硅片表面状态与机械强度

硅片表面状态与机械强度谢书银，石志仪（中南工业大学４１００８３）关键词：硅片，化学腐蚀，表面损伤，抗弯强度，表面处理（一）前言半导体器件所用的研磨硅片在器件生产过程中都有一定程度的破碎，尤其是当硅片较薄时，破碎问题相当严重。发生破碎的原因除与硅片内在...     

表面状态对核级316LN不锈钢电化学腐蚀行为的影响

表征了打磨态和机械抛光态316LN不锈钢表面的粗糙度、表面残余应变和表面电子功函数的分布,并研究了打磨态和机械抛光态样品在硼酸盐溶液中电化学腐蚀行为的差异.与机械抛光态316LN不锈钢相比,打磨处理后样品表面较为粗糙,且表面的微观残余应变较大,近表面产生约50μm的加工硬化层.表面粗糙度和微观应变的增加引起打磨态表面电化学活性的增大,从而促进316LN不锈钢在硼酸盐溶液中腐蚀.机械抛光处理降低了表面钝化膜的载流子密度(供体和受体),并增大了钝化膜的阻抗,提高了钝化膜的致密性和保护性,能够有效抑制金属的进一步腐蚀.     

测试方法对硅片表面微粗糙度测量结果影响的研究

随着大规模集成电路的快速发展, 硅片表面微粗糙度对于器件制造的影响也越来越受到人们的重视. 介绍了几种测量硅片表面微粗糙度的测试方法, 并将它们分成三类, 简单阐述了每一类测试方法的测试原理, 影响测试结果的因素, 从实际应用的角度详细阐述了这三类测试方法的适用情况、通过详细的测试数据及图形对这三类测试方法进行了分析, 并对这三类测试方法进行了比较. 最后简单介绍了纳米形貌和硅片表面微粗糙度之间的关系.     

包装材料对硅片表面洁净度的影响

前言Preface随着微电子技术突飞猛进的发展,90纳米线宽技术已得到了规模推广,一个芯片已集成至几十到上百亿个元器件。与此同时,图形的微细加工和以提高生产效率为目的的大直径硅片生产进程也在加快进行,电路特征尺寸已由微米级升级到亚微米及纳米级水平,这使得所有的IC制造商对衬底硅片的要求越来越严格。     

双面抛光工艺中压力对300 mm硅片表面形貌的影响

利用非接触式光学轮廓仪研究了双面抛光过程中不同压力下300mm硅片表面形貌的变化，并通过Stribeck曲线进行了探讨。结果表明。双面抛光过程中机械作用的强度随着压力的变化而不同，从而影响抛光后的硅片表面形貌。当硅片表面与抛光垫之间的接触处于固，液混合接触区时，协调机械去除作用与化学腐蚀作用之间的关系，使之达到平衡，可以显著地降低硅片表面的微粗糙度和峰谷值。     

热处理状态对铝合金抗丝状腐蚀的影响

通过实验比较了不同热处理状态对铝合金抗丝状腐蚀能力影响,发现H14比H24的热处理状态能够有效地提高金属的抗丝状腐蚀能力;在热轧前对铝合金进行均匀化处理对其抗丝状腐蚀能力具有积极的作用.     

Nd－Fe－B磁体的腐蚀对磁性能的影响

本文研究了在浸泡、湿热和大气腐蚀试验条件下，Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ磁体的腐蚀行为以及腐蚀对磁体磁性能的影响。实验结果表明，Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ合金在氯化钠水溶液中有很强的腐蚀活性。湿热试验和大气腐蚀后的腐蚀产物层有一定的保护作用。Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ磁体腐蚀后剩余磁感应强度Ｂｒ和最大磁能积（ＢＨ）ｍａｘ均降低，矫顽力的变化则与腐蚀介质有关。同时，讨论了Ｎｄ－Ｆｅ－Ｂ磁体腐蚀影响磁性能的作用机理。     

热轧钢板的表面状态对热镀锌反应的影响

1 前言以建材、家电及汽车用结构件等材料为中心,对热轧镀锌钢板的需求量不断增加,估计今后对钢板的表面外观、镀层附着性、耐蚀性以及材质高强度化等质量要求会越来越高。要想满足这些要求,就得研究熔融锌与热轧钢板的反应机理以及影响热镀锌反应的各     

