粉为主要原料 ,在氮气流量为1.2L·min- 1,氮化温度为 1380℃ ,保温时间为 2 0h的条件下 ,研究了分别以 10wt%的MgO、Al、Al2 O3和Al2 O3+Y2 O3粉为烧结助剂对反应烧结氮化硅陶瓷的影响。结果表明 :以MgO粉作烧结助剂时 ,试样的主要成分是MgSiO3,另外还有Si2 N2 O ,但没有Si3N4 生成 ;以Al粉作烧结助剂时 ,试样的主要成分是SiO2 ,仅有少量Si3N4 存在 ;以Al2 O3作烧结助剂时 ,试样的主要成分是β Si3N4 和α Si3N4 ;以 2wt%Al2 O3+8wt%Y2 O3作烧结助剂时 ,试样的主要成分为 β Si3N4 ,同时含有少量α Si3N4 。 相似文献
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氮化硅陶瓷的微波烧结 总被引:4,自引:0,他引:4
利用TE103单模腔微波烧结系统对添加6%(Y2O3+Al2O3)的α、β-SiN4粉的微波加热特征进行了研究。通过选择合理的保温材料和烧结工艺,获得了较高密度、结构均的氮化硅烧结体。实验发现,对于粉末为α-Si3N4的试样,在相变发生的温度内,相变的发生比较密化进程更早而且发生在一个相对更低的温度,研究结果也表明,在微波烧结中相变促进致密化进程。在较短的内警备交高的密度和较好的力学性质,氮化硅的 相似文献
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随着大规模、超大规模集成电路的发展,以及集成电路在通讯、交通等领域的运用。对于基板材料的要求日益严苛,氮化硅陶瓷因为有着优异的力学性能、介电性能和导热性,是作为基板材料的重要候选材料之一。氮化硅陶瓷的理论热导率高达200-320 W/(m·K),但是实际上高热导率的氮化硅难以制成。随着科研者将精力投入到氮化硅上,近年来氮化硅陶瓷的实际热导率得到提高,但是与理论热导率还有着不少差距。据文献记载,选择合适的烧结助剂能够有效的提高氮化硅陶瓷的热导率。本文综述了不同种类的烧结助剂对氮化硅陶瓷热导率的影响。 相似文献
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低温热压氮化硅的烧结机理 总被引:1,自引:0,他引:1
选择了一种MgO-Al_2O_3-SiO_2系统添加剂,能在1550℃的较低温度(约10wt%液相量,30MPa)将氮化硅材料热压致密化。由于氮化硅和碳纤维在此较低温度能够共存,从而使氮化硅有可能和碳纤维构成复合材料,以改善氮化硅的脆性。 本文研究了在1450—1650℃温度范围内,有液相存在的氮化硅的热压烧结机理和动力学。发现致密化过程与Kingery液相烧结机理较为吻合。过程溶解-扩散-再沉淀阶段的动力学可用ΔL/L_0=K·t~(1/n)表述。温度的差异明显地影响致密化速率;压力和液相量对致密化速率亦有较大影响。 相似文献
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以冲击波合成的立方氮化硅(γ-Si3N4)粉体为原料,添加Y2O3-Al2O3-La2O3系烧结助剂,进行了超高压烧结,研究了在不同烧结温度与压力下,烧结样品的相对密度、力学性能、物相变化及显微结构.经5.4~5.7 GPa和1670~1770 K,保温保压15 min超高压烧结后,烧结制备的氮化硅陶瓷主要由长柱状晶粒组成,显微结构均匀,y-Si3N4已完全转化为β-si3N4.烧结样品的最高相对密度与Vickers硬度分别为99.16%,23.42GPa. 相似文献
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α相和β相氮化硅的形成机理与动力 总被引:6,自引:0,他引:6
使用气流磨粉碎的硅粉(Si)(Si99.3%,dp=5.1μm,Sg=3.2m^2/g)和氮气(N2)(纯度99.9998%)为反应物,在1300~1367℃下反应形成β-Si3N4,其反应机理与动力学参数被研究。反应产物由XRD进行定量分析,相形成的机理和它们的形态用扫描电镜(SEM)确定,我们发现α相和β相的形成机理不同,β-Si3N4在1300℃的实验数据适合于界面化学反应控制的动力学模型, 相似文献
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以β-Si3N4粉末为原料,以YAG(钇铝石榴石)为烧结助剂,通过气氛压力烧结(GPS)制备出致密的β-氮化硅陶瓷材料,形成大小均匀的柱状颗粒和小球状颗粒复合显微结构,研究了烧结助剂质量分数、烧结温度以及保温时间对β-氮化硅陶瓷致密化程度及力学性能的影响. 相似文献
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对掺杂有Y2O3的低纯度β-Si3N4粉末进行了6至100h的球磨。调查了球磨时间对粉末和热压体各特性的影响。当球磨时间增加时,球磨粉末的平均粒度和微晶粒度减小,SiO2碳、一些金属杂质和晶格变形增加,如果粉末表面重新形成,SiO2的增加就可以被认为是由于球磨用液体中含的H2O发生机械化学反应所引起的。碳源来自球磨用液体和球磨容器两方面,Al和Mg的增加可以根据磨球的磨耗进行说明。由于球磨时间不同 相似文献
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氮气压力对氮化硅烧结行为的影响 总被引:5,自引:1,他引:4
本文在1400-1700℃温度范围内,分别在30atm和1atm的N2中氮化硅陶瓷的烧结行为进行了比较研究,对比试验结果表明,在气压烧结过程吕其致密化和α-β相变速率滞后于常压烧结,晶界第二相组成也有所不同。为了避免高压气氮气被包陷和致密化滞后,在气压烧结过程的前期应避免使用高压氮气。 相似文献