硅片清洗方法探讨

本文介绍了几种硅片清洗的方法,同时对各种不同清洗方法的工作原理、清洗效果、适用范围等特点进行了分析。不同的工艺应采用不同的清洗方法才能获得最佳效果。     

晶体硅太阳能电池用硅片制备工艺及关键技术

多晶硅片或单晶硅片是光伏产业链中太阳能电池片生产的基板材料,近年光伏产业的迅猛发展极大促进了硅片制造技术和装备的飞速发展,文章介绍了当前晶体硅太阳能电池用硅片制备的主要工艺,并对其中的关键技术及发展状况进行了论述。     

对钛及钛合金板材表面"酸斑"的探讨

钛及钛合金薄板在经过碱、酸洗工艺处理后,经长时间放置板材表面经常会出现"酸斑"现象.通过对其产生原因进行分析,以确定合理的处理方案,从而满足用户的实际使用要求.结果表明板材表面存在的"酸斑"现象是可以预防控制和妥善解决的.     

无取向硅钢表面纳米结构的渗硅行为

 对3%无取向硅钢进行表面机械研磨处理（SMAT）,获得表面纳米结构,再进行550~650℃、4h固体粉末渗硅处理,用透射电镜（TEM）、扫描电镜（SEM）和X射线衍射仪（XRD）研究表层组织演变。结果表明：经过SMAT后,3%无取向硅钢表面晶粒尺寸降低至10nm左右,纳米晶层厚度约为20μm。经过550~650℃、4h渗硅处理后,SMAT样品表面形成化合物层,其厚度随着渗硅温度的升高由27μm增加到150μm。化合物层由FeSi和Fe3Si两相组成,其中FeSi相随着渗硅温度的升高而逐渐增加。     

化学成分体系对无取向硅钢夹杂物控制的影响

 结合工业化生产的无取向硅钢,采用非水溶液电解+扫描电镜观察方法,探讨了化学成分体系对夹杂物控制的影响。结果表明,随着Si、Al元素含量升高,氧化物夹杂数量明显减少。氮化物夹杂数量先是快速增多、而后逐渐减少。与此同时,夹杂物平均尺寸逐渐变大。低铝状态下,硫化物夹杂数量较多;高铝状态下,硫化物夹杂数量明显减少,而且CuxS夹杂消失。高硅低铝系列钢、中硅低铝系列钢、低硅无铝系列钢、高硅高铝系列钢夹杂物数量依次减少。     

钢水化学加热法硅发热剂的应用

在16kW立式二硅化钼棒炉内对钢水化学加热法进行了热模拟，共研究了以硅钙钡作为发热剂时，钢水顶渣碱度对钢水质量和钢包耐火材料侵蚀的影响，结果表明，钢中元素含量基本不变时，夹杂物没有明显增加，提高顶渣碱度可以有效防止回磷、回硫，并具有脱磷和脱硫的效果，且顶渣对铜包耐火材料的侵蚀并不严重。     

硅单晶片镜面吸附物吸附状态的研究

提出了新抛光硅片镜面吸附物吸附动力学过程和优先吸附数学模型及吸附物吸附状态控制机理。     

铌钽矿酸浸过程中表面微观结构表征

研究铌钽铁锰矿(Fe,Mn)(Nb,Ta)_2O_6在酸浸过程中界面结构及组成变化。探索复杂铌钽矿物元素选择性浸出机理,实现铌钽复合矿的高效资源化利用。通过金相显微镜结合XRD研究了铌、钽在矿中的赋存特性,分析了酸浸前、后的铌钽铁锰矿相变化。利用EDS对微区元素含量进行分析,获得矿物在酸浸前后表面宏观结构的变化以及表面元素含量的变化。XPS结合ICP检测结果分析酸浸前后铌钽矿物表面各元素化学价态及其化学键合状态的变化,确定了铌钽矿酸浸过程中各元素的选择性溶解。H_2SO_4酸浸时,矿物表面结构发生了Me—O转化为Me—SO_4的变化,结合不同Me元素的Me—O和Me—SO_4电子结合能大小以及ICP结果确定了不同化学状态元素在酸中溶解的由难到易的顺序为:Fe~(3+)—O→Fe~(2+)—O→Mn~(2+)—O→Ta~(5+)—O→Nb~(5+)—O。     

连退机组生产冷轧硅钢表面氧化控制研究

通过热力学和动力学原理分析了现行工况下连退机组冷却段生产硅钢时钢板发生氧化反应的必然性。对工业大生产条件下冷却段的温度、氧含量及钢板运行速度进行了试验研究,确定了理想的工艺参数,实施后效果良好